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Magnetic properties of Mn-doped ZnO diluted magnetic semiconductors 被引量:1
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作者 刘学超 张华伟 +4 位作者 张涛 陈博源 陈之战 宋力昕 施尔畏 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2008年第4期1371-1376,共6页
A series of Mn-doped ZnO films have been prepared in different sputtering plasmas by using the inductively coupled plasma enhanced physical vapour deposition. The films show paramagnetic behaviour when they are deposi... A series of Mn-doped ZnO films have been prepared in different sputtering plasmas by using the inductively coupled plasma enhanced physical vapour deposition. The films show paramagnetic behaviour when they are deposited in an argon plasma. The Hall measurement indicates that ferromagnetism cannot be realized by increasing the electron concentration. However, the room-temperature ferromagnetism is obtained when the films are deposited in a mixed argon-nitrogen plasma. The first-principles calculations reveal that antiferromagnetic ordering is favoured in the case of the substitution of Mn^2+ for Zn^2+ without additional acceptor doping. The substitution of N for O (NO^-) is necessary to induce ferromagnetic couplings in the Zn-Mn-O system. The hybridization between N 2p and Mn 3d provides an empty orbit around the Fermi level. The hopping of Mn 3d electrons through the empty orbit can induce the ferromagnetic coupling. The ferromagnetism in the N-doped Zn-Mn-O system possibly originates from the charge transfer between Mn^2+ and Mn^3+ via NO^-, The key factor is the empty orbit provided by substituting N for O, rather than the conductivity type or the carrier concentration. 展开更多
关键词 Mn-doped zno diluted magnetic semiconductors first-principle calculations
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Room-temperature anomalous Hall effect and magnetroresistance in(Ga,Co)-codoped ZnO diluted magnetic semiconductor films 被引量:1
2
作者 刘学超 陈之战 +2 位作者 施尔畏 廖达前 周克谨 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2011年第3期420-425,共6页
This paper reports that the (Ga, Co)-codoped ZnO thin films have been grown by inductively coupled plasma enhanced physical vapour deposition. Room-temperature ferromagnetism is observed for the as-grown thin films.... This paper reports that the (Ga, Co)-codoped ZnO thin films have been grown by inductively coupled plasma enhanced physical vapour deposition. Room-temperature ferromagnetism is observed for the as-grown thin films. The x-ray absorption fine structure characterization reveals that Co2+ and Ga3+ ions substitute for Zn2+ ions in the ZnO lattice and exclude the possibility of extrinsic ferromagnetism origin. The ferromagnetic (Ga, Co)-codoped ZnO thin films exhibit carrier concentration dependent anomalous Hall effect and positive magnetoresistance at room tempera- ture. The mechanism of anomalous Hall effect and magneto-transport in ferromagnetic ZnO-based diluted magnetic semiconductors is discussed. 展开更多
关键词 diluted magnetic semiconductors (Ga Co)-codoped zno anomalous Hall effect magnetroresisance
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ZnO基稀磁半导体磁性机理研究进展 被引量:9
3
作者 刘学超 陈之战 +1 位作者 施尔畏 宋力昕 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2009年第1期1-7,共7页
稀磁半导体是指在非磁性化合物半导体中通过掺杂引入部分磁性离子所形成的一类新型功能材料.目前,稀磁半导体的磁性来源和机理一直是该领域的研究热点,掺杂的磁性离子通过怎样的交换方式实现铁磁性一直存有争议.本文对近几年来ZnO基稀... 稀磁半导体是指在非磁性化合物半导体中通过掺杂引入部分磁性离子所形成的一类新型功能材料.目前,稀磁半导体的磁性来源和机理一直是该领域的研究热点,掺杂的磁性离子通过怎样的交换方式实现铁磁性一直存有争议.本文对近几年来ZnO基稀磁半导体磁性机理研究进展作一综述,着重阐述了代表性的RRKY理论、平均场理论、双交换理论和磁极子理论,对实验和理论方面的热点和存在问题作一评价,对磁性理论的研究提出了新思路. 展开更多
关键词 zno 稀磁半导体 磁性机理
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ZnO本征半导体的点缺陷机制分析 被引量:5
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作者 贺永宁 武明堂 朱长纯 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第6期1416-1421,共6页
本文根据Kroger的氧化物点缺陷拟化学平衡方法对ZnO半导体中主要点缺陷的高温热平衡浓度进行了分析和计算,在此基础上依据快速冷却条件下的缺陷"冻结"特征,揭示了室温下ZnO半导体中的亚稳态缺陷状态和载流子分布特征,从而合... 本文根据Kroger的氧化物点缺陷拟化学平衡方法对ZnO半导体中主要点缺陷的高温热平衡浓度进行了分析和计算,在此基础上依据快速冷却条件下的缺陷"冻结"特征,揭示了室温下ZnO半导体中的亚稳态缺陷状态和载流子分布特征,从而合理揭示了ZnO晶体中点缺陷态和导电机制的依赖关系。 展开更多
关键词 zno半导体 点缺陷化学 电学性质
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Al掺杂纤锌矿ZnO的电子结构研究 被引量:6
5
作者 杜晔平 陈敬超 +1 位作者 冯晶 阮进 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第12期132-135,共4页
采用基于密度泛函理论(DFT)的总体能量平面波超软赝势法,电子交换关联能结合广义梯度近似(GGA)PW91形式,对Al原子不同掺杂位置的ZnO超原胞进行了几何优化,计算分析了晶体结构参数及掺杂模型的电子结构。结果表明,几何优化后掺杂晶胞z轴... 采用基于密度泛函理论(DFT)的总体能量平面波超软赝势法,电子交换关联能结合广义梯度近似(GGA)PW91形式,对Al原子不同掺杂位置的ZnO超原胞进行了几何优化,计算分析了晶体结构参数及掺杂模型的电子结构。结果表明,几何优化后掺杂晶胞z轴方向出现收缩现象,两种模型在杂质掺入后半导体ZnO导电能力提高,形成置换杂质模型的可能性要大于间隙杂质模型,掺杂Al和基体ZnO的原子数配比直接影响导电性能,最后给出了电子轨道跃迁规律。 展开更多
关键词 半导体 zno 掺杂 第一原理计算
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CuO-ZnO异质结半导体陶瓷气敏机理的研究 被引量:4
6
作者 胡英 周晓华 魏红军 《功能材料与器件学报》 CAS CSCD 2000年第4期408-412,共5页
CuO ZnO异质结气敏传感器是一种新型的气敏传感器 ,它有成本低、工艺简单、检测方便等众多优点。本工作主要研究了CuO和ZnO不同比例情况下 ,该传感器的气敏性能。测试了它的阻温特性及在不同温度、不同气氛条件下器件的灵敏度 ,并从理... CuO ZnO异质结气敏传感器是一种新型的气敏传感器 ,它有成本低、工艺简单、检测方便等众多优点。本工作主要研究了CuO和ZnO不同比例情况下 ,该传感器的气敏性能。测试了它的阻温特性及在不同温度、不同气氛条件下器件的灵敏度 ,并从理论上对测试结果及敏感机理进行了分析和讨论。 展开更多
关键词 气敏传感器 异质结 CUO-zno 半导体陶瓷
原文传递
电沉积ZnO纳米棒阵列及共形结构杂化太阳能电池 被引量:3
7
作者 任鑫 曹娇 +1 位作者 袁帅 施利毅 《无机化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2014年第8期1863-1874,共12页
采用电沉积法制备出ZnO致密纳米颗粒膜和不同尺寸的纳米棒阵列。通过在ZnO上旋涂P型聚合物聚3-己基噻酚(P3HT)与n型富勒烯衍生物[6,6]-苯基-C61丁酸甲酯(PCBM)的混合物,并蒸镀金属Ag,制备出不同结构的杂化太阳能电池。通过扫描... 采用电沉积法制备出ZnO致密纳米颗粒膜和不同尺寸的纳米棒阵列。通过在ZnO上旋涂P型聚合物聚3-己基噻酚(P3HT)与n型富勒烯衍生物[6,6]-苯基-C61丁酸甲酯(PCBM)的混合物,并蒸镀金属Ag,制备出不同结构的杂化太阳能电池。通过扫描电镜、X射线衍射、光致发光和模拟太阳光光电性能测试,对ZnO的生长条件、晶体形貌及缺陷与太阳能电池性能之间的关系进行了系统研究。结果表明,ZnO的形貌和晶体缺陷的分布对杂化太阳能电池有重要影响.避免共混聚合物与ZnO缺陷聚集区的直接接触可有效消除电流泄漏。在电池结构方面.与ZnO纳米阵列块状结构杂化太阳能电池相比,共形结构的杂化太阳能电池可有效缩短空穴到金属电极的传输距离.增大聚合物与金属电极的接触面积.光电转换效率可提升64%-101%。 展开更多
关键词 zno 纳米结构 半导体 电沉积 杂化太阳能电池 共形结构
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液相法合成ZnO纳米材料的研究进展 被引量:3
8
作者 叶彩 陈慧波 +1 位作者 宫丽红 武祥 《陶瓷学报》 CAS 北大核心 2009年第1期124-128,共5页
氧化锌纳米材料是一种面向21世纪的新型精细无机材料。目前,有关ZnO纳米材料的研究己经成为半导体材料研究领域的热点之一。ZnO纳米材料在光学、光电、催化、压电等方面均具有广泛的应用前景。本文对ZnO纳米材料的制备、特性及应用等方... 氧化锌纳米材料是一种面向21世纪的新型精细无机材料。目前,有关ZnO纳米材料的研究己经成为半导体材料研究领域的热点之一。ZnO纳米材料在光学、光电、催化、压电等方面均具有广泛的应用前景。本文对ZnO纳米材料的制备、特性及应用等方面作了概述。 展开更多
关键词 氧化锌 半导体 纳米材料 液相法
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ZnO基稀磁半导体薄膜材料研究进展 被引量:7
9
作者 刘学超 施尔畏 +2 位作者 张华伟 宋力昕 陈之战 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2006年第3期513-520,共8页
稀磁半导体(DMSs)材料同时利用了电子的电荷和自旋属性,具有优异的磁、磁光、磁电等性能,在材料科学和未来自旋电子器件领域具有广阔的应用前景.本文对近几年来ZnO 基稀磁半导体薄膜材料研究进展作一综述,对研究热点和存在问题作一评价... 稀磁半导体(DMSs)材料同时利用了电子的电荷和自旋属性,具有优异的磁、磁光、磁电等性能,在材料科学和未来自旋电子器件领域具有广阔的应用前景.本文对近几年来ZnO 基稀磁半导体薄膜材料研究进展作一综述,对研究热点和存在问题作一评价,提出解决的思路,最后对DMSs器件的潜在应用作简单介绍. 展开更多
关键词 zno 稀磁半导体 过渡金属 自旋电子器件
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水热法ZnO晶体特征研究 被引量:16
10
作者 宋词 杭寅 +5 位作者 张昌龙 徐军 顾书林 夏长泰 周卫宁 仲维卓 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第6期1083-1087,共5页
ZnO具有优良的综合性能使其成为极有前途的下一代光电材料,水热法是一种重要的生长ZnO晶体的方法。本文对水热法生长的面积约150mm2的ZnO晶体进行了报道,研究了晶体不同方向的生长速度、形貌特征和光学性能。X射线摇摆曲线表明晶体的质... ZnO具有优良的综合性能使其成为极有前途的下一代光电材料,水热法是一种重要的生长ZnO晶体的方法。本文对水热法生长的面积约150mm2的ZnO晶体进行了报道,研究了晶体不同方向的生长速度、形貌特征和光学性能。X射线摇摆曲线表明晶体的质量较好。对于光学性质的分析表明晶体生长时加入H2O2能显著提高晶体的质量。494nm附近的发光带可能与氧空位有关。520nm的发光可能与Na或者S i所形成的杂质能级跃迁有关。 展开更多
关键词 zno晶体 光致发光 晶体生长 半导体
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ZnO薄膜的丙酮气敏特性研究 被引量:4
11
作者 邱美艳 孙以材 +2 位作者 潘国锋 杜鹏 李辉 《电子元件与材料》 CAS CSCD 北大核心 2007年第5期46-48,52,共4页
用直流磁控反应溅射法,分别在Si(111)基片及Al2O3陶瓷基片上制备了ZnO薄膜,并进行TiO2、SnO2、Al2O3或CuO的掺杂和退火处理。用XRD分析了退火前后晶型的变化,利用气敏测试系统对各样品进行了气敏特性测试。结果表明:经过700℃退火后的样... 用直流磁控反应溅射法,分别在Si(111)基片及Al2O3陶瓷基片上制备了ZnO薄膜,并进行TiO2、SnO2、Al2O3或CuO的掺杂和退火处理。用XRD分析了退火前后晶型的变化,利用气敏测试系统对各样品进行了气敏特性测试。结果表明:经过700℃退火后的样品,在最佳工作温度为220℃时,对丙酮有很好的选择性和很高的灵敏度(34.794)。掺杂TiO2或SnO2,可提高ZnO薄膜传感器对丙酮的灵敏度(57.963)。 展开更多
关键词 半导体技术 zno薄膜 传感器 丙酮 选择性
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纳米ZnO-TiO_2复合光催化剂的制备与表征 被引量:11
12
作者 孙旋 刘红 +1 位作者 赵惠忠 南昊 《武汉科技大学学报》 CAS 2007年第6期595-598,共4页
以Ti(SO4)2和ZnSO4.7H2O为原料,以一定体积分数的乙醇作溶剂,用改进后的共沉淀法制备纳米ZnO-TiO2复合光催化材料,探讨了Zn与Ti物质的量之比、煅烧温度、乙醇体积分数等制备条件对样品光催化活性的影响,并采用XRD,TG-DSC,BET,UV等测试... 以Ti(SO4)2和ZnSO4.7H2O为原料,以一定体积分数的乙醇作溶剂,用改进后的共沉淀法制备纳米ZnO-TiO2复合光催化材料,探讨了Zn与Ti物质的量之比、煅烧温度、乙醇体积分数等制备条件对样品光催化活性的影响,并采用XRD,TG-DSC,BET,UV等测试手段对其进行表征。光催化活性测试表明,初次使用和重复使用2次后的ZnO-TiO2纳米复合材料对甲基橙的降解率均远高于TiO2。 展开更多
关键词 纳米zno-TiO2 复合材料 光催化剂 结构表征
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复合溶剂热法可控合成ZnO半导体纳米材料 被引量:2
13
作者 刘小娣 陈书阳 +1 位作者 闫家伟 李圣民 《南阳师范学院学报》 CAS 2010年第9期31-34,共4页
以无水甲醇-水为复合溶剂,以Zn(NO3)2.6H2O和NaOH为原料,采用复合溶剂热法制备出具有特殊形貌的ZnO半导体纳米材料(四脚针状、棒状和片状),利用X-射线粉末衍射仪(XRD)和扫描电子显微镜(SEM)对产物的晶体结构和形貌进行表征.结果表明,通... 以无水甲醇-水为复合溶剂,以Zn(NO3)2.6H2O和NaOH为原料,采用复合溶剂热法制备出具有特殊形貌的ZnO半导体纳米材料(四脚针状、棒状和片状),利用X-射线粉末衍射仪(XRD)和扫描电子显微镜(SEM)对产物的晶体结构和形貌进行表征.结果表明,通过简单地改变反应物比例和溶剂,可成功地实现ZnO纳米材料晶型和形貌的控制合成.研究了反应物比例和溶剂对ZnO形貌的影响,并对不同形貌ZnO纳米材料的形成机理进行了探讨. 展开更多
关键词 zno 半导体纳米材料 复合溶剂热法 可控合成
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溶胶-凝胶法制备ZnO:Sn薄膜的微观结构及光电特性 被引量:6
14
作者 马德福 胡跃辉 +3 位作者 胡鸿豪 张效华 陈义川 陈新华 《中国陶瓷》 CAS CSCD 北大核心 2013年第4期25-27,34,共4页
利用溶胶-凝胶法在石英玻璃衬底上制备Sn掺杂ZnO薄膜(ZnO:Sn),研究了不同Sn掺杂量对薄膜结晶性、表面形貌和光电特性的影响。通过X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、紫外-可见光光度计(UV-VIS)和四探针测试仪对ZnO:Sn薄膜进行表征... 利用溶胶-凝胶法在石英玻璃衬底上制备Sn掺杂ZnO薄膜(ZnO:Sn),研究了不同Sn掺杂量对薄膜结晶性、表面形貌和光电特性的影响。通过X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、紫外-可见光光度计(UV-VIS)和四探针测试仪对ZnO:Sn薄膜进行表征,结果表明:Sn掺杂2at.%时,薄膜具有良好的c轴择优取向,表面簇拥生长并呈现六角形结构,薄膜的平均透光率大约为90%,电阻率最小仅为19.6Ω.cm。 展开更多
关键词 透明氧化物半导体 zno薄膜 锡掺杂 溶胶-凝胶法
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Co掺杂ZnO稀磁半导体的微观结构与磁学性质 被引量:3
15
作者 刘清华 刘永利 +1 位作者 董自卫 张倩 《河北师范大学学报(自然科学版)》 CAS 北大核心 2010年第3期292-295,共4页
用溶胶-凝胶方法制备了具有单一纤锌矿结构的Co掺杂ZnO稀磁半导体粉末样品.通过对样品的结构、元素价态、电学和磁学性质的分析,研究了样品室温铁磁性来源.研究结果表明,2次烧结的样品比1次烧结样品的磁化强度明显增强;观测到的铁磁性与... 用溶胶-凝胶方法制备了具有单一纤锌矿结构的Co掺杂ZnO稀磁半导体粉末样品.通过对样品的结构、元素价态、电学和磁学性质的分析,研究了样品室温铁磁性来源.研究结果表明,2次烧结的样品比1次烧结样品的磁化强度明显增强;观测到的铁磁性与ZnO本征缺陷(Zn空位)有关,铁磁性起源于局域化受主(Zn空位)之间的交换相互作用. 展开更多
关键词 zno 稀磁半导体 铁磁性 CO掺杂
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Study and Fabrication of a Au/n-ZnO/p-Si Structure UV-Enhanced Phototransistor 被引量:1
16
作者 郭俊福 谢家纯 +3 位作者 段理 何广宏 林碧霞 傅竹西 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第1期5-8,共4页
The fabrication and characterization of a Schottky-emitter heterojunction-collector UV-enhanced bipolar phototransistor (SHBT) are presented. The luminescence peak of the ZnO film is observed at 371nm in the PL spec... The fabrication and characterization of a Schottky-emitter heterojunction-collector UV-enhanced bipolar phototransistor (SHBT) are presented. The luminescence peak of the ZnO film is observed at 371nm in the PL spectrum. The sensitivity of the ultraviolet response from 200 to 400nm is enhanced noticeably, and the spectrum response at wavelengths longer than 400nm is also retained, The experiments show that the Au/n-ZnO/p-Si SHBT UV enhanced phototransistor enhances the sensitivity of the ultraviolet response noticeably. The UV response sensitivity at 370nm of the phototransistor is 5-10 times that of a ZnO/Si heterojunction UV enhanced photodiode. 展开更多
关键词 SCHOTTKY HETEROJUNCTION WBG semiconductor zno UV phototransistor
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Ga Al In掺杂ZnO电子结构的第一性原理计算 被引量:10
17
作者 张富春 邓周虎 +2 位作者 阎军锋 允江妮 张志勇 《电子元件与材料》 CAS CSCD 北大核心 2005年第8期4-7,10,共5页
计算了Ga、Al、In掺杂ZnO体系电子结构,分析了掺杂对ZnO晶体的结构、能带、电子态密度、差分电荷分布的影响。所有计算,都是基于密度泛函理论(DFT)框架下的第一性原理平面波超软赝势方法。计算结果表明:在导带底引入了大量由掺杂原子贡... 计算了Ga、Al、In掺杂ZnO体系电子结构,分析了掺杂对ZnO晶体的结构、能带、电子态密度、差分电荷分布的影响。所有计算,都是基于密度泛函理论(DFT)框架下的第一性原理平面波超软赝势方法。计算结果表明:在导带底引入了大量由掺杂原子贡献的导电载流子(Ga:2.57×1021cm–3;Al:2.58×1021cm–3;In:2.53×1021cm–3),明显提高了体系的电导率。同时,光学带隙展宽,且向低能方向漂移,可作为优良的透明导电薄膜材料。 展开更多
关键词 半导体技术 zno 第一性原理 电子结构 掺杂 透明导电薄膜
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碳点修饰多孔ZnO纳米棒增强光催化性能 被引量:16
18
作者 冯昌 邓晓燕 +1 位作者 倪晓晓 李卫兵 《物理化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2015年第12期2349-2357,共9页
首先采用溶剂热法制备具有良好光催化降解性能的多孔ZnO纳米棒,随后采用化学沉积法在ZnO纳米棒表面修饰碳点,成功制备碳点修饰多孔ZnO纳米棒系列光催化剂.通过X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、透射电子显微镜(TEM)、X射线光电子能... 首先采用溶剂热法制备具有良好光催化降解性能的多孔ZnO纳米棒,随后采用化学沉积法在ZnO纳米棒表面修饰碳点,成功制备碳点修饰多孔ZnO纳米棒系列光催化剂.通过X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、透射电子显微镜(TEM)、X射线光电子能谱(XPS)、紫外-可见(UV-ViS)分光光谱等技术对系列样品进行表征.通过测试系列样品在氙灯光源照射下,降解有机污染物(罗丹明B和苯酚)的光催化性能,发现碳点修饰多孔ZnO纳米棒能有效增强ZnO的光催化性能,其中质量分数为1.2%碳点修饰ZnO纳米棒(CZn1.2)表现出最高的光催化降解罗丹明B活性,为纯多孔ZnO纳米棒的2.5倍;同时,在氙灯光源照射下,碳点修饰多孔ZnO纳米棒具有很强的氧化性,能够催化苯环的开环反应,实现对苯酚的降解.其光催化活性的增强在于碳点修饰多孔ZnO光催化材料中,碳点作为光生电子受体,促进半导体光生电子与空穴的有效分离,从而增强光催化性能. 展开更多
关键词 半导体光催化 zno 碳点 降解有机污染物 修饰光催化剂
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热处理温度对溶胶凝胶法制备ZnO:Sn薄膜性能的影响 被引量:8
19
作者 陈俊 胡跃辉 +3 位作者 胡鸿豪 张效华 陈义川 陈新华 《陶瓷学报》 CAS 北大核心 2013年第1期5-10,共6页
采用溶胶-凝胶法在石英玻璃上制备掺锡氧化锌(ZnO:Sn)透明导电薄膜,研究了干燥温度和退火温度对薄膜结晶度、微观结构、光电特性的影响。采用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、紫外-可见光光度计(UV-VIS)和四探针法等分析方法对Z... 采用溶胶-凝胶法在石英玻璃上制备掺锡氧化锌(ZnO:Sn)透明导电薄膜,研究了干燥温度和退火温度对薄膜结晶度、微观结构、光电特性的影响。采用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、紫外-可见光光度计(UV-VIS)和四探针法等分析方法对ZnO:Sn薄膜进行分析表征,结果表明:在300℃温度下干燥10min后,在700℃空气中退火1h制备出的ZnO:Sn薄膜表面平整,具有c轴择优取向,平均透过率达到92%以上,电阻率仅为13.6Ω.cm。 展开更多
关键词 透明氧化物半导体 zno薄膜 Sn掺杂 溶胶-凝胶法
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ZnO半导体薄膜的研究进展 被引量:2
20
作者 吕承瑞 王小平 +1 位作者 王丽军 雷通 《材料导报(纳米与新材料专辑)》 EI 2008年第3期216-218,229,共4页
介绍了制备氧化锌薄膜的几种主要方法,包括磁控溅射法、化学气相沉积法、溶胶-凝胶法、激光脉冲沉积法等;分析了氧化锌薄膜作为代替透明导电膜(ITO膜)的可行性及这方面的研究进展;阐述了氧化锌薄膜作为一种新的场发射阴极材料应用于平... 介绍了制备氧化锌薄膜的几种主要方法,包括磁控溅射法、化学气相沉积法、溶胶-凝胶法、激光脉冲沉积法等;分析了氧化锌薄膜作为代替透明导电膜(ITO膜)的可行性及这方面的研究进展;阐述了氧化锌薄膜作为一种新的场发射阴极材料应用于平板显示或作为场发射电子源的研究进展,同时综述了其作为发光器件的众多优势。 展开更多
关键词 zno半导体薄膜 ITO膜 场发射阴极材料 LED
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