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CrMo合金膜的俄歇线形分析
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作者 黄步雨 彭澎 何炜 《真空科学与技术》 EI CSCD 北大核心 1998年第2期95-105,共11页
对Ar气氛下射频溅射所镀铬钼合金膜,采集不同组分配比的俄歇电子能谱,经平滑、扣除本底处理,得出随铬钼相对比例改变的变化规律。根据俄歇电子跃迁的准原子模型,对谱峰进行曲线拟合,得出铬钼合金膜并非铬钼的单纯机械混合,其外层... 对Ar气氛下射频溅射所镀铬钼合金膜,采集不同组分配比的俄歇电子能谱,经平滑、扣除本底处理,得出随铬钼相对比例改变的变化规律。根据俄歇电子跃迁的准原子模型,对谱峰进行曲线拟合,得出铬钼合金膜并非铬钼的单纯机械混合,其外层电子发生了某种转移,利用高斯曲线对所得俄歇谱拟合后,对每个俄歇峰按成分比进行面积归一化,细致分析后得出钼的N_(23)轨道电子数增多,钼的M_(45),N_1,N_(23)和价带发生变化及移动,并且有一些3d电子从Cr转移到Mo的4d轨道上。而且运用带非负约束的退卷积和退自卷积等新的分析方法,首次利用AES获得了几种不同配比CrMo合金膜的价带态密度分布。 展开更多
关键词 俄歇线形 CrMo合金膜 局域态密度 薄膜
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局域电子态密度的俄歇电子谱分析 被引量:1
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作者 周惠健 王玉琦 何炜 《真空科学与技术》 CSCD 1995年第5期297-303,共7页
采集GaAs/Si界面的各个深度剖面的俄歇线形(Augerlineshape),试图获得局域态密度变化的信息。俄歇信号经过小心处理和一系列修正以消除失真,同时俄歇线形分析藉助因子分析(factoranalysis)来进行。发现在界面中两种化学态并存,... 采集GaAs/Si界面的各个深度剖面的俄歇线形(Augerlineshape),试图获得局域态密度变化的信息。俄歇信号经过小心处理和一系列修正以消除失真,同时俄歇线形分析藉助因子分析(factoranalysis)来进行。发现在界面中两种化学态并存,某些Si原子与As原子健合,并且每个Si原子将有0.3个p电子转移至As原子上,而其他Si原子保持纯Si元素的Si-Si键。由于Si-As成键而使Si的价带顶稍稍位移,局域态密度(LDOS)幅值明显下降。 展开更多
关键词 俄歇线形 因子分析 价电荷转移 局域态密度
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In situ Heating and Thermal Effects in Auger Electron Spectroscopy for GaN
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作者 Fu-chun Xu Qi-he Zhang Dan-xia Cen 《Chinese Journal of Chemical Physics》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2006年第3期200-202,共3页
An in situ heating system was built for the Auger electron spectroscopy to investigate the thermal effect of Auger lines. A GaN sample was studied in this system. The kinetic energy of Ga LMM and MVV Auger lines were ... An in situ heating system was built for the Auger electron spectroscopy to investigate the thermal effect of Auger lines. A GaN sample was studied in this system. The kinetic energy of Ga LMM and MVV Auger lines were observed to shift negatively with temperature increasing. By using ab initio calculation, the theoretical Ga MVV Auger line shape was fit, which well reflects the inner property of the line. The Auger shift with heating is related with the valence electron rearrangement in the thermal expansion of the local bonds. 展开更多
关键词 Ultra-high-vacuum Auger electron spectroscopy Heating system In situ Auger line shape
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