窄带薄膜偏光分束镜的研制及其性能测试 被引量：14

1

作者 孔伟金 吴福全 +2 位作者 郝殿中 王吉明 邵建达 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第11期1373-1376,共4页

本文采用非MacNeille形式的薄膜偏光分束镜的设计,在K9基体上交替镀制了ZrO2和SiO2薄膜,从而在690nm处实现了P光和S光的偏振分光搭建了三个偏光测试系统对样品的偏光性能进程了测试,测试结果表明透射率曲线和理论设计曲线吻合得很好;透... 本文采用非MacNeille形式的薄膜偏光分束镜的设计,在K9基体上交替镀制了ZrO2和SiO2薄膜,从而在690nm处实现了P光和S光的偏振分光搭建了三个偏光测试系统对样品的偏光性能进程了测试,测试结果表明透射率曲线和理论设计曲线吻合得很好;透射P光的消光比优于1.3×10-3,可以作为优良的起偏镜; 展开更多

关键词 薄膜偏光分束镜 偏振性能 透射率曲线

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13.9nm软X射线激光用大面积多层膜分束镜研制 被引量：7

2

作者 王占山 张众 +4 位作者 王风丽 吴文娟 王洪昌 秦树基 陈玲燕 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第9期1089-1091,共3页

　基于分束镜反射率和透射率的乘积为衡量标准的原则,设计了13.9nm软X射线激光干涉测量所需的多层膜分束镜,用磁控溅射法在有效面积达10mm×10mm,厚100nm的氮化硅窗口上镀制Mo/Si多层膜,实现了分束镜制作。用表面轮廓仪实测分束镜... 　基于分束镜反射率和透射率的乘积为衡量标准的原则,设计了13.9nm软X射线激光干涉测量所需的多层膜分束镜,用磁控溅射法在有效面积达10mm×10mm,厚100nm的氮化硅窗口上镀制Mo/Si多层膜,实现了分束镜制作。用表面轮廓仪实测分束镜面形精度达到nm量级,同步辐射反射率计测试表明,分束镜的反射率和透射率乘积约4%。 展开更多

关键词 软X射线 分束镜 多层膜 等离子体诊断

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基于双Wollaston棱镜的对称分束角偏光分束镜 被引量：20

3

作者 王伟 吴福全 苏富芳 《光学技术》 CAS CSCD 2004年第2期182-183,186,共3页

给出了基于双Wollaston棱镜的对称分束角偏光分束镜的一种新的设计思想,即通过改变组成棱镜的三部分之一的晶体光轴的方向来实现出射光束的对称分束,并研究了晶体光轴的旋转角与棱镜的结构角以及光波长的关系。结果表明,这种设计不但能... 给出了基于双Wollaston棱镜的对称分束角偏光分束镜的一种新的设计思想,即通过改变组成棱镜的三部分之一的晶体光轴的方向来实现出射光束的对称分束,并研究了晶体光轴的旋转角与棱镜的结构角以及光波长的关系。结果表明,这种设计不但能实现光束的对称分束,而且还具有良好的偏光性能。 展开更多

关键词 双Wollaston棱镜 对称分束 偏光分束镜 晶体光轴 波长

原文传递

偏光分束镜分束角的不对称性研究 被引量：8

4

作者 李国华 吴福全 于德洪 《应用光学》 CAS CSCD 1991年第4期7-9,共3页

文中给出了渥拉斯顿棱镜分束角的不对称性,并对通过调整胶合介质层来消除可调分束角棱镜的不对称性进行了分析。

关键词 偏光分束镜 对称性 分束角 晶体

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基于TFCALC软件的薄膜偏光分束镜的设计 被引量：4

5

作者 郝殿中 吴福全 +1 位作者 李国华 孔伟金 《应用光学》 CAS CSCD 2005年第1期42-45,共4页

根据 Macnielle薄膜偏光分束镜的设计原理 ,利用膜系设计软件对偏光分束镜进行优化设计。总结了偏光镜设计时参考波长、入射角以及膜层数随波长的变化规律 ,给出了 La K2 基底 ,Zr O2 和 Si O2为高低膜料的薄膜偏光分束镜优化设计方案 。

关键词 薄膜 软件 优化设计 偏光分束镜

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薄膜偏光分束镜的设计与性能测试 被引量：5

6

作者 郝殿中 吴福全 孔伟金 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2004年第4期401-403,423,共4页

基于MacNeille薄膜偏光分束镜的设计原理 ,以LaK2 (1.6 4 )玻璃为基底 ,采用ZrO2 和SiO2 为高低膜料进行膜系设计。对制作的棱镜进行测试 ,结果表明 ,透射p光偏振特性优良 ,其消光比高达 2 .1× 10 -4,同时发现其消光比受视场角的... 基于MacNeille薄膜偏光分束镜的设计原理 ,以LaK2 (1.6 4 )玻璃为基底 ,采用ZrO2 和SiO2 为高低膜料进行膜系设计。对制作的棱镜进行测试 ,结果表明 ,透射p光偏振特性优良 ,其消光比高达 2 .1× 10 -4,同时发现其消光比受视场角的影响比较大 。 展开更多

关键词 薄膜偏光分束镜 消光比 视场角 光学性能测试

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13.9nm马赫贞德干涉仪用软X射线分束镜研究 被引量：3

7

作者 张众 王占山 +5 位作者 王洪昌 王风丽 吴文娟 张树敏 秦树基 陈玲燕 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第5期773-778,共6页

介绍了13.9 nm马赫贞德干涉仪用软X射线分束镜的设计、制备与性能检测。基于分束镜反射率和透过率乘积最大的评价标准,设计了13.9 nm软X射线激光干涉实验用多层膜分束镜。采用磁控溅射方法在有效面积为10 mm×10 mm、厚度为100 nm的... 介绍了13.9 nm马赫贞德干涉仪用软X射线分束镜的设计、制备与性能检测。基于分束镜反射率和透过率乘积最大的评价标准,设计了13.9 nm软X射线激光干涉实验用多层膜分束镜。采用磁控溅射方法在有效面积为10 mm×10 mm、厚度为100 nm的Si3N4基底上镀制了Mo/Si多层膜,制成了多层膜分束镜。利用X射线掠入射衍射的方法测量了Mo/Si多层膜的周期。用扩束He-Ne激光束进行的投影成像方法定性分析了分束镜的面形精度,利用光学轮廓仪完成了分束镜面形精确测量。利用北京同步辐射装置测量了分束镜反射率和透射率,在13.9 nm处,分束镜反射率和透过率乘积达4%。使用多层膜分束镜构建了软X射线马赫贞德干涉仪,并应用于13.9 nm软X射线激光干涉实验中,获得了清晰的含有C8H8等离子体电子密度信息的动态干涉条纹。 展开更多

关键词 软X射线 分束镜 马赫贞德干涉仪 MO/SI多层膜

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应力对薄膜偏振分束镜性能的影响及改进工艺 被引量：1

8

作者 王庆 吴福全 +4 位作者 郝殿中 齐瑞云 吴闻迪 彭捍东 尹延学 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2010年第5期670-672,共3页

为了研究应力对薄膜偏振分束镜性能的影响和减少应力的方法,通过在镀制分光膜之前预镀Al_2O_3过渡层,镀制过程中提高真空度、升高基底温度、减慢薄膜沉积速率,以及封装过程中采用光学光敏胶紫外光照射快速凝固法来减少薄膜应力。利用CC... 为了研究应力对薄膜偏振分束镜性能的影响和减少应力的方法,通过在镀制分光膜之前预镀Al_2O_3过渡层,镀制过程中提高真空度、升高基底温度、减慢薄膜沉积速率,以及封装过程中采用光学光敏胶紫外光照射快速凝固法来减少薄膜应力。利用CCD采集了工艺改进前后薄膜偏振分束镜反射光和透射光的光斑图像,利用消光比测试系统测量了工艺改进前后薄膜偏振分束镜反射光和透射光的消光比。结果表明,改进工艺后反射光和透射光的光斑能量更加集中,散斑现象变小;反射光和透射光的消光比特性明显提高。由此可见,通过改进镀制工艺和封装工艺可以使薄膜偏振分束镜的指标达到使用要求。 展开更多

关键词 薄膜 偏振分束镜 应力 光斑 消光比

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10.6μm激光分束镜的研制 被引量：1

9

作者 刘凤娥 付秀华 +3 位作者 潘永刚 张静 王晓娟 陈博临 《长春理工大学学报（自然科学版）》 2013年第5期37-40,共4页

本文针对激光分束镜的使用要求,着重介绍了10.6μm处1∶1分光且误差不超过±5%薄膜的研究与制备工艺。根据膜系设计基本理论,分别选取Ge和ZnS作为高、低折射率材料,借助膜系设计软件设计满足要求的膜层,并采用电子枪离子辅助沉积系... 本文针对激光分束镜的使用要求,着重介绍了10.6μm处1∶1分光且误差不超过±5%薄膜的研究与制备工艺。根据膜系设计基本理论,分别选取Ge和ZnS作为高、低折射率材料,借助膜系设计软件设计满足要求的膜层,并采用电子枪离子辅助沉积系统进行制备。通过优化镀膜工艺参数,在ZnS基底上制备了10.6μm处(透过率/反射率=49.5∶50.5)满足使用要求的薄膜,膜层具有较好的光学性能,其抗激光损伤、牢固度等性能指标均满足要求。 展开更多

关键词 薄膜 激光分束镜 离子辅助沉积 牢固度 抗激光损伤

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3～13μm宽带红外分束镜研究 被引量：4

10

作者 阙立志 《红外技术》 CSCD 北大核心 2011年第12期695-698,共4页

以ZnSe为基底设计了一种宽带红外分束镜,透射和反射比为50/50,工作波长可达到3～13μm,工艺实现采用了电子束蒸发物理气相沉积的方法,薄膜材料仅含有ZnSe和Ge。利用了Spectrum GX红外傅立叶变换光谱仪对该分束镜的透过率进行测量,测试... 以ZnSe为基底设计了一种宽带红外分束镜,透射和反射比为50/50,工作波长可达到3～13μm,工艺实现采用了电子束蒸发物理气相沉积的方法,薄膜材料仅含有ZnSe和Ge。利用了Spectrum GX红外傅立叶变换光谱仪对该分束镜的透过率进行测量,测试结果表明该分束镜的平均透过率约为50%,具有宽带的分束特性,与设计结果基本相符。环境测试表明:薄膜具有良好的稳定性和牢固度。该分束器可以应用于可靠性要求比较高的环境中。 展开更多

关键词 分束镜 电子束蒸发物理气相沉积 硒化锌 锗

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对称膜系偏光分束镜特征参量的入射角效应

11

作者 齐瑞云 吴福全 +2 位作者 王庆 郝殿中 吴闻迪 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2010年第5期611-613,627,共4页

为了研究入射角对对称膜系薄膜偏光分束镜性能的影响,从等效膜层理论和截止带理论出发,采用图像法分析了分光光谱带宽和透过率随入射角的变化趋势和原因。利用UV3101-PC分光光度计测量了(LHL)^N膜系偏光分束镜在不同入射角下的透射分光... 为了研究入射角对对称膜系薄膜偏光分束镜性能的影响,从等效膜层理论和截止带理论出发,采用图像法分析了分光光谱带宽和透过率随入射角的变化趋势和原因。利用UV3101-PC分光光度计测量了(LHL)^N膜系偏光分束镜在不同入射角下的透射分光光谱,实验结果与理论分析一致。结果表明,分光光谱带宽和入射角存在直接联系,分光光谱带宽随入射角的增大先变宽后变窄,存在一个带宽最大值,以带宽最大值对应的入射角为基点,减小入射角时,分光光谱带宽向长波段漂移并且出现凹陷;增大入射角时,分光光谱向短波段漂移。这些结果对优化对称膜系薄膜偏光分束镜有一定的参考价值。 展开更多

关键词 薄膜 偏光分束镜 等效膜层 透过率 带宽

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偏光分束镜分束角的光谱特性研究 被引量：1

12

作者 邓红艳 《枣庄学院学报》 2009年第5期17-20,共4页

分束角是偏光分束镜最重要的技术参量。本文利用Origin软件对偏光分束镜分束角的光谱特性进行了理论分析及实验测试,结果表明:偏光分束镜的分束角随着波长的增大均呈减小的趋势,并且在紫外光区,分束角受波长的影响远大于近红外光区;棱... 分束角是偏光分束镜最重要的技术参量。本文利用Origin软件对偏光分束镜分束角的光谱特性进行了理论分析及实验测试,结果表明:偏光分束镜的分束角随着波长的增大均呈减小的趋势,并且在紫外光区,分束角受波长的影响远大于近红外光区;棱镜结构角越大,入射光波长越短,其分束角的对称性越差。 展开更多

关键词 偏光分束镜 分束角 光谱特性 对称性

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光束线分束镜箱

13

作者 徐朝银 刘绍义 +1 位作者 王秋平 张元武 《真空》 CAS 北大核心 1989年第4期18-20,共3页

光束线分束镜箱把从电子储存环引出的同步光（真空紫外）按需要分成几束，供几 个实验站同时使用。这里介绍的是安装在合肥同步辐射装置上 ＢＬ１２光束线分束镜箱。

关键词 光束 分束镜 紫外线

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偏光分束镜分束角的不对称性

14

作者 李华 李强 《安徽工业大学学报（自然科学版）》 CAS 2006年第4期481-483,共3页

给出了渥拉斯顿分束角的不对称性,指出通过调整胶合介质层的均匀性可消除可调分束镜分束角的不对称性。

关键词 偏光器件 偏光分束镜 不对称性

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90°偏光分束镜光强分束比的入射角效应

15

作者 李华 李国华 张绪俊 《曲阜师范大学学报（自然科学版）》 CAS 2008年第3期70-72,共3页

分析了He-Ne激光斜入射90°偏光分束棱镜时光强分束比随入射角度的变化关系,推导出光强分束比的数学表达式.通过实验验证,在误差允许的范围内,理论值和实验值是一致的,并对误差进行分析.

关键词 90°偏光分束镜 光强分束比 入射角

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基于楔板型分束镜的望远镜系统优化设计

16

作者 张超 王鑫蕊 +1 位作者 李金鹏 闫钧华 《光学技术》 CAS CSCD 北大核心 2023年第2期163-167,共5页

研制基于楔板型分束镜的可见-红外光同步成像望远镜系统,通过优化设计分束镜楔角,抑制反射可见光鬼像产生,校正透射红外波段像差,实现对可见光波段与红外波段同时成像。对望远镜系统进行像质检测,主次镜系统RMS为0.093λ(λ=6328nm),可... 研制基于楔板型分束镜的可见-红外光同步成像望远镜系统,通过优化设计分束镜楔角,抑制反射可见光鬼像产生,校正透射红外波段像差,实现对可见光波段与红外波段同时成像。对望远镜系统进行像质检测,主次镜系统RMS为0.093λ(λ=6328nm),可见光支路RMS达到0.120λ,红外光路成像质量满足要求。该系统采用卡塞格林共光路,用楔形板实现对可见光到中红外波段光线同步成像,使得宽波段望远镜设计更加轻便的同时提升装置成像性能。 展开更多

关键词 楔板分束镜 卡塞格林系统 鬼像 像差

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软X射线激光用分束镜研究

17

作者 王占山 唐伟星 +7 位作者 吴永刚 秦树基 陈玲燕 徐向东 洪毅麟 付绍军 朱杰 崔启明 《北京同步辐射装置年报》 2002年第1期190-193,共4页

软X射线干涉测量是通过软X射线激光经过马赫-詹德干涉仪完成的，是测量驱动激光临界面附近等离子体状态的重要方法。本文基于软X射线多层膜的性能特点，指出软X射线干涉测量的干涉仪各光学元件的入射角越接近正入射越好，分束镜的设计... 软X射线干涉测量是通过软X射线激光经过马赫-詹德干涉仪完成的，是测量驱动激光临界面附近等离子体状态的重要方法。本文基于软X射线多层膜的性能特点，指出软X射线干涉测量的干涉仪各光学元件的入射角越接近正入射越好，分束镜的设计应以其反射率和透过率的乘积为衡量标准。用离子束溅射法制作了类镍银13．9nm软X射线激光干涉测量所需的分束镜，实测表明其面形精度达到纳米量级，反射率和透过率乘积大于1．6％。 展开更多

关键词 软X射线干涉测量 分束镜 激光 多层膜 等离子体 入射角 反射率 透过率 离子束溅射法

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基于等效膜层理论的1/4规整膜系薄膜偏光分束镜 被引量：6

18

作者 王庆 吴福全 +3 位作者 郝殿中 齐瑞云 吴闻迪 尹延学 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第7期2159-2163,共5页

为了设计制作1/4规整膜系的高性能薄膜偏光分束镜,根据三层对称膜系结构的等效膜层理论和截止带理论,设计了两种对称膜系结构的偏光分束镜。利用TFCalc薄膜软件对两种膜系结构偏光分束镜的分光光谱特性进行了模拟。利用电子枪蒸镀法分... 为了设计制作1/4规整膜系的高性能薄膜偏光分束镜,根据三层对称膜系结构的等效膜层理论和截止带理论,设计了两种对称膜系结构的偏光分束镜。利用TFCalc薄膜软件对两种膜系结构偏光分束镜的分光光谱特性进行了模拟。利用电子枪蒸镀法分别制备了两种膜系结构的偏光分束镜（580~780 nm）,并利用分光光度计和搭建的消光比测试系统,对两种膜系结构偏光分束镜的透射率和消光比进行了测试。结果表明,两种膜系结构的偏光分束镜在设计分光光谱范围内透射率可以达到90%以上,消光比优于3×10-3,与理论设计吻合得很好。 展开更多

关键词 薄膜光学 等效膜层 截止带 偏光分束镜 透射率 消光比

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改进型对称分束角偏光分束镜 被引量：11

19

作者 王伟 吴福全 苏富芳 《光电子．激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第9期913-916,共4页

给出了对称分束角偏光分束镜的一种新的设计思想,即通过改变组成棱镜的两部分之一的晶体光轴的方向来实现出射光束的对称分束。以632.8nm波长为例,给出了晶体光轴的旋转角与棱镜的结构角的关系式。同时还研究了晶体光轴的旋转角以及出... 给出了对称分束角偏光分束镜的一种新的设计思想,即通过改变组成棱镜的两部分之一的晶体光轴的方向来实现出射光束的对称分束。以632.8nm波长为例,给出了晶体光轴的旋转角与棱镜的结构角的关系式。同时还研究了晶体光轴的旋转角以及出射光束分束角的不对称度与波长的关系。在400～2000nm的波长范围内,分束角的不对称度均小于0.01°。 展开更多

关键词 偏光分束镜 对称分束角 晶体光轴 对称分束 旋转角 波长

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软X射线激光用分束镜研制 被引量：3

20

作者 王占山 吴永刚 +7 位作者 唐伟星 秦树基 陈玲燕 徐向东 洪义麟 付绍军 朱杰 崔明启 《科学通报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第13期1398-1401,共4页

软X射线干涉测量是通过软X射线激光经过Mach-zehnder干涉仪完成的,是测量临界面附近等离子体状态的重要方法。基于软X射线多层膜的性能特点,指出软X射线干涉测量的干涉仪各光学元件的入射角越接近正入射越好,分束镜的设计应以其反射率... 软X射线干涉测量是通过软X射线激光经过Mach-zehnder干涉仪完成的,是测量临界面附近等离子体状态的重要方法。基于软X射线多层膜的性能特点,指出软X射线干涉测量的干涉仪各光学元件的入射角越接近正入射越好,分束镜的设计应以其反射率和透过率的乘积为衡量标准。用离子束溅射法制作了类镍银13.9 nm软X射线激光干涉测量所需的分束镜,实测表明其面形精度达到纳米量级,反射率和透过率乘积大于1.6％。 展开更多

关键词 软X射线激光 分束镜 多层膜 干涉 临界面 等离子体 离子束溅射法

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