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CCD在光学镀膜宽带膜厚监控系统中的应用研究 被引量:10
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作者 刘晓元 周宁平 +1 位作者 黄云 龙兴武 《光学技术》 CAS CSCD 2001年第2期143-145,149,共4页
讨论了 CCD的主要特性及对宽带膜厚监控系统的影响 ,介绍了典型的 CCD数据采集系统。建立了一套基于 CCD的宽带膜厚监控系统 ,并对该系统进行了光谱标定及光谱补偿 ,给出了提高信噪比及减小非线性影响的处理方法。
关键词 CCD 光学镀膜 膜厚监控 宽带膜厚监控
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几种新颖的光学镀膜材料 被引量:3
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作者 王星明 黄松涛 +5 位作者 储茂友 段华英 张碧田 张明贤 龚述荣 潘德明 《光学仪器》 2004年第2期218-221,共4页
当前光学镀膜技术和应用光学的进展迅速,新的各种形式光学镀膜材料不断涌现。介绍了"预熔化"光学镀膜材料、高阈值激光膜材料、用于树脂基片的冷镀材料和光学镀膜用靶材,并对这几种新型材料的应用情况及国内外的现状进行了简... 当前光学镀膜技术和应用光学的进展迅速,新的各种形式光学镀膜材料不断涌现。介绍了"预熔化"光学镀膜材料、高阈值激光膜材料、用于树脂基片的冷镀材料和光学镀膜用靶材,并对这几种新型材料的应用情况及国内外的现状进行了简要介绍。 展开更多
关键词 镀膜材料 预熔化 激光损伤阈值 靶材 光学镀膜
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钛、锆、铪及其化合物在光学镀膜技术中的应用 被引量:1
3
作者 张明贤 《钛工业进展》 CAS 1996年第2期29-32,共4页
新材料新功能的开发是新技术发展的物质基础.新技术的迅速发展必然加速了新材料的开发.钛、锆、铪氧化物的应用使光学镀膜工艺得到迅速发展,使天文、海洋观测仪器和激光设备的性能得到完善,出现了耐磨耐腐蚀、适应严酷环境工作的光电仪... 新材料新功能的开发是新技术发展的物质基础.新技术的迅速发展必然加速了新材料的开发.钛、锆、铪氧化物的应用使光学镀膜工艺得到迅速发展,使天文、海洋观测仪器和激光设备的性能得到完善,出现了耐磨耐腐蚀、适应严酷环境工作的光电仪器.新技术的发展更进一步促进镀膜材料向新的广度和深度发展.钛锆铪及其氧化物在镀膜材料中占有很重要的位置. 展开更多
关键词 光学镀膜 镀膜材料 真空镀膜
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走向工业应用的离子辅助光学镀膜技术
4
作者 尤大伟 李晓谦 +1 位作者 王怡德 林永昌 《微细加工技术》 EI 2000年第3期1-5,共5页
介绍一种新型等离子体辅助镀膜技术 ,使用该技术可使高质量的光学镀膜大量生产。该技术核心是无栅等离子体源 (GIS)。GIS可以产生大面积的均匀等离子体 ,直径大于 1 0 0 0mm。等离子体离子流强度高达 0 .5mA/cm2 ,离子流能量 2 0 - 2 0 ... 介绍一种新型等离子体辅助镀膜技术 ,使用该技术可使高质量的光学镀膜大量生产。该技术核心是无栅等离子体源 (GIS)。GIS可以产生大面积的均匀等离子体 ,直径大于 1 0 0 0mm。等离子体离子流强度高达 0 .5mA/cm2 ,离子流能量 2 0 - 2 0 0eV ,并能激活反应气体O2 及蒸发原子 ,用GIS进行的等离子体离子辅助镀膜这一技术 ,现正用于生产高质量的光学薄膜。 展开更多
关键词 等离子体离子 无栅等离子体源 光学镀膜
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光学镀膜工业今后十年的发展趋势 被引量:1
5
作者 王云 《红外技术》 CSCD 1993年第2期45-46,共2页
近10年来,世界光学镀膜工业得到持续发展。今后10年,有关这方面的军用和民用业务将大幅度上升而成为又一工业发展趋势。
关键词 光学镀膜 发展趋势 市场 光电子器件
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双重膜厚监控在中远红外光学镀膜工艺中的应用 被引量:1
6
作者 曹一鸣 王小辉 卫红 《光学仪器》 2007年第3期86-89,共4页
为提高中远红外增透膜镀膜工艺中膜厚监控的精度,对石英晶振监控和光学极值法监控进行了对比研究,分析了两者的优缺点。通过对两种监控方法的结合,在镀膜工艺中应用一种新的薄膜厚度监控方法——双重监控法。该方法适合于监控中长波段... 为提高中远红外增透膜镀膜工艺中膜厚监控的精度,对石英晶振监控和光学极值法监控进行了对比研究,分析了两者的优缺点。通过对两种监控方法的结合,在镀膜工艺中应用一种新的薄膜厚度监控方法——双重监控法。该方法适合于监控中长波段红外光学薄膜的沉积,提高了膜厚监控的精度。 展开更多
关键词 双重监控 光学镀膜 膜厚监控
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光学镀膜近红外膜厚监控的信号压噪
7
作者 马云飞 王自鑫 +4 位作者 江绍基 佘卫龙 朱析 蔡志岗 李宝军 《光学仪器》 2004年第2期99-104,共6页
在光学真空镀膜膜厚监控过程中,近红外波段信号弱、外界干扰大、信噪比低,难于检测监控。运用相干检测、锁相放大原理,在光学真空镀膜机可见光波段监控系统的基础上,自行研制锁相放大器和改装近红外探头,成功地实现了近红外信号的压噪... 在光学真空镀膜膜厚监控过程中,近红外波段信号弱、外界干扰大、信噪比低,难于检测监控。运用相干检测、锁相放大原理,在光学真空镀膜机可见光波段监控系统的基础上,自行研制锁相放大器和改装近红外探头,成功地实现了近红外信号的压噪、放大、滤波和检测监控。 展开更多
关键词 近红外 光学薄膜 膜厚监控 锁相放大 光学镀膜 压噪
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我国研发出高纯度氟化镁光学镀膜材料 被引量:2
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作者 李峰 《功能材料信息》 2004年第2期58-58,共1页
据报道,一种可以替代进口、适用于纸币防伪的特种光学镀膜材料——高纯度氟化镁光学镀膜材料,不久前已由中科院等单位研发成功。这项最新研究成果填补了国内空白。
关键词 氟化镁 光学镀膜材料 真空熔炼法 原料 生产工艺
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大功率激光器的光学镀膜问题 被引量:1
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作者 Ristau,D 大舟 《光机情报》 1990年第10期26-32,共7页
关键词 大功率 激光器 光学镀膜
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光学镀膜与装置
10
《中国光学》 EI CAS 1999年第6期44-45,共2页
TB43 99063792作为光盘记录介质的偶氮染料掺杂高分子薄膜制备及其光学特性=Preparation and optical propertiesof azo—dye—doped macromolecule thin filmused as optical disk recording medium[会,中]/王光斌,侯立松,干福熹(中科... TB43 99063792作为光盘记录介质的偶氮染料掺杂高分子薄膜制备及其光学特性=Preparation and optical propertiesof azo—dye—doped macromolecule thin filmused as optical disk recording medium[会,中]/王光斌,侯立松,干福熹(中科院上海光机所.上海(201800))∥98’中国青年光学学术讨论会.—陕西。 展开更多
关键词 光盘记录介质 染料掺杂 学术讨论会 高分子 光学特性 薄膜制备 中国青年 光学镀膜 薄膜化 偶氮染料
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光学镀膜:激光损伤探索
11
《中国光学》 EI CAS 2013年第4期612-612,共1页
中国的研究人员已研究了光的电场分布如何影响镀膜的激光感应损伤。上海同济大学的XinbinCheng与同事们将1064nmNd:YAG激光器的激光脉冲发射至BK7玻璃基板的多层介质薄膜上,其发射持续时间为10ns。为了模拟结节性缺陷(损伤前兆)发... 中国的研究人员已研究了光的电场分布如何影响镀膜的激光感应损伤。上海同济大学的XinbinCheng与同事们将1064nmNd:YAG激光器的激光脉冲发射至BK7玻璃基板的多层介质薄膜上,其发射持续时间为10ns。为了模拟结节性缺陷(损伤前兆)发挥的作用,此团队在涂敷镀膜之前将0.3~1.9μm二氧化硅微球注入玻璃基板。然后,他们采用有限差分时域模拟法模拟了不同结节点的电场分布,并采用显微镜法和聚焦离子束技术通过实验分析了激光感应损伤。 展开更多
关键词 激光损伤 光学镀膜 Nd YAG激光器 上海同济大学 二氧化硅微球 有限差分时域 激光感应 电场分布
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多功能组合光学镀膜机
12
作者 张立新 《西安工业大学学报》 CAS 2017年第10期780-780,共1页
西安工业大学将脉冲电弧离子束镀膜技术、非平衡磁控溅射镀膜技术和电子柬热蒸发镀膜技术根据薄膜种类进行组合使用,研制出了一种多功能组合光学镀膜机,成功实现了各种光学薄膜、光电功能多层薄膜以及光电微系统的制备。
关键词 光学镀膜 功能组合 非平衡磁控溅射 镀膜技术 光学薄膜 光电功能 脉冲电弧 工业大学
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多功能组合光学镀膜机
13
作者 张立新 《西安工业大学学报》 CAS 2018年第5期486-486,共1页
西安工业大学将脉冲电弧离子束镀膜技术、非平衡磁控溅射镀膜技术和电子束热蒸发镀膜技术根据薄膜种类进行组合使用,研制出了一种多功能组合光学镀膜机,成功实现了各种光学薄膜、光电功能多层薄膜以及光电微系统的制备.该光学镀膜机具... 西安工业大学将脉冲电弧离子束镀膜技术、非平衡磁控溅射镀膜技术和电子束热蒸发镀膜技术根据薄膜种类进行组合使用,研制出了一种多功能组合光学镀膜机,成功实现了各种光学薄膜、光电功能多层薄膜以及光电微系统的制备.该光学镀膜机具备镀膜时被镀件始终保持在真空状态,蒸发源实时快速转换的优点,可实现所有的功能加工在一台设备内完成,有效地避免了采用不同方法制造薄膜器件时,薄膜界面之间由外界污染造成的影响,克服了以往不同技术沉积光学薄膜时的薄膜界面之间附着力下降乃至脱膜的问题,前后两种材料之间衔接紧密,产品的品质和合格率得到有效提升,在不降低薄膜红外光学特性的基础上,抗恶劣环境能力得以提高.该设备拥有三种蒸发装置,在启动单一设备时,可提供具有单一功能的薄膜;根据不同薄膜特性要求选择不同的沉积方式将三种蒸发装置合理组合使用,就可以满足各种光学薄膜、光电功能多层薄膜以及光电微系统的制备.该设备造价低,性价比高,一机多用,整个镀膜时间减少了40%左右,在镀制优质光学薄膜的同时,有效降低了企业生产成本,大幅提高了生产效率. 展开更多
关键词 光学镀膜 功能组合 光学薄膜 非平衡磁控溅射 镀膜技术 光电功能 红外光学特性 组合使用
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多功能组合光学镀膜机
14
作者 张立新 《西安工业大学学报》 CAS 2015年第10期849-849,共1页
西安工业大学将脉冲电弧离子柬镀膜技术、非平衡磁控溅射镀膜技术和电子柬热蒸发镀膜技术根据薄膜种类进行组合使用,研制出了一种多功能组合光学镀膜机,成功实现了各种光学薄膜、光电功能多层薄膜以及光电微系统的制备。该光学镀膜机... 西安工业大学将脉冲电弧离子柬镀膜技术、非平衡磁控溅射镀膜技术和电子柬热蒸发镀膜技术根据薄膜种类进行组合使用,研制出了一种多功能组合光学镀膜机,成功实现了各种光学薄膜、光电功能多层薄膜以及光电微系统的制备。该光学镀膜机具备镀膜时被镀件始终保持在真空状态,蒸发源实时快速转换的优点,可实现所有的功能加工在一台设备内完成,有效地避免了采用不同方法制造薄膜器件时,薄膜界面之间由外界污染造成的影响,克服了以往不同技术沉积光学薄膜时的薄膜界面之间附着力下降乃至脱膜的问题,前后两种材料之间衔接紧密,产品的品质和合格率得到有效提升,在不降低薄膜红外光学特性的基础上,抗恶劣环境能力得以提高。该设备拥有三种蒸发装置,在启动单一设备时,可提供具有单一功能的薄膜;根据不同薄膜特性要求选择不同的沉积方式将三种蒸发装置合理组合使用,就可以满足各种光学薄膜、光电功能多层薄膜以及光电微系统的制备。 展开更多
关键词 光学镀膜 功能组合 光学薄膜 非平衡磁控溅射 镀膜技术 光电功能 红外光学特性 组合使用
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光学镀膜系统采用先进技术
15
作者 顾聚兴 《红外》 CAS 1991年第1期34-35,共2页
关键词 光学镀膜系统 镀膜 溅射
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长春研制出世界先进水平特种光学镀膜材料
16
《安徽电力科技信息》 2002年第6期39-39,共1页
关键词 长春 光学镀膜 高纯度 氟化镁材料
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光学镀膜技术的新进展
17
作者 吴桂英 《光机电信息》 1996年第1期1-4,共4页
在各种光学干涉应用和集成光学平面波导中,要求高质量的介质膜.很多无机化合物膜用普通镀膜方法沉积很难达到要求的附着力、密度、硬度和低成本等条件.现在正在研究用反应气体放电等离子体和荷能离子镀膜材料原子处理等方法对无机化合... 在各种光学干涉应用和集成光学平面波导中,要求高质量的介质膜.很多无机化合物膜用普通镀膜方法沉积很难达到要求的附着力、密度、硬度和低成本等条件.现在正在研究用反应气体放电等离子体和荷能离子镀膜材料原子处理等方法对无机化合物膜进行综合研究.在光学多层膜中,介质膜很重要,因此,在光学镀膜领域主要研究和制备用于各种滤光片、反射镜和光波导的最佳化学配比、低吸收和高稳定性光学膜的方法. 展开更多
关键词 薄膜 光学镀膜技术 发展
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高功率光学镀膜的产生是复杂的
18
作者 王鸿梅 《光电子技术与信息》 2002年第6期42-43,共2页
高功率薄层光学镀膜是典型的光学器件所要求的,它必须能够实现连续激光器的高功率输出.这些镀膜能够起到反射、透射、极化或者分束的作用;有一点很重要,需要注意:“高功率”依据不同的应用可能具有不同的含义.一个合理的定义是,“高功... 高功率薄层光学镀膜是典型的光学器件所要求的,它必须能够实现连续激光器的高功率输出.这些镀膜能够起到反射、透射、极化或者分束的作用;有一点很重要,需要注意:“高功率”依据不同的应用可能具有不同的含义.一个合理的定义是,“高功率”一词应用于那些需要特别的关注和工艺以避免在照射过程中产生损害的膜层.作为规则,任何一个包含有功率规格的设计图都要考虑一个高功率的膜层,也就是说,仅有标准的工艺规格是不够的. 展开更多
关键词 高功率 光学镀膜 光学器件
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国外金属光学镀膜的开发前景
19
作者 任学佑 《中国金属通报》 2004年第47期21-23,共3页
金属光学镀膜最早用于光学元件表面制备保护膜。光学镀膜技术和应用始于19世纪初叶。在20世纪的后50年内,光学镀膜技术得到飞速发展。1947年200英寸望远镜镜面镀铝成功。1971年用离子轰击的方法在玻璃上镀膜的公司在各个国家大量涌现。1... 金属光学镀膜最早用于光学元件表面制备保护膜。光学镀膜技术和应用始于19世纪初叶。在20世纪的后50年内,光学镀膜技术得到飞速发展。1947年200英寸望远镜镜面镀铝成功。1971年用离子轰击的方法在玻璃上镀膜的公司在各个国家大量涌现。1979 年商用在线低辐射率玻璃镀膜设备投入使用。1991年Leybold使ZrN装饰膜实现了产业化。目前金属贴膜玻璃是在平板玻璃表面贴上一层或多层金属氧化物,以改善玻璃的性能和强度,使其具有保温、隔热、防爆、防紫外线、美化外观、安全、节能和美化装饰等功能。目前有色金属镀膜材料主要用于传统工业领域,稀有金属或其氧化物主要用于高科技领域。其中氧化钛贴膜玻璃获得了广泛应用,占据较大市场份额。 展开更多
关键词 金属光学 开发前景 镀膜玻璃 光学镀膜 金属氧化物 离子轰击 镀膜材料 玻璃镀膜 产业化 防紫外线
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南京茂莱光学镀膜有限公司
20
《军民两用技术与产品》 2013年第1期67-67,共1页
简介 南京茂莱光电有限公司(MLOptic)成立于1996年,是一家致力于高科技精密光学元器件及光机电系统装配的研发、设计、生产和制造的高科技企业。该公司坐落于南京江宁国家级经济开发区,拥有8000m^2的厂房生产区域。该公司提供从光... 简介 南京茂莱光电有限公司(MLOptic)成立于1996年,是一家致力于高科技精密光学元器件及光机电系统装配的研发、设计、生产和制造的高科技企业。该公司坐落于南京江宁国家级经济开发区,拥有8000m^2的厂房生产区域。该公司提供从光机电一体化设计、精密光学元件、精密机械件到光机电模组的装配,为客户提供一整套的光学解决方案。 展开更多
关键词 光学镀膜 南京 机电一体化设计 光机电系统 高科技企业 精密光学元件 生产区域 光学元器件
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