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电子级溴化氢制备及杂质去除技术进展
1
作者 李美江 《现代化工》 北大核心 2025年第2期37-40,46,共5页
介绍了氢气与溴燃烧法、溴化物水解法、溴化钠酸化法等国内外溴化氢制备方法,燃烧法制备溴化氢纯度高,是大规模生产的主要方法。综述了近年来物理吸附法、化学除湿法、膜分离法以及精馏法等杂质去除技术进展,物理吸附法和精馏法工艺简... 介绍了氢气与溴燃烧法、溴化物水解法、溴化钠酸化法等国内外溴化氢制备方法,燃烧法制备溴化氢纯度高,是大规模生产的主要方法。综述了近年来物理吸附法、化学除湿法、膜分离法以及精馏法等杂质去除技术进展,物理吸附法和精馏法工艺简单、除杂效率高,是最主要的杂质去除技术,膜分离法节能方便、最具发展潜力。最后,展望了溴化氢发展趋势。 展开更多
关键词 电子级 溴化氢 制备 除杂
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六氟丁二烯的纯化工艺研究
2
作者 谢武中 傅铸红 +1 位作者 杨俊豪 陈艳珊 《低温与特气》 2025年第1期23-26,共4页
结合吸附与精馏技术,通过碱性吸附剂脱除HF、5A分子筛除水、双塔精馏,成功形成一套高效的六氟丁二烯纯化工艺,实现了对工业级六氟丁二烯中水分、HF、小分子杂质以及碳氟有机大分子杂质的深度去除纯化,能有效提高六氟丁二烯的纯度至99.99... 结合吸附与精馏技术,通过碱性吸附剂脱除HF、5A分子筛除水、双塔精馏,成功形成一套高效的六氟丁二烯纯化工艺,实现了对工业级六氟丁二烯中水分、HF、小分子杂质以及碳氟有机大分子杂质的深度去除纯化,能有效提高六氟丁二烯的纯度至99.99%以上,满足半导体工业的高标准要求。 展开更多
关键词 六氟丁二烯 吸附剂 精馏 纯化工艺
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氟气电子气体研究进展
3
作者 郑晨明 孙福楠 +3 位作者 崔静涛 黄正奇 黄军 徐庆松 《低温与特气》 2025年第1期10-14,45,共6页
简要介绍了氟气的发展历史及性质,综述了氟气的制备方法、纯化方法以及氟气在电子行业中的应用,指出氟气因具有高效的刻蚀速率、无温室效应、良好的选择性,还可合成其他电子清洗气体,在电子行业中极具市场潜力。
关键词 氟气 制备 纯化 电子级
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环保型绝缘气体的研究进展
4
作者 马腾 王泉高 王伟民 《低温与特气》 2025年第1期1-9,共9页
SF_(6)因其良好的灭弧和绝缘性能而广泛地应用于电力工业中,但其存在着温室效应高等环境问题。几十年来国内外学者针对该问题开展了大量的研究工作,寻找环境友好型环保绝缘气体,并取得了许多成果。介绍了目前该领域较为关注的几种环保... SF_(6)因其良好的灭弧和绝缘性能而广泛地应用于电力工业中,但其存在着温室效应高等环境问题。几十年来国内外学者针对该问题开展了大量的研究工作,寻找环境友好型环保绝缘气体,并取得了许多成果。介绍了目前该领域较为关注的几种环保型绝缘气体,分别从单一常规气体、SF_(6)混合气体和新型环保气体及其混合气体3个方面展开讨论。对目前最有潜力取代SF_(6)的环保型气体C_(4)F_(7)N及其混合气体进行了分析研究,并着重对C_(4)F_(7)N目前的合成工艺进行了讨论。 展开更多
关键词 SF_(6) 环保气体 绝缘性能 C_(4)F_(7)N
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加强医用气体从业人员的培训 被引量：1
5
作者 李国平 《医用气体工程》 2024年第3期4-6,共3页
医用气体系统是医院的生命支持系统。有的医用气体有高压、助燃、低温、易爆等物理特性。医用气体从业人员和工程技术人员应该懂得医用气体的特性和掌握操作技能,并能够处理安全隐患。本文阐述了从业人员上岗前进行专业知识培训的必要... 医用气体系统是医院的生命支持系统。有的医用气体有高压、助燃、低温、易爆等物理特性。医用气体从业人员和工程技术人员应该懂得医用气体的特性和掌握操作技能,并能够处理安全隐患。本文阐述了从业人员上岗前进行专业知识培训的必要性。只有懂得医用气体的特性,方能更好地从事这项工作。 展开更多
关键词 医用气体 特性 从业人员 培训
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新一代含氟环保气体绿色制造标准体系的构建 被引量：1
6
作者 李企真 张建君 +4 位作者 罗霞 史婉君 汪腊时 李霞 徐铮 《中国标准化》 2024年第6期83-87,共5页
新一代含氟环保气体是解决臭氧层消耗和全球变暖问题的新兴产品。本文针对当前新一代含氟环保气体绿色制造标准少、不全面、不系统等问题,分析了当前国内新一代含氟环保气体绿色制造标准发展存在的问题及标准化需求,提出了新一代含氟环... 新一代含氟环保气体是解决臭氧层消耗和全球变暖问题的新兴产品。本文针对当前新一代含氟环保气体绿色制造标准少、不全面、不系统等问题,分析了当前国内新一代含氟环保气体绿色制造标准发展存在的问题及标准化需求,提出了新一代含氟环保气体绿色制造标准体系框架,从新一代含氟环保气体绿色制造标准体系的发展现状、建立意义及构建等三个方面进行探讨。为新一代含氟环保气体绿色制造工作指明了方向,为新一代含氟环保气体绿色制造的管理和高质量发展提供了支持。 展开更多
关键词 新一代含氟环保气体 绿色制造 标准体系
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气体标准物质标称值测量的不确定度评定 被引量：1
7
作者 魏王慧 姜阳 +5 位作者 刘旺旺 董翊 于瑞祥 任逸尘 高艳秋 王德发 《上海计量测试》 2024年第1期2-5,24,共5页
介绍了气体标准物质标称值测量的应用领域和测量结果的重要性。通过对气体标准物质样品标称值的测量和标称值的结果评价,着重描述了气体标准物质标称值两种测量方式的不确定度评定方法。明确了气体标准物质标称值的量值溯源路径,有效提... 介绍了气体标准物质标称值测量的应用领域和测量结果的重要性。通过对气体标准物质样品标称值的测量和标称值的结果评价,着重描述了气体标准物质标称值两种测量方式的不确定度评定方法。明确了气体标准物质标称值的量值溯源路径,有效提升了气体标准物质使用和测量过程中不确定度评定的规范性。 展开更多
关键词 气体标准物质 标称值 不确定度评定
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工业型高纯氦气纯化器研制
8
作者 马香莲 荣成旭 +2 位作者 王传喜 黄卫 丁怀况 《低温与特气》 CAS 2024年第4期16-19,共4页
研制了用于工业领域的高纯氦气纯化器,通过低温吸附的气体分离方式提纯氦气,将进气压力2~22 MPa、流量≤300 Nm^(3)/h、纯度>30%的氦气一次性提纯为99.999%的高纯氦气。研发设计主要从工业纯化器的流程模拟设计、工艺设计、仪控设计... 研制了用于工业领域的高纯氦气纯化器,通过低温吸附的气体分离方式提纯氦气,将进气压力2~22 MPa、流量≤300 Nm^(3)/h、纯度>30%的氦气一次性提纯为99.999%的高纯氦气。研发设计主要从工业纯化器的流程模拟设计、工艺设计、仪控设计等方面实现工业系统的连续运行。工业型纯化器中的吸附器在运行中采用低温纯化、回温活化等交替型工作方式,需经过变温的交变工况,故在容器设计中增加了疲劳分析设计,从理论分析上保障容器安全性。工业型高纯氦气纯化器的设计采用两组及以上、单组多塔切换、全自动控制设计,完善的报警联锁功能,保障设备安全连续运行,实现无人值守。 展开更多
关键词 气体分离纯化 高纯氦 疲劳分析 全自动运行 安全
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电子级氯化氢纯化研究进展
9
作者 王刚 任少科 +4 位作者 李子宽 祝全仁 赵鹏德 方建朝 刘禹含 《低温与特气》 CAS 2024年第4期1-5,共5页
电子级氯化氢广泛用于半导体行业中的单晶硅气相抛光和外延基座腐蚀工序。随着芯片制程的不断减小,对氯化氢纯度的要求越来越高,给电子级氯化氢的纯化工艺提出了新的挑战。综述了现阶段电子级氯化氢的纯化技术:包括冷凝、吸收、精馏、... 电子级氯化氢广泛用于半导体行业中的单晶硅气相抛光和外延基座腐蚀工序。随着芯片制程的不断减小,对氯化氢纯度的要求越来越高,给电子级氯化氢的纯化工艺提出了新的挑战。综述了现阶段电子级氯化氢的纯化技术:包括冷凝、吸收、精馏、吸附、化学转化、膜分离和精密过滤,联用多种纯化技术是制备电子级氯化氢产品的首要选择。 展开更多
关键词 电子气体 氯化氢 纯化
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一甲基三氯硅烷的应用及纯化
10
作者 景显东 刘英杰 +3 位作者 何红振 张宏雷 姜涛 蔡晋 《低温与特气》 CAS 2024年第5期15-18,34,共5页
作为有机硅单体生产副产物的一甲基三氯硅烷是一种广泛使用的工业化学品,主要以其为原料来生产硅烷交联剂、甲基硅树脂、甲基苯基硅树脂和防水剂等化工类产品。主要介绍了一甲基三氯硅烷的物化性质、主要应用领域、纯化方法,提出了一甲... 作为有机硅单体生产副产物的一甲基三氯硅烷是一种广泛使用的工业化学品,主要以其为原料来生产硅烷交联剂、甲基硅树脂、甲基苯基硅树脂和防水剂等化工类产品。主要介绍了一甲基三氯硅烷的物化性质、主要应用领域、纯化方法,提出了一甲基三氯硅烷的相关研究建议,可供相关科研人员参考。 展开更多
关键词 一甲基三氯硅烷 特性 应用 纯化
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医用氧气系统的工程运行管理对策研究 被引量：1
11
作者 黄少华 赵俊斌 王明 《中国设备工程》 2024年第5期45-47,共3页
医用氧气在医用气体中占据着至关重要的地位,更是医院生命支持系统中的核心气体。为了提升医用氧气系统的可靠性与安全性,需做好对医用氧气系统的工程运行管理,才能保证医用氧气系统始终处于稳定运行的状态下。由于医用氧气系统涉及的... 医用氧气在医用气体中占据着至关重要的地位,更是医院生命支持系统中的核心气体。为了提升医用氧气系统的可靠性与安全性,需做好对医用氧气系统的工程运行管理,才能保证医用氧气系统始终处于稳定运行的状态下。由于医用氧气系统涉及的内容较多,不同构造在工程设计上存在一定的差异性,这也使得其在管理对策上并不相同。本文即是针对医用氧气系统不同构造的工程运行管理对策进行分析,旨在为今后开展相关研究提供参考。 展开更多
关键词 医用氧气系统 工程设计 运行管理 对策
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电子特气六氟丁二烯合成工艺进展
12
作者 郭晓俊 陈建平 张锐 《低温与特气》 CAS 2024年第5期11-14,共4页
六氟丁二烯是一种新型的含氟电子气体,具有优异的蚀刻选择性和环保性能,应用前景广阔。主要介绍了现阶段六氟丁二烯的合成工艺路线及改进方向。
关键词 六氟丁二烯 电子蚀刻 合成工艺
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化学发泡法磷石膏基相变材料制备工艺及性能研究 被引量：1
13
作者 郭校 张占彦 +4 位作者 汤建伟 刘咏 化全县 王保明 刘丽 《应用化工》 CAS CSCD 北大核心 2024年第1期15-20,共6页
以磷石膏为原料,柠檬酸和碳酸钙为发泡剂,硬脂酸钙为稳泡剂,并以粉煤灰为助剂,采用化学发泡法制备多孔磷石膏基体材料,然后以石蜡为相变材料,通过浸渍法制备磷石膏基相变储能材料。考察了碳酸钙、柠檬酸、硬脂酸钙、粉煤灰用量对改性多... 以磷石膏为原料,柠檬酸和碳酸钙为发泡剂,硬脂酸钙为稳泡剂,并以粉煤灰为助剂,采用化学发泡法制备多孔磷石膏基体材料,然后以石蜡为相变材料,通过浸渍法制备磷石膏基相变储能材料。考察了碳酸钙、柠檬酸、硬脂酸钙、粉煤灰用量对改性多孔磷石膏基体材料孔隙率和力学性能的影响,借助XRD、SEM、FTIR、DSC、TG表征相变储能材料的结构和性能。结果表明,随着各添加剂用量的增加,磷石膏基体材料的孔隙率逐渐上升,抗压强度逐渐下降。响应面优化工艺实验结果显示,当碳酸钙质量百分含量6.4%、柠檬酸3.2%、硬脂酸钙3.3%以及粉煤灰含量为18%时,磷石膏基体材料孔隙率最大可达到64.53%;FTIR结果表明,基体材料未产生新的衍射峰,改性磷石膏与石蜡之间没有发生化学反应,二者仅是物理混合;DSC结果表明,磷石膏复合相变材料相变温度为58.88℃,相变焓为92.95 J/g。将磷石膏和石蜡复合制备具有储热能力的磷石膏基相变材料可用于建筑节能材料,对磷石膏资源化利用提供了一条新的技术路径。 展开更多
关键词 磷石膏 相变材料 孔隙率 抗压强度
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医用气体系统关键环节建设的安全性分析 被引量：1
14
作者 许欢欢 《医用气体工程》 2024年第1期15-18,共4页
医用气体用于生命支持,一套安全、合规的医用气体系统是保障医院有序运行和医疗安全的必要条件,系统关键环节的设计、建造均应遵循安全性原则。结合国内相关规范要求,以宿州市立医院医用气体工程为例,分析如何从安全供气的角度对医用气... 医用气体用于生命支持,一套安全、合规的医用气体系统是保障医院有序运行和医疗安全的必要条件,系统关键环节的设计、建造均应遵循安全性原则。结合国内相关规范要求,以宿州市立医院医用气体工程为例,分析如何从安全供气的角度对医用气体系统中的关键环节进行建设。 展开更多
关键词 医用气体 生命支持系统 选型 安全
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电子级氯气中痕量金属杂质的捕集与测定
15
作者 夏致远 侯建鑫 +7 位作者 杨着 曾靖淞 刘悦 杨成 冯晨 曾远 万富强 贺兆波 《应用化工》 CSCD 北大核心 2024年第12期2919-2923,2929,共6页
电子级氯气中痕量金属杂质检测过程存在氯气易挥发,毒性大,不易捕集等难点。研究提出了一种新型的金属杂质的捕集方法,通过构建参比、多级气体吸收、气液分离、金属离子反渗透和废气吸收等系统,利用高纯氮进行置换与吹扫,有效解决了金... 电子级氯气中痕量金属杂质检测过程存在氯气易挥发,毒性大,不易捕集等难点。研究提出了一种新型的金属杂质的捕集方法,通过构建参比、多级气体吸收、气液分离、金属离子反渗透和废气吸收等系统,利用高纯氮进行置换与吹扫,有效解决了金属杂质的捕集难点。采用电感耦合等离子质谱法(ICP-MS)对捕集后的金属离子进行检测,实现了21种痕量金属杂质的准确测定。结果表明,方法检出限为0.5~8.13 ng/L,各元素的相对标准偏差RSD为3.0%~6.6%,加标回收率为81%~106%。该方法具有捕集效率高、金属杂质干扰小、准确度及精密度高和重现性好的优点。其他腐蚀性电子级气体中痕量金属杂质的捕集与测定均可参照使用。 展开更多
关键词 电子级氯气 金属离子 高效捕集 ICP-MS
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全国特种气体第二十七次年会征文通知
16
《低温与特气》 CAS 2024年第6期F0002-F0002,共1页
昊华气体有限公司、中昊光明化工研究设计院有限公司、全国特种气体信息总站将组织召开全国特种气体第二十七次年会,届时我们将邀请行业知名专家学者、企业代表出席本次盛会,分享新的技术成果以及企业的成功经验,共同探讨行业发展中的... 昊华气体有限公司、中昊光明化工研究设计院有限公司、全国特种气体信息总站将组织召开全国特种气体第二十七次年会,届时我们将邀请行业知名专家学者、企业代表出席本次盛会,分享新的技术成果以及企业的成功经验,共同探讨行业发展中的热点、难点问题,分析行业发展现状及未来前景,共谋行业发展大计。为了更好地进行技术交流、信息共享,本次大会拟编辑出版会议论文集,现在全国范围内征集会议论文。 展开更多
关键词 未来前景 行业发展现状 特种气体 征集会议论文 行业知名专家 信息共享 会议论文集 技术交流
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电子级六氟丙烷的制备及纯化研究进展
17
作者 黄正奇 郑晨明 +4 位作者 黄军 徐庆松 李春胜 汪晗 白占旗 《低温与特气》 CAS 2024年第1期5-11,共7页
近年来电子级六氟丙烷以其优越的安全性、高效的刻蚀速率、良好的选择性,成为了新一代等离子体刻蚀气体。对六氟丙烷HFC-236fa及其同分异构体HFC-236ea进行了概述,并介绍其制备方法、工业级及电子级纯化方法的研究进展。
关键词 六氟丙烷 制备 分离提纯 电子级 同分异构体 HFC-236fa HFC-236ea
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电解法制备NF_(3)的研究现状
18
作者 张振 李梅 +3 位作者 李贤武 酒坤 孙晓 李金勇 《低温与特气》 CAS 2024年第2期1-6,17,共7页
电解法制备NF_(3)的工艺可一步完成,有着过程简单且纯度高的优点。从阳极反应机理、阳极反应动力学和阳极极化三个方面综述了电解法制备NF_(3)的基础理论研究现状。针对当前阳极改性、电解液调控以及电解槽改造三个常见的优化方向进行... 电解法制备NF_(3)的工艺可一步完成,有着过程简单且纯度高的优点。从阳极反应机理、阳极反应动力学和阳极极化三个方面综述了电解法制备NF_(3)的基础理论研究现状。针对当前阳极改性、电解液调控以及电解槽改造三个常见的优化方向进行了对比和总结。最后分析并探讨了今后的研究和发展方向。 展开更多
关键词 电解法 三氟化氮 阳极反应 电解液 电解槽
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磷烷混合气的回收工艺
19
作者 张观海 《低温与特气》 CAS 2024年第6期17-21,共5页
介绍了磷烷混合气包装物在达到定检周期时,通过不同的工艺回收磷烷混合气包装物内的磷烷或是磷烷混合气,分析了不同的回收工艺,对生产磷烷混合气的厂家具有一定的参考价值和指导意义。
关键词 磷烷混合气 回收 检验 饱和蒸气压
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电子级丙烯精馏Aspen Plus模拟
20
作者 杨振建 王维佳 +4 位作者 郭永洁 孟庆森 程炎峰 张杰 王新鹏 《低温与特气》 CAS 2024年第3期16-20,共5页
采用Aspen Plus对丙烯精馏过程进行模拟。选用RK-SOAVE状态方程,使用灵敏度分析,探讨精馏操作压力、理论板数、回流比等关键参数对丙烯精馏的影响,优化精馏过程中参数。
关键词 Aspen Plus模拟 丙烯 精馏 灵敏度分析
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