β-Ga_(2)O_(3)是一种具有超宽带隙、高临界击穿场强和优异的巴利加优值的半导体材料,近年来在电力电子与深紫外光电探测等领域展现出巨大的应用潜力。金属有机化学气相沉积(Metal-organic chemical vapor deposition,MOCVD)技术凭借其...β-Ga_(2)O_(3)是一种具有超宽带隙、高临界击穿场强和优异的巴利加优值的半导体材料,近年来在电力电子与深紫外光电探测等领域展现出巨大的应用潜力。金属有机化学气相沉积(Metal-organic chemical vapor deposition,MOCVD)技术凭借其高生长速率、精确的膜厚控制、优异的薄膜质量和大尺寸生长等优势,成为未来β-Ga_(2)O_(3)走向产业化的潜在方法,并已被广泛应用于β-Ga_(2)O_(3)的外延生长研究。本文对几种常见晶向的β-Ga_(2)O_(3) MOCVD同质外延生长的研究成果进行了概述,并在此基础上介绍了极具潜力的β-(Al_(x)Ga_(1-x))_(2)O_(3)的MOCVD外延生长研究现状。最后,总结了基于MOCVD技术的β-Ga_(2)O_(3)同质外延生长以及β-(Al_(x)Ga_(1-x))_(2)O_(3)生长过程中面临的主要问题,并对未来的发展进行了展望。展开更多
β-Ga_(2)O_(3)以其较高的导带底(Conduction Band Minimum,CBM)和较低的价带顶(Valence Band Maximum,VBM),赋予其光生电子和空穴较强的还原与氧化能力,但其宽禁带和高载流子复合率限制了在光催化中的应用.金属离子掺杂被认为是提升光...β-Ga_(2)O_(3)以其较高的导带底(Conduction Band Minimum,CBM)和较低的价带顶(Valence Band Maximum,VBM),赋予其光生电子和空穴较强的还原与氧化能力,但其宽禁带和高载流子复合率限制了在光催化中的应用.金属离子掺杂被认为是提升光催化性能的有效途径.本文基于第一性原理系统研究了Sr、Ba、V、Nb、Ta等二十种元素掺杂对β-Ga_(2)O_(3)光催化性能的影响,研究发现:Sr、Nb、Ta、Mn、Fe、Zn、Hg七种元素掺杂β-Ga_(2)O_(3)后,材料除能保持合适的带边位置外,还具有更高的电子空穴分离效率以及更低的形成能,表明这些元素的引入可有效提升β-Ga_(2)O_(3)光催化效率;Nb、Ta掺杂可显著增强材料在红外光区的吸收,Mn、Fe掺杂则显著提升材料在紫外和可见光区的吸收能力,其中,Nb在0.5 eV处光吸收系数高达1.38×10^(5)cm^(−1),Mn、Fe掺杂在3 eV处光吸收系数可达1×10^(5)cm^(−1),在不同波段均呈现出良好的光吸收能力.此外,Hg掺杂表现出跨红外至深紫外的宽波段增强效果,Hg掺杂后,电子空穴相对有效质量高达109,说明Hg掺杂显著提升载流子分离能力,同时由于其在宽波段显著增强的光吸收效果,因此,Hg可作为β-Ga_(2)O_(3)在光催化制氢中理想的金属掺杂元素,以上研究结果为β-Ga_(2)O_(3)光催化分解水制氢研究提供了价值参考.展开更多
文摘β-Ga_(2)O_(3)是一种具有超宽带隙、高临界击穿场强和优异的巴利加优值的半导体材料,近年来在电力电子与深紫外光电探测等领域展现出巨大的应用潜力。金属有机化学气相沉积(Metal-organic chemical vapor deposition,MOCVD)技术凭借其高生长速率、精确的膜厚控制、优异的薄膜质量和大尺寸生长等优势,成为未来β-Ga_(2)O_(3)走向产业化的潜在方法,并已被广泛应用于β-Ga_(2)O_(3)的外延生长研究。本文对几种常见晶向的β-Ga_(2)O_(3) MOCVD同质外延生长的研究成果进行了概述,并在此基础上介绍了极具潜力的β-(Al_(x)Ga_(1-x))_(2)O_(3)的MOCVD外延生长研究现状。最后,总结了基于MOCVD技术的β-Ga_(2)O_(3)同质外延生长以及β-(Al_(x)Ga_(1-x))_(2)O_(3)生长过程中面临的主要问题,并对未来的发展进行了展望。
文摘β-Ga_(2)O_(3)以其较高的导带底(Conduction Band Minimum,CBM)和较低的价带顶(Valence Band Maximum,VBM),赋予其光生电子和空穴较强的还原与氧化能力,但其宽禁带和高载流子复合率限制了在光催化中的应用.金属离子掺杂被认为是提升光催化性能的有效途径.本文基于第一性原理系统研究了Sr、Ba、V、Nb、Ta等二十种元素掺杂对β-Ga_(2)O_(3)光催化性能的影响,研究发现:Sr、Nb、Ta、Mn、Fe、Zn、Hg七种元素掺杂β-Ga_(2)O_(3)后,材料除能保持合适的带边位置外,还具有更高的电子空穴分离效率以及更低的形成能,表明这些元素的引入可有效提升β-Ga_(2)O_(3)光催化效率;Nb、Ta掺杂可显著增强材料在红外光区的吸收,Mn、Fe掺杂则显著提升材料在紫外和可见光区的吸收能力,其中,Nb在0.5 eV处光吸收系数高达1.38×10^(5)cm^(−1),Mn、Fe掺杂在3 eV处光吸收系数可达1×10^(5)cm^(−1),在不同波段均呈现出良好的光吸收能力.此外,Hg掺杂表现出跨红外至深紫外的宽波段增强效果,Hg掺杂后,电子空穴相对有效质量高达109,说明Hg掺杂显著提升载流子分离能力,同时由于其在宽波段显著增强的光吸收效果,因此,Hg可作为β-Ga_(2)O_(3)在光催化制氢中理想的金属掺杂元素,以上研究结果为β-Ga_(2)O_(3)光催化分解水制氢研究提供了价值参考.
