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光声热波成像及其应用 被引量:5
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作者 张淑仪 《物理学进展》 CSCD 北大核心 1996年第3期439-449,共11页
光声热波成像作为一种扫描成像技术,由于无损和非侵入式引起很大的兴趣。由于热波是一种高衰减波,且波长短,现已成功地实现了对材料亚表面结构的分层成像。热波技术适合于对复合材料和多层结构进行评价和缺陷定征,特别适合于半导体材料... 光声热波成像作为一种扫描成像技术,由于无损和非侵入式引起很大的兴趣。由于热波是一种高衰减波,且波长短,现已成功地实现了对材料亚表面结构的分层成像。热波技术适合于对复合材料和多层结构进行评价和缺陷定征,特别适合于半导体材料和微电子器件的研究与分析。在热波成像技术中引入空间多道信号处理方法,使样品表面的入射光功率密度大大减小的情况下改善了信噪比。最近,新发展了热脉冲回波成像技术,用于评价飞机的胶接部分,结果表明,热波成像完全有可能对飞机在使用期的不同阶段进行分层检测。 展开更多
关键词 光声热波 脉冲成像技术 无损检测
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