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基于硅酸镓镧结构的SAW温度传感器设计及无线集成研究
1
作者 刘强 陈驰 +2 位作者 杨文龙 李鸿源 徐鸿 《仪表技术与传感器》 北大核心 2025年第1期120-126,共7页
为实现恶劣环境下温度的准确测量,以硅酸镓镧结构(LGS)为压电基底,Pt为电极,Al_(2)O_(3)为保护层制备了一种单端口谐振型SAW温度传感器。通过实验探究了结构参数对传感器性能的影响,设计并开发了螺旋偶极子天线和陶瓷封装。结果表明:综... 为实现恶劣环境下温度的准确测量,以硅酸镓镧结构(LGS)为压电基底,Pt为电极,Al_(2)O_(3)为保护层制备了一种单端口谐振型SAW温度传感器。通过实验探究了结构参数对传感器性能的影响,设计并开发了螺旋偶极子天线和陶瓷封装。结果表明:综合考虑叉指换能器和反射栅之间的距离L_(g)对温度信号识别和SAW传感器性能的影响,L_(g)选择λ/8或者5λ/8;温度敏感性随着电极宽度增加而降低;通过对SAW传感器芯片、天线和陶瓷封装集成,在室温到600℃下实现了温度的无线稳定测量。 展开更多
关键词 saw传感器 无线测量 结构参数 螺旋偶极子天线 陶瓷封装
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基于软件无线电方案无线无源SAW温度阅读器设计 被引量：1
2
作者 王其豪 曹俊豪 +1 位作者 张光祖 罗为 《压电与声光》 CAS 北大核心 2024年第1期22-25,共4页
目前谐振型声表面波(SAW)阅读器射频电路大多采取分立器件设计,针对系统整体工作频段受限,硬件设计繁琐的问题,该文提出了一种软件无线电方案。软件无线电系统主体由ZYNQ和AD9361组成,射频收发端口添加LNA、PA进行信号功率放大,使用射... 目前谐振型声表面波(SAW)阅读器射频电路大多采取分立器件设计,针对系统整体工作频段受限,硬件设计繁琐的问题,该文提出了一种软件无线电方案。软件无线电系统主体由ZYNQ和AD9361组成,射频收发端口添加LNA、PA进行信号功率放大,使用射频开关隔离收发。通过发射步进频率5 kHz、带宽1 MHz扫频信号,并对回波进行频谱分析求取最大值,最终得到谐振频率。针对SAW传感器回波持续时间较短而导致FFT计算分辨率的不足,使用重复采集增加数据长度,将阅读器的分辨率提高到468.75 Hz。实验结果表明,该阅读器能够正确探测传感器温度变化。 展开更多
关键词 声表面波 saw谐振器 AD9361 软件无线电 ZYNQ
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陶瓷封装SAW滤波器除金工艺研究
3
作者 唐盘良 李亚飞 +3 位作者 黄莹 张钧翀 冷俊林 马晋毅 《压电与声光》 CAS 北大核心 2024年第5期695-699,共5页
针对陶瓷封装声表面波(SAW)滤波器焊盘除金问题,提出了载板搪锡工艺的解决方案。通过制作外扩焊盘的搪锡载板进行滤波器批量贴装,在加热台上进行回流以溶解焊盘镀金层,取下上锡器件后用真空吸锡枪吸去焊盘表面焊锡,即可达到除金目的。... 针对陶瓷封装声表面波(SAW)滤波器焊盘除金问题,提出了载板搪锡工艺的解决方案。通过制作外扩焊盘的搪锡载板进行滤波器批量贴装,在加热台上进行回流以溶解焊盘镀金层,取下上锡器件后用真空吸锡枪吸去焊盘表面焊锡,即可达到除金目的。详细介绍了搪锡载板的焊盘设计,利用红外测温仪对操作过程进行监控,对除金后的器件进行焊盘表面、焊点界面分析以及环境试验验证。试验表明,焊盘表面镀金层被完全去除,除金后的器件具有较高的可靠性。 展开更多
关键词 陶瓷封装 声表面波(saw)滤波器 搪锡 除金 可靠性
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面内传播方向对SAW滤波器性能的影响研究
4
作者 朱建宇 魏子杰 +7 位作者 范维 李沛然 钱一聪 帅垚 吴传贵 罗文博 潘忻强 张万里 《压电与声光》 CAS 北大核心 2024年第4期435-438,共4页
为了满足窄带声表面波滤波器对品质因数Q值和带外抑制日益增长的需求,提出了一种窄带滤波器设计方法。在基于新型POI结构谐振器的基础上,通过旋转谐振器达到改变波传播角度的目的,并利用二维全模型得到准确的实验数据,与原结构谐振器分... 为了满足窄带声表面波滤波器对品质因数Q值和带外抑制日益增长的需求,提出了一种窄带滤波器设计方法。在基于新型POI结构谐振器的基础上,通过旋转谐振器达到改变波传播角度的目的,并利用二维全模型得到准确的实验数据,与原结构谐振器分别代入滤波器设计中进行比较。实验结果表明,该方法在一定程度上能够有效地增加带外抑制,对过渡带抑制能力有2~4 dB的提升,且具有设计简便,占用空间小等优点。 展开更多
关键词 声表面波(saw) 窄带 谐振器 带外抑制 压电材料
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基于SAW滤波器的电磁寄生提取
5
作者 胡月 白凤 +8 位作者 周艺蒙 范维 魏子杰 李沛然 帅垚 吴传贵 罗文博 潘忻强 张万里 《压电与声光》 CAS 北大核心 2024年第4期453-457,共5页
针对封装管壳和版图电磁寄生参数导致射频声表面波(SAW)滤波器通带变窄及驻波增大等问题,提出一种能快速提取封装管壳和版图中电磁寄生效应的方法,精准模拟了封装和版图对滤波器性能的影响。首先利用有限元法(FEM)电磁仿真软件提取封装... 针对封装管壳和版图电磁寄生参数导致射频声表面波(SAW)滤波器通带变窄及驻波增大等问题,提出一种能快速提取封装管壳和版图中电磁寄生效应的方法,精准模拟了封装和版图对滤波器性能的影响。首先利用有限元法(FEM)电磁仿真软件提取封装管壳的电磁寄生参数,再使用电路仿真软件将所设计出的滤波器结合所提取的封装寄生参数和滤波器版图直接进行联合仿真,此方法不需将版图在FEM软件中再次进行电磁仿真,可提高时间利用率。此方法在中心频率为1 268 MHz、通带插入损耗小于1 dB、带内驻波小于1.6、带内波动为0.5 dB、带宽为24 MHz(相对带宽为1.8%)的SAW滤波器上进行了验证,结果表明仿真结果与实测值吻合度较高。该设计中所用的SAW谐振器均经过去嵌操作,能更精准地模拟实测滤波器的结果。 展开更多
关键词 电磁寄生 saw滤波器 封装 去嵌 版图
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SAW滤波器功率容量研究
6
作者 白凤 帅垚 +2 位作者 吴传贵 罗文博 张万里 《电子元件与材料》 CAS 北大核心 2024年第7期860-865,共6页
为了提高声表面波(SAW)滤波器的使用寿命和设计效率,有必要研究谐振单元对滤波器功率耐受力的影响。首先通过FEM有限元软件搭建由Al电极、42°Y-X LiTaO_(3)压电材料薄膜和SiO_(2)/Poly-Si/Si衬底构成的谐振器模型,并分析IDT、声孔... 为了提高声表面波(SAW)滤波器的使用寿命和设计效率,有必要研究谐振单元对滤波器功率耐受力的影响。首先通过FEM有限元软件搭建由Al电极、42°Y-X LiTaO_(3)压电材料薄膜和SiO_(2)/Poly-Si/Si衬底构成的谐振器模型,并分析IDT、声孔径、半周期对其阻抗的影响。同时,提出了一种谐振器功率测试方法,该方法可以计算出谐振器的各个频点下加载功率随输入功率的变化。为了验证功率测试方法的可靠性,对采用3030C封装的B41(2515~2675 MHz)滤波器进行功率测试,结果显示在输入功率为23 dBm时,滤波器被烧毁,与仿真数据一致。最后结合电容公式和仿真数据证实了谐振器的面积变化会改变滤波器的电容比,进而影响滤波器的散热,因此可以通过改变SAW滤波器各支路串并联结构以及各谐振器叉指对数、孔径、半周期,来提高滤波器功率耐受性。 展开更多
关键词 saw 功率 电容比 谐振器 有限元
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基于X-LiNbO_(3)/SiO_(2)/Si低温漂、大机电耦合SH-SAW谐振器的设计
7
作者 温福军 王园园 +5 位作者 钱莉荣 王荔田 李翠平 熊阳 田亚会 李红浪 《压电与声光》 CAS 北大核心 2024年第3期290-295,共6页
铌酸锂(LN)单晶薄膜具有较高的机电耦合系数(k_(eff)^(2)>30%),其水平剪切(SH)声学模式常被应用于开发具有大机电耦合系数的薄膜声学谐振器和超宽带滤波器。但LN的频率温度系数较大(TCF>-50×10^(-6)/℃),这不仅会降低滤波器... 铌酸锂(LN)单晶薄膜具有较高的机电耦合系数(k_(eff)^(2)>30%),其水平剪切(SH)声学模式常被应用于开发具有大机电耦合系数的薄膜声学谐振器和超宽带滤波器。但LN的频率温度系数较大(TCF>-50×10^(-6)/℃),这不仅会降低滤波器的可用有效带宽,同时也会限制器件的功率处理能力。采用3D周期有限元模型对基于X切LN/SiO2/Si结构SH声表面波(SH-SAW)谐振器进行了优化研究。研究结果表明,当SH-SAW传播角ψ=-10°~-20°、LN和SiO2膜厚分别为hLN=0.1λ和hSiO_(2)=0.2λ(λ为叉指换能器周期)、铝电极金属化率η=0.4、电极相对厚度hAl/λ=5%~10%时,SH-SAW谐振器的k_(eff)^(2)约为30%,且其TCF<-20×10^(-6)/℃,有望用于开发新一代的低温漂、超宽带5G SAW滤波器。 展开更多
关键词 X切铌酸锂薄膜 水平剪切声表面波 有效机电耦合系数 频率温度系数 声表面波谐振器 超宽带声表面波滤波器
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电磁寄生参数对SAW滤波器性能的影响
8
作者 魏园林 帅垚 +3 位作者 魏子杰 吴传贵 罗文博 张万里 《压电与声光》 CAS 北大核心 2024年第4期463-467,共5页
设计了B41频段的声表面波(SAW)滤波器,利用三维电磁场仿真工具HFSS建立表面贴装器件(SMD)封装和芯片级(CSP)封装模型,对比两种封装的声-电磁联合仿真结果得出,在滤波器电路拓扑结构中,当2条不同并联支路连接在一起时,由于SMD封装键合引... 设计了B41频段的声表面波(SAW)滤波器,利用三维电磁场仿真工具HFSS建立表面贴装器件(SMD)封装和芯片级(CSP)封装模型,对比两种封装的声-电磁联合仿真结果得出,在滤波器电路拓扑结构中,当2条不同并联支路连接在一起时,由于SMD封装键合引线的电磁寄生参数影响,滤波器在高频处的带外抑制会出现“上翘”。建立不同键合线数量、直径及长度的SMD封装模型,并仿真计算S参数。对比仿真结果可知,随着键合线直径的增大和长度的减小,其等效电感逐渐变小,即键合线的电磁寄生参数逐渐减小,对SAW滤波器性能的影响逐渐减弱,高频处的带外抑制性能得到优化。结果表明,CSP封装植球倒扣的电磁寄生参数更小,声-电磁联合仿真的结果更优,与实测结果吻合较好。 展开更多
关键词 saw滤波器 表面贴装器件(SMD)封装 芯片级(CSP)封装 电磁寄生参数 带外抑制 键合线
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压电复合薄膜的SAW器件杂波抑制及仿真方法
9
作者 王吉芳 陈平静 +6 位作者 曹稚颖 潘虹芝 董加和 肖强 吴浩东 陈正林 马晋毅 《压电与声光》 CAS 北大核心 2024年第4期447-452,457,共7页
针对任意复杂膜系结构压电复合薄膜声表面波(SAW)器件横向杂波抑制及精确快速仿真方法,从数学上严格分析推导了有限长结构分层级联理论和色散2D-COM模型,可精确快速地计算压电复合薄膜SAW器件传播方向及孔径方向结构对杂波模式的影响,... 针对任意复杂膜系结构压电复合薄膜声表面波(SAW)器件横向杂波抑制及精确快速仿真方法,从数学上严格分析推导了有限长结构分层级联理论和色散2D-COM模型,可精确快速地计算压电复合薄膜SAW器件传播方向及孔径方向结构对杂波模式的影响,并通过色散2D-COM模型对SAW器件杂波抑制进行综合分析。通过对41°Y-X LiNbO_(3)/SiO_(2)/Si_poly/Si(111)复合衬底SAW谐振器的优化设计与研制,结果表明,设计优化结果与实验结果吻合较好,验证了该方法的有效性和可行性。 展开更多
关键词 压电复合薄膜 saw器件 杂波抑制 分层级联 2D-COM模型
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面向无人火车的双天线差分SAW RFID精准对位
10
作者 乔良颖 唐正凯 +5 位作者 杜珊 吴娟 徐华 刘一江 史汝川 韩韬 《压电与声光》 北大核心 2024年第6期846-853,共8页
工业火车的无人驾驶、行车调度智能化是传统制造业转型升级的关键环节,但目前缺乏对抗高温、粉尘、金属环绕等恶劣环境及低维护成本的精准对位技术。声表面波射频识别技术具有无线无源、耐高温及抗恶劣环境的特点。提出了基于双天线时... 工业火车的无人驾驶、行车调度智能化是传统制造业转型升级的关键环节,但目前缺乏对抗高温、粉尘、金属环绕等恶劣环境及低维护成本的精准对位技术。声表面波射频识别技术具有无线无源、耐高温及抗恶劣环境的特点。提出了基于双天线时延差分的绝对位置测量方法,与单天线测距定位相比,抵消了环境温度的影响,提高了精度和可靠性。针对雷达发射的线性调频查询信号,研究了基于分数阶傅里叶变换处理回波信号提取时延。仿真和实验结果表明,与传统匹配滤波方法相比,该方法降低了时延测量误差,精度可达0.35 ns。搭建模拟平台进行动态对位实验,位置测量精度可达6.2 cm,在更靠近对位点的区间内可达3.48 cm。精准对位系统在某钢铁厂已得到了初步应用。 展开更多
关键词 火车对位 声表面波射频识别 双天线差分 分数阶傅里叶变换
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基于IDT/ZnO/AlN/Diamond结构的混合SAW/BAW压力敏感元件特性研究
11
作者 武庆鹏 王地懋 +1 位作者 曾龙 王艳 《压电与声光》 CAS 北大核心 2024年第3期322-327,共6页
利用有限元方法分析了基于IDT/ZnO/AlN/Diamond不同结构混合SAW/BAW器件的声学特性,包括层状薄膜结构、ZnO薄膜刻蚀结构和填充结构。结果表明,当h_(ZnO)/λ=0.3、h_(AlN)/λ=0.5,且ZnO被完全刻蚀(d/h_(ZnO)=1)时,刻蚀结构混合SAW/BAW(... 利用有限元方法分析了基于IDT/ZnO/AlN/Diamond不同结构混合SAW/BAW器件的声学特性,包括层状薄膜结构、ZnO薄膜刻蚀结构和填充结构。结果表明,当h_(ZnO)/λ=0.3、h_(AlN)/λ=0.5,且ZnO被完全刻蚀(d/h_(ZnO)=1)时,刻蚀结构混合SAW/BAW(准西沙瓦波)的机电耦合系数(K^(2))取得最大值6.54%,比层状结构(d/h_(ZnO)=0)提升了近一倍。刻蚀结构中,SiO_(2)和Diamond填充物的引入不仅提高了准西沙瓦波的K_(2),而且改善了其压力传感特性。当d/h_(ZnO)=1时,SiO_(2)和Diamond填充结构准西沙瓦波的压力频移分别为81.2 kHz/MPa和207.4 kHz/MPa,比刻蚀结构分别提高了58.7%和300%;同时,Diamond填充物的引入使准西沙瓦波的频率压力系数(PCF)达到最大值297×10^(-6)/MPa,比d/h_(ZnO)=0时提高了约30%。由此可知,通过引入不同的填充物可以开发不同的功能传感器,在压力、温度和气敏等传感领域将具有极大的应用前景。 展开更多
关键词 声表面波 准西沙瓦波 刻蚀结构 压力传感
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高矩形度低损耗梯形SAW滤波器设计
12
作者 张昆 王红亮 《压电与声光》 北大核心 2024年第6期878-883,共6页
为了确保5G时代不同物联网设备之间中频波段频谱隔离,设计了一款基于瑞利波模式的高矩形度、低损耗梯形声表面波(SAW)滤波器。该滤波器采用Al电极,压电材料为128°YX-LiNbO_(3)。为实现低损耗的设计要求,通过有限元法仿真分析了电... 为了确保5G时代不同物联网设备之间中频波段频谱隔离,设计了一款基于瑞利波模式的高矩形度、低损耗梯形声表面波(SAW)滤波器。该滤波器采用Al电极,压电材料为128°YX-LiNbO_(3)。为实现低损耗的设计要求,通过有限元法仿真分析了电极厚度、占空比、孔径和反射栅对谐振器性能的影响。同时,为了抑制通带内杂散,采用了一种非标准短路栅结构。为改善普通拓扑结构滤波器通带两侧的波纹问题,设计了一种新型镜像拓扑结构,通过减小滤波器的电容比(C_(0p)/C_(0s))达到实现高矩形度的设计目标。最终设计出一款中心频率315.03 MHz,-3 dB带宽11.62 MHz,最小插入损耗0.758 dB,带外抑制35.931 dB,矩形系数1.30的六阶梯形SAW滤波器。 展开更多
关键词 高矩形度 低损耗 有限元法 非标准短路栅 电容比 梯形saw滤波器
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离子束刻蚀技术在SAW滤波器频率修整上的应用
13
作者 时鹏程 吴兵 +4 位作者 袁燕 于海洋 林树超 孟腾飞 周培根 《微纳电子技术》 CAS 2024年第3期169-175,共7页
随着声表面波(SAW)滤波器的应用向高频、窄带方向延伸,在制造过程中准确地控制其中心频率及一致性变得越来越困难,需要对SAW滤波器的频率进行微调。重点介绍了一种在SAW滤波器上可实现目标频率修整的离子束刻蚀修频工艺,通过实验发现刻... 随着声表面波(SAW)滤波器的应用向高频、窄带方向延伸,在制造过程中准确地控制其中心频率及一致性变得越来越困难,需要对SAW滤波器的频率进行微调。重点介绍了一种在SAW滤波器上可实现目标频率修整的离子束刻蚀修频工艺,通过实验发现刻蚀厚度不同对滤波器表面的影响程度不同,一次离子束刻蚀厚度为50 nm时,铝膜表面出现微结构变化。分析了对晶圆、器件进行离子刻蚀工艺引起热损伤的机理,表征了不同刻蚀厚度对SAW滤波器粘接芯片的剪切力和硅铝丝键合力的影响。根据实验现象及结果提出了分梯度多次刻蚀的优化方案,给出了不同刻蚀厚度的刻蚀精度,对实验结果进行拟合,得到中心频率与刻蚀厚度的关系方程,从频率、插入损耗和通带方面分析了离子束刻蚀工艺对SAW滤波器电学性能的影响。经离子束刻蚀修频后,滤波器中心频率提高2 MHz,中心频率标准差由0.4 MHz减少为0.15 MHz,中心频率的均一性由0.29%改善至0.11%,频率一致性变好。 展开更多
关键词 声表面波(saw)滤波器 离子束刻蚀 频率修整 刻蚀速率 微观结构
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SAW-RFID系统在变压器油温在线监测中的应用与实践探究 被引量：1
14
作者 李小君 王骁 +1 位作者 刘志高 钱昱呈 《电气传动自动化》 2024年第2期28-32,共5页
SAW-RFID系统具有较强的监测能力,可应用于变压器油温监测中,并且形成在线监测手段,实现对油温的实时控制。基于此,本文先从测温过程、高频测量、叉指换能器、反射栅、射频标签等方面对相关技术进行分析,并对SAW-RFID系统进行设计,再从... SAW-RFID系统具有较强的监测能力,可应用于变压器油温监测中,并且形成在线监测手段,实现对油温的实时控制。基于此,本文先从测温过程、高频测量、叉指换能器、反射栅、射频标签等方面对相关技术进行分析,并对SAW-RFID系统进行设计,再从标签性能、通讯距离、监测结果三个方面检测系统的性能,确保在线监测性能的可靠性,消除在线检测中的不利因素,将变压器油温控制在稳定范围。 展开更多
关键词 saw-RFID 变压器 油温监测
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高隔离SAW双工器模组的研制
15
作者 蒲志勇 杨桃均 +4 位作者 罗文汀 张伟 龚旭 杨卫东 温桎茹 《压电与声光》 CAS 北大核心 2024年第4期429-434,共6页
为进一步提高LTE B3双工器频段间隔离度,利用系统级封装(SIP)技术设计了一种高隔离声表面波(SAW)双工器模组。该模组由2个SAW双工器和3个耦合器组成,利用TX-RX路径的相位相消及耦合器的隔离度,实现单颗SAW双工器上下行链路间隔离度的提... 为进一步提高LTE B3双工器频段间隔离度,利用系统级封装(SIP)技术设计了一种高隔离声表面波(SAW)双工器模组。该模组由2个SAW双工器和3个耦合器组成,利用TX-RX路径的相位相消及耦合器的隔离度,实现单颗SAW双工器上下行链路间隔离度的提高。采用阻抗元滤波器架构,实现了单颗SAW双工器隔离度达51 dB。采用宽边带状线多层螺旋耦合线结构实现了工作宽带宽、集成小型化的3 dB耦合器。研制的模组测试结果表明,在B3频段内,尺寸为8.0 mm×8.0 mm×2.0 mm,插入损耗小于3.2 dB,回波损耗大于13 dB,隔离度优于65 dB,承受瞬间功率可达34 dBm。 展开更多
关键词 高隔离 saw双工器 耦合器 模组 频分双工 多层螺旋耦合线
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S355热轧H型钢SAW焊接接头微观组织与低温冲击性能研究
16
作者 方革新 《金属加工（热加工）》 2024年第10期52-56,共5页
采用埋弧焊(SAW)焊接S355热轧H型钢,利用光学显微镜和扫描电镜观察焊接接头微观组织,按照欧洲标准对焊接接头进行显微硬度测试和低温冲击性能试验,利用SEM观察断口形貌进行分析。结果表明:焊缝区组织主要由针状铁素体+珠光体构成;热影... 采用埋弧焊(SAW)焊接S355热轧H型钢,利用光学显微镜和扫描电镜观察焊接接头微观组织,按照欧洲标准对焊接接头进行显微硬度测试和低温冲击性能试验,利用SEM观察断口形貌进行分析。结果表明:焊缝区组织主要由针状铁素体+珠光体构成;热影响区由粗晶区、细晶区和不完全重结晶区构成,粗晶区组织主要由粗大的铁素体+珠光体+少量的块状铁素体+粒状贝氏体构成;细晶区组织由细小均匀的铁素体和珠光体构成;不完全重结晶区组织由细小的铁素体、珠光体及原始母材带状组织构成。焊接接头各区域维氏硬度分布均匀,均<185HV10。焊接接头-40℃冲击吸收能量在熔合线位置最高,在其他位置均有一定的降低,冲击性能均满足使用要求。 展开更多
关键词 S355 saw 显微组织 低温冲击性能
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基于机器视觉的铜管锯齿伤智能识别与软件实现
17
作者 刘劲松 臧雪颖 +3 位作者 陈大勇 宋鸿武 刘昆 云红杰 《精密成形工程》 北大核心 2025年第2期130-140,共11页
目的锯齿伤作为铜管材首要的缺陷,会造成管材后续二次加工开裂和服役破裂等严重问题,对缺陷进行高效、定量化的统计及分析是产品质量管控的关键性难点,也是铜管加工行业的空白。针对这一问题,基于机器视觉方法,设计并开发了铜管材锯齿... 目的锯齿伤作为铜管材首要的缺陷,会造成管材后续二次加工开裂和服役破裂等严重问题,对缺陷进行高效、定量化的统计及分析是产品质量管控的关键性难点,也是铜管加工行业的空白。针对这一问题,基于机器视觉方法,设计并开发了铜管材锯齿伤缺陷智能识别算法和系统。方法首先,基于自适应阈值算法,设计采用一系列的降噪算法,实现锯齿伤管材横截面轮廓识别。其次,定义了锯齿伤缺陷占比的计算规则,通过算法优化,实现了开口和闭口2种锯齿伤的成功识别和缺陷占比的计算。最后,借助Python语言构建了图形用户界面(GUI)系统,完成了锯齿伤缺陷统计的软件化。结果通过对智能识别算法和实验获得的锯齿伤缺陷占比进行对比,发现相对误差保持在1%~2%,证明缺陷智能识别算法具有可行性和高精度。结论该系统可以有效地实现铜管锯齿伤缺陷识别和占比的定量、高效统计与分析。 展开更多
关键词 精密铜管 机器视觉 锯齿伤 缺陷识别 缺陷占比
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谐振型SAW无线无源传感器的测试系统研究 被引量：7
18
作者 王睿 张万里 +3 位作者 彭斌 邓森洋 邓言文 姜建英 《压电与声光》 CAS CSCD 北大核心 2016年第4期566-569,共4页
采用一种低成本、高效率的电路系统实现对谐振型无线无源声表面波(SAW)传感器的测试。该电路利用直接数字频率合成(DDS)技术产生不同频率的射频信号用以激励SAW传感器。在接收端采用功率探测器检测回波信号的包络,通过包络的变化得到待... 采用一种低成本、高效率的电路系统实现对谐振型无线无源声表面波(SAW)传感器的测试。该电路利用直接数字频率合成(DDS)技术产生不同频率的射频信号用以激励SAW传感器。在接收端采用功率探测器检测回波信号的包络,通过包络的变化得到待测物理化学参量的变化。该测试系统产生的激励信号功率最高可达10dBm,测试时间约为0.5s,与矢网测试结果相比,其测试相对误差仅为0.002 4%。实验结果表明,该系统能够稳定、可靠地实现谐振型SAW传感器的快速检测。 展开更多
关键词 谐振型声表面波(saw)传感器 无线无源 直接数字频率合成 功率探测器
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剥离工艺制作SAW滤波器IDT的研究 被引量：6
19
作者 陈颖慧 高杨 +1 位作者 郑英彬 赵兴海 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2012年第2期124-128,共5页
研究了用于声表面波滤波器的微米尺度的叉指换能器的制作工艺。利用剥离工艺,分别采用铝和铬金两种金属制作了叉指换能器的电极,分析了剥离工艺制作叉指电极时的工艺特性。对加工样品的测量分析结果表明,利用剥离工艺制备的叉指换能器... 研究了用于声表面波滤波器的微米尺度的叉指换能器的制作工艺。利用剥离工艺,分别采用铝和铬金两种金属制作了叉指换能器的电极,分析了剥离工艺制作叉指电极时的工艺特性。对加工样品的测量分析结果表明,利用剥离工艺制备的叉指换能器电极线条光滑、陡直、清晰,但是成品率较低。对比分析了采用铝和铬金制作的叉指换能器样品结构,结果表明两种金属材料在剥离液中的腐蚀时间不同,铝材料需要较长的剥离时间;两种材料制作的电极图形质量也有差异,铝材料制作的电极更为陡直、精细。 展开更多
关键词 声表面波(saw) 滤波器 叉指换能器(IDT) 剥离 陡直度
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ZnO/IDT/金刚石结构SAW滤波器的设计和制作 被引量：3
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作者 陈颖慧 郑英彬 +3 位作者 席仕伟 唐彬 王旭光 张慧 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2013年第6期443-447,478,共6页
传统材料制备的声表面波(SAW)滤波器的中心频率f大多位于较低的频段(f<500 MHz),但是无线通信频段逐渐向着高频化的方向发展,因此在SAW器件领域中引入高声速材料如金刚石以提高中心频率成为一种必然趋势。基于金刚石材料、采用ZnO/I... 传统材料制备的声表面波(SAW)滤波器的中心频率f大多位于较低的频段(f<500 MHz),但是无线通信频段逐渐向着高频化的方向发展,因此在SAW器件领域中引入高声速材料如金刚石以提高中心频率成为一种必然趋势。基于金刚石材料、采用ZnO/IDT/金刚石新型结构,设计了交错叉指结构和镜像阻抗连接结构的叉指换能器(IDT)参数。通过优化的工艺制备流程,获得了金刚石SAW滤波器样品。最后采用RF探针台对样品进行了性能测试和数据分析。测试结果表明制备的SAW滤波器样品的测试结果与理论值比较符合,交错叉指结构滤波器获得了很低的插损,镜像阻抗连接结构滤波器有效地提高了带外抑制度。样品IDT指宽2μm,SAW滤波器中心频率可达0.775 GHz。 展开更多
关键词 射频微机电系统(RFMEMS) 声表面波滤波器(saw) 金刚石 氧化锌薄膜 叉指换能器(IDT)
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