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三自由度并联压电粘滑运动平台
1
作者 孟令伟 杨依领 +2 位作者 吴高华 崔玉国 魏燕定 《光学精密工程》 北大核心 2025年第3期427-437,共11页
针对细胞穿刺、显微操作以及微装配任务中对宏行程、高精度、大负载和多自由度的性能要求,利用压电柔顺机构设计了三自由度并联粘滑驱动平台。将压电纤维片粘贴至拱形驱动机构,构成驱动单元并结合粘滑致动,实现并联平台的大范围高精度... 针对细胞穿刺、显微操作以及微装配任务中对宏行程、高精度、大负载和多自由度的性能要求,利用压电柔顺机构设计了三自由度并联粘滑驱动平台。将压电纤维片粘贴至拱形驱动机构,构成驱动单元并结合粘滑致动,实现并联平台的大范围高精度运动。柱形支撑增强了平台承载能力,万向轴承减小了移动平台的非驱动摩擦,提高整体运动性能。通过有限元法建立拱形柔顺驱动单元的静力学模型,并对输出位移和固有频率进行仿真分析。最后,搭建实验测试系统验证平台性能。实验表明,在步进模式下,压电粘滑平台沿X,Y向平动的最大单步位移可达294.7μm和304.5μm,绕Z轴转动的最大单步转角为9.96 mrad,最大垂直负载为110 N;在扫描模式下,平动和转动的位移分辨率分别为6 nm和0.28μrad。因此,所设计的并联压电粘滑平台满足精密微操作任务所需的性能要求。 展开更多
关键词 压电驱动 柔顺机构 粘滑运动 三自由度
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基于多腔室颗粒阻尼器的水泵管道减振研究
2
作者 马思楠 何立东 +1 位作者 王宇航 秦庆旺 《噪声与振动控制》 北大核心 2025年第2期57-62,共6页
为解决离心水泵管道的振动问题,采用有限元法对管道进行流体动力学分析,确定阻尼器安装位置。基于离散元法,建立颗粒阻尼器仿真模型,研究颗粒在不同粒径和填充率下阻尼器能耗的变化规律,确定最佳颗粒参数。根据颗粒阻尼耗能机理,对阻尼... 为解决离心水泵管道的振动问题,采用有限元法对管道进行流体动力学分析,确定阻尼器安装位置。基于离散元法,建立颗粒阻尼器仿真模型,研究颗粒在不同粒径和填充率下阻尼器能耗的变化规律,确定最佳颗粒参数。根据颗粒阻尼耗能机理,对阻尼器腔室数量和形状进行优化,以改善颗粒运动状态。仿真结果表明:当阻尼器内部填充95%的5 mm颗粒时,耗能最佳。大密度波纹五腔颗粒阻尼器可以显著提高颗粒运动速度,增强颗粒间以及颗粒与阻尼器壁面间的摩擦和碰撞程度。与传统颗粒阻尼器相比,耗能效果更加显著。搭建水泵管道减振试验台,通过实验验证模拟结果的准确性,可为颗粒阻尼器在实际工程中的应用提供参考。 展开更多
关键词 振动与波 颗粒阻尼器 管道振动 离散元分析 优化设计
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振动能量采集型磁流变阻尼器优化设计及性能分析
3
作者 席兴盛 胡国良 +1 位作者 喻理梵 李刚 《噪声与振动控制》 北大核心 2025年第1期262-268,共7页
自供电状态下振动能量采集型磁流变阻尼器阻尼性能较差,需要对其进行优化设计与性能分析。通过对峰值感应电压、功率密度以及自供电电流的分析计算得出比较系数,以此为指标选取发电装置各关键尺寸;然后在自供电状态下,采用多目标优化算... 自供电状态下振动能量采集型磁流变阻尼器阻尼性能较差,需要对其进行优化设计与性能分析。通过对峰值感应电压、功率密度以及自供电电流的分析计算得出比较系数,以此为指标选取发电装置各关键尺寸;然后在自供电状态下,采用多目标优化算法对减振装置活塞头尺寸及阻尼间隙宽度进行寻优;最后对优化前后的装置进行仿真分析与对比。结果表明,优化后装置的发电性能及其在自供电状态下的阻尼性能均有明显提升;在频率为4 Hz、幅值为10 mm的振动激励下,优化后峰值感应电压提高30%,输出阻尼力提高8.7%,自供电电流强度提高20%,对应的阻尼力提高17%。 展开更多
关键词 振动与波 自供电状态 能量采集 磁流变阻尼器 优化设计 仿真分析
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压电直线精密驱动器研究 被引量：21
4
作者 刘建芳 杨志刚 +1 位作者 范尊强 程光明 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第1期65-72,共8页
提出一种新型的压电直线精密步进驱动器。该驱动器采用仿生运动的原理,以定子主动箝位的方式和双侧薄壁铰链微变形结构,解决了以往压电精密驱动器箝位不牢固、步进频率较低、行程小、分辨率低、速度低、驱动力不稳定等问题。研制的精密... 提出一种新型的压电直线精密步进驱动器。该驱动器采用仿生运动的原理,以定子主动箝位的方式和双侧薄壁铰链微变形结构,解决了以往压电精密驱动器箝位不牢固、步进频率较低、行程小、分辨率低、速度低、驱动力不稳定等问题。研制的精密直线驱动器能够实现高频率 100 Hz,高速度30 mm/min,大行程>10 mm,高分辨率0.05μm,大驱动力100 N等特点,大幅度提高了压电型步进驱动器的驱动性能。 展开更多
关键词 精密驱动 压电 定子 驱动器 行程 驱动性能 高频率 铰链 直线驱动 薄壁
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新型惯性式压电驱动机构的研究 被引量：23
5
作者 曾平 温建明 +2 位作者 程光明 吴博达 杨志刚 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第4期623-627,共5页
基于控制移动机构和支撑面之间摩擦力的方法,提出了新型惯性冲击式压电陶瓷驱动机构的研究方案。分析了驱动机构的工作原理,驱动电压与驱动力、位移之间的关系,设计、制做了可实现直线往复运动的压电微型驱动器结构,并作了相关的性能测... 基于控制移动机构和支撑面之间摩擦力的方法,提出了新型惯性冲击式压电陶瓷驱动机构的研究方案。分析了驱动机构的工作原理,驱动电压与驱动力、位移之间的关系,设计、制做了可实现直线往复运动的压电微型驱动器结构,并作了相关的性能测试。实验结果表明,采用简单的对称信号波形能驱动机构运动。直线驱动器最高速度可达1 mm/s,最大步长分辨率为20 nm,最大承载能力为1 000 g。 展开更多
关键词 PZT 压电驱动器 微驱动器 惯性 摩擦
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空间结构用微振动控制阻尼器动态特性测试
6
作者 朱琛 刘兴天 +3 位作者 周晓东 赵枝凯 赵发刚 周徐斌 《振动．测试与诊断》 EI CSCD 北大核心 2024年第3期508-513,619,共7页
空间桁架是有效载荷的常用支撑结构,由于有效载荷的振动敏感性,为保证有效载荷的在轨性能,保持桁架结构的稳定性,需要对桁架结构的低频振动进行抑制。液体阻尼器具有良好的阻尼性能,常用于卫星结构的振动抑制。对液体阻尼器的动态特性... 空间桁架是有效载荷的常用支撑结构,由于有效载荷的振动敏感性,为保证有效载荷的在轨性能,保持桁架结构的稳定性,需要对桁架结构的低频振动进行抑制。液体阻尼器具有良好的阻尼性能,常用于卫星结构的振动抑制。对液体阻尼器的动态特性进行了理论分析和试验研究,使用激振器进行激励加载,获取了输入加速度和输出动态力的关系,求解了阻尼器的动刚度及阻尼系数。测试结果表明,该阻尼器可实现较大范围的阻尼系数,阻尼系数较未充液增加10倍以上,具有低频大阻尼、高频小阻尼的特性,可满足空间桁架结构减振需求,对空间结构的振动控制具有较强的工程意义。 展开更多
关键词 液体阻尼器 动刚度 阻尼系数 激振器 滞回曲线
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新型压电步进型精密直线驱动器 被引量：12
7
作者 刘国嵩 赵宏伟 +2 位作者 曾平 程光明 杨志刚 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第3期291-297,共7页
以压电叠堆为驱动元件,设计了新型的步进型精密直线驱动器。驱动器由于设计了独特的双侧对称箝位结构,可以利用精调斜块准确调整箝位面与动子的配合间隙,同时采用整体加工的柔性结构,保证了工作的稳定性和准确性。应用有限元分析方法对... 以压电叠堆为驱动元件,设计了新型的步进型精密直线驱动器。驱动器由于设计了独特的双侧对称箝位结构,可以利用精调斜块准确调整箝位面与动子的配合间隙,同时采用整体加工的柔性结构,保证了工作的稳定性和准确性。应用有限元分析方法对步进型精密直线驱动器进行了力学分析,并进行了大量的试验研究。试验测试结果表明:驱动器的分辨率达到40nm、行程18mm、驱动速度达到6mm/min,可牵引150g的载荷。 展开更多
关键词 直线驱动器 压电叠堆 柔性铰链 精密驱动 有限元分析
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压电型步进精密旋转驱动器 被引量：13
8
作者 赵宏伟 刘建芳 +3 位作者 华顺明 刘国嵩 程光明 吴博达 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第3期305-310,共6页
提出了一种将压电叠堆驱动元件应用到精密旋转驱动器上的研究方案。在对驱动器机械结构及旋转运动工作原理进行分析的基础上,建立了以压电叠堆为驱动元件的旋转驱动数学模型,采用有限元分析软件对机械结构进行了分析,并从旋转运动分辨... 提出了一种将压电叠堆驱动元件应用到精密旋转驱动器上的研究方案。在对驱动器机械结构及旋转运动工作原理进行分析的基础上,建立了以压电叠堆为驱动元件的旋转驱动数学模型,采用有限元分析软件对机械结构进行了分析,并从旋转运动分辨率、运动稳定性等方面对所设计加工的样机进行了实验研究。实验结果表明设计的结构具有分辨率高、行程大和运行稳定等优点,克服了目前精密驱动机构存在的位移最小分辨率和大行程共存性不好的问题。 展开更多
关键词 旋转驱动 压电叠堆 有限元分析 柔性铰链
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扫描隧道显微镜微位移工作台的神经网络PID控制方法研究 被引量：10
9
作者 魏强 张玉林 +2 位作者 于欣蕾 郝慧娟 卢文娟 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第3期422-427,共6页
提出了一种基于神经网络理论的微位移工作台控制方案。该工作台以压电陶瓷作为微位移驱动元件,对伺服电机大位移进行位移补偿。分析了压电陶瓷微位移驱动器的原理,建立了工作台的数学模型。神经网络PID控制器对工作台进行闭环控制,利用B... 提出了一种基于神经网络理论的微位移工作台控制方案。该工作台以压电陶瓷作为微位移驱动元件,对伺服电机大位移进行位移补偿。分析了压电陶瓷微位移驱动器的原理,建立了工作台的数学模型。神经网络PID控制器对工作台进行闭环控制,利用BP网络的自学习和自适应能力,实时调整网络加权值,改变PID控制器的控制系数,减小工作台的位移误差。采用专用的压电陶瓷驱动电源对工作台的位移进行了实验,相对于常规PID控制器,微位移为11.41μm时的响应时间从1.5 s缩短到1 s,稳态位移误差从3.13%减小到1.05%,工作台的稳定性和定位精度得以提高,改善了扫描隧道显微镜的工作性能。 展开更多
关键词 扫描隧道显微镜 精密工作台 神经网络 PID控制 自适应控制
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一种纳米级二维微定位工作台的设计与分析 被引量：24
10
作者 孙立宁 马立 +1 位作者 荣伟彬 高燕 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第3期406-411,共6页
研究开发了一种采用柔性铰链导向的二维光学调整微定位工作台,建立了工作台的简化模型,并利用结构力学理论推导出工作台沿x、y方向刚度及前二阶固有频率解析式。进行了微定位工作台固有频率及沿x、y方向刚度的试验测试,并结合解析方法... 研究开发了一种采用柔性铰链导向的二维光学调整微定位工作台,建立了工作台的简化模型,并利用结构力学理论推导出工作台沿x、y方向刚度及前二阶固有频率解析式。进行了微定位工作台固有频率及沿x、y方向刚度的试验测试,并结合解析方法和有限元方法对微定位工作台设计刚度及动力特性进行分析验证。有限元分析表明:当工作台的直角平板柔性铰链长度较小而铰链宽度较大时,其刚度、频率及驱动力较高,铰链根部应力集中也较严重。通过改变柔性铰链的特征参数,可达到控制和优化工作台固有频率、输出位移、应力分布及驱动力响应的目的,并提出了一种优选微定位工作台柔性铰链参数的简易方法。 展开更多
关键词 柔性铰链 纳米定位工作台 有限元分析
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高精度压电步进直线驱动器 被引量：7
11
作者 赵宏伟 吴博达 +3 位作者 程光明 刘国嵩 刘建芳 杨志刚 《吉林大学学报（工学版）》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第3期350-354,共5页
提出一种以压电叠堆为驱动动力源的新型精密直线驱动器方案。定子采用柔性铰链双侧对钳方式交替对动子起到钳位作用。对驱动器工作原理进行了分析研究,建立了机械系统的数学模型。采用MSC Patran/Nastran软件对机械结构进行了仿真分析,... 提出一种以压电叠堆为驱动动力源的新型精密直线驱动器方案。定子采用柔性铰链双侧对钳方式交替对动子起到钳位作用。对驱动器工作原理进行了分析研究,建立了机械系统的数学模型。采用MSC Patran/Nastran软件对机械结构进行了仿真分析,并对所开发的驱动器样机进行了实验测试。测试结果与理论分析结果基本相符,样机的运动速度可达1.52mm/m in、单步最小位移(运动分辨率)为3.35 nm。驱动器性能稳定可靠,可望在精密工程等相关领域得到应用。 展开更多
关键词 机械工程 直线驱动 压电叠堆 有限元仿真 柔性铰链
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新型压电精密步进旋转驱动器研究 被引量：8
12
作者 刘建芳 杨树臣 +1 位作者 杨志刚 程光明 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第4期594-601,共8页
提出了一种新型的压电精密步进旋转驱动器。该驱动器根据仿生运动原理,以压电陶瓷叠堆为动力源,采用定子内侧箝位的方式和薄壁柔性铰链微变形结构,提高了箝位的稳定性和步进旋转的稳定性。通过静力学有限元分析和动力学分析,较深入地研... 提出了一种新型的压电精密步进旋转驱动器。该驱动器根据仿生运动原理,以压电陶瓷叠堆为动力源,采用定子内侧箝位的方式和薄壁柔性铰链微变形结构,提高了箝位的稳定性和步进旋转的稳定性。通过静力学有限元分析和动力学分析,较深入地研究了该驱动器的运动特性。研究结果表明,该驱动器具有高频率(40 Hz),较高速度(325μrad/s),大行程(>360°),高分辨率(1μrad/step),较大驱动力(30 N.cm)等特点,提高了压电精密步进旋转驱动器的驱动性能,在精密运动、微操作、光学工程、精密定位等精密工程领域有广阔的应用前景。 展开更多
关键词 步进旋转驱动器 压电陶瓷叠堆 定子内侧箝位 薄壁柔性铰链 有限元分析 分辨率
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新型压电步进式二维精密驱动器 被引量：7
13
作者 刘国嵩 杨志刚 +1 位作者 曾平 程光明 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第4期602-606,共5页
设计了新型压电步进式精密二维驱动器。以压电叠堆为驱动元件,在单体柔性结构上实现直线和旋转驱动二维精密驱动。同时利用独特的双侧对称箝位结构,保证工作的稳定性和准确性。进行了二维驱动器的有限元分析,通过大量试验研究,证明二维... 设计了新型压电步进式精密二维驱动器。以压电叠堆为驱动元件,在单体柔性结构上实现直线和旋转驱动二维精密驱动。同时利用独特的双侧对称箝位结构,保证工作的稳定性和准确性。进行了二维驱动器的有限元分析,通过大量试验研究,证明二维驱动器达到基本设计功能。试验结果表明:二维驱动器的旋转驱动分辨率达到0.45μrad,行程360°,速度达到0.04 rad.s-1时,扭矩可达0.2 N.m;直线驱动分辨率40 nm,行程20 mm,速度19.2 mm.min-1时,驱动力可达近10 N,可实现2自由度精密驱动。 展开更多
关键词 二维驱动器 压电叠堆 柔性铰链 精密驱动 有限元分析
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压电双晶片型惯性冲击式旋转精密驱动器研究 被引量：6
14
作者 张宏壮 曾平 +2 位作者 华顺明 程光明 杨志刚 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第3期298-304,共7页
研制了一种以自由端带有集中质量的悬臂式压电双晶片为驱动单元的新型惯性冲击式旋转精密驱动器。对自由端带有集中质量的悬臂式压电双晶片的动态特性进行了有限元法和实验分析,提出了压电双晶片型惯性冲击式精密驱动器特定的定频调压... 研制了一种以自由端带有集中质量的悬臂式压电双晶片为驱动单元的新型惯性冲击式旋转精密驱动器。对自由端带有集中质量的悬臂式压电双晶片的动态特性进行了有限元法和实验分析,提出了压电双晶片型惯性冲击式精密驱动器特定的定频调压驱动方法。对压电双晶片型惯性冲击式旋转精密驱动器进行了性能测试,驱动器旋转行程为180°、旋转步长分辨力为1μrad、最大转速为0.2rad/min、最大扭矩为0.02Nm。该驱动器结构简单,特别是成本为传统惯性冲击式驱动器的1/100左右。 展开更多
关键词 惯性冲击 压电双晶片 悬臂 有限元分析
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压电驱动式双喷嘴挡板电液伺服阀 被引量：7
15
作者 程光明 李鹏 +2 位作者 杨志刚 鄂世举 刘建芳 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第3期276-282,共7页
设计了一种利用压电双晶片驱动器代替传统双喷嘴电液伺服阀力矩马达驱动部分的新型电液伺服阀,以期改善现有该型阀的动、静态特性。通过试验得出,设计的压电双晶片驱动器输出位移为82.5μm,全量程位移波动小于0.7μm,谐振频率1.2kHz,完... 设计了一种利用压电双晶片驱动器代替传统双喷嘴电液伺服阀力矩马达驱动部分的新型电液伺服阀,以期改善现有该型阀的动、静态特性。通过试验得出,设计的压电双晶片驱动器输出位移为82.5μm,全量程位移波动小于0.7μm,谐振频率1.2kHz,完全满足双喷嘴电液伺服阀对驱动器的要求。试验表明:基于此驱动器的电液伺服阀在频率低于100Hz的范围内具有良好的线性度,克服了传统双喷嘴电液伺服阀在频宽和抗电磁干扰能力等方面的不足。 展开更多
关键词 电液伺服阀 压电双晶片 反馈控制
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具有位移感知功能的超磁致伸缩微位移执行器的研究 被引量：5
16
作者 贾振元 杨兴 +2 位作者 王福吉 郭东明 郭丽莎 《应用科学学报》 CAS CSCD 2002年第4期354-359,共6页
采用新型的功能材料——超磁致伸缩材料作为微位移器件 ,研制了一种具有位移感知功能的超磁致伸缩微位移执行器 ,并建立了其微位移闭环控制系统 .提出了一种高分辨率、无摩擦、传感 /位移传递一体化的圆形膜片式柔性结构 ,作为超磁致伸... 采用新型的功能材料——超磁致伸缩材料作为微位移器件 ,研制了一种具有位移感知功能的超磁致伸缩微位移执行器 ,并建立了其微位移闭环控制系统 .提出了一种高分辨率、无摩擦、传感 /位移传递一体化的圆形膜片式柔性结构 ,作为超磁致伸缩微位移执行器的微位移传递和感知机构 .应用薄板弯曲理论得出了相应的挠度、应变变化率的解析表达式及分布曲线 ,确定了微位移感知传感器的分布形式 ,实现了执行器的微位移感知功能 .同时 ,对研制的具有位移感知功能的超磁致伸缩微位移执行器及其微位移闭环控制系统进行实验研究 ,结果表明 :执行器的微位移感知灵敏度和系统的微位移闭环控制精度较高 . 展开更多
关键词 位移感知功能 超磁致伸缩 柔性结构 微位移闭环控制系统 精密驱动
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利用补偿提高精密定位平台的定位精度 被引量：13
17
作者 程维明 孙麟治 章海涛 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第5期884-888,共5页
运用反相补偿法原理,从误差曲线中分离出系统误差并与其反相曲线叠加以消除系统误差的影响。给出了对精密定位平台宏动工作台和微动工作台进行补偿的具体实例,补偿后定位误差分别从17.4μm改善到1.3μm和从137.6nm改善到22.2 nm。理论... 运用反相补偿法原理,从误差曲线中分离出系统误差并与其反相曲线叠加以消除系统误差的影响。给出了对精密定位平台宏动工作台和微动工作台进行补偿的具体实例,补偿后定位误差分别从17.4μm改善到1.3μm和从137.6nm改善到22.2 nm。理论分析和实验结果表明,反相补偿法对于降低系统误差十分有效,但对于随机误差效果不佳。 展开更多
关键词 精密定位工作台 系统误差 反相补偿法
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双向变步长大位移压电作动器 被引量：7
18
作者 张治君 徐明龙 +1 位作者 冯勃 张希农 《应用力学学报》 CAS CSCD 北大核心 2010年第1期108-112,共5页
提出一种基于蠕动式运动原理的新型双向变步长的大位移压电作动器,建立了该作动器的动力学模型。在30Hz作动频率下,采用MATLAB-SIMULINK软件进行了仿真。设计了含有高电压驱动器的作动器实验系统,作动器样机整体机构由嵌位部分、作动部... 提出一种基于蠕动式运动原理的新型双向变步长的大位移压电作动器,建立了该作动器的动力学模型。在30Hz作动频率下,采用MATLAB-SIMULINK软件进行了仿真。设计了含有高电压驱动器的作动器实验系统,作动器样机整体机构由嵌位部分、作动部分和轨道间距微调部分组成。研究结果表明,该作动器实际可提供±8mm的双向往返运动,实际作动曲线与计算机仿真结果在0.1μm级精度条件下吻合良好。 展开更多
关键词 蠕动 变步长 大位移 压电作动器
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压电薄膜型精密运动平台研究 被引量：3
19
作者 华顺明 张宏壮 +2 位作者 程光明 范尊强 刘建芳 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第4期635-640,共6页
提出了一种利用双压电晶片驱动小型平台的研究方案，该平台可实现水平面内的两自由度精密运动。在对粘滑型运动机构的工作原理进行分析的基础上，建立了压电式粘滑机构的动力学模型并进行了仿真分析，设计研制了试验样机，并从运动性能... 提出了一种利用双压电晶片驱动小型平台的研究方案，该平台可实现水平面内的两自由度精密运动。在对粘滑型运动机构的工作原理进行分析的基础上，建立了压电式粘滑机构的动力学模型并进行了仿真分析，设计研制了试验样机，并从运动性能和承载能力两个方面对样机进行了实验研究。实验结果表明，设计的压电薄膜型精密运动平台结构简单、体积小、质量轻、步距稳定且行程大．电压低于30V驱动时，步距误差不超过0．5μm，承载能力约为自身质量的7～8倍。 展开更多
关键词 压电双晶片 精密运动平台 粘滑效应 微操作 微小机器人
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新型一维位移工作台的设计及特性分析 被引量：14
20
作者 戴蓉 谢铁邦 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第3期428-433,共6页
研究开发了一种能实现大量程位移和纳米级定位精度的一维位移工作台。工作台采用粗、精两级定位机构，以精密衍射光栅传感器组成工作台位移的闭环检测系统。工作台可以实现0～6mm的位移及1nm的定位分辨力。文中建立了由压电陶瓷驱动和... 研究开发了一种能实现大量程位移和纳米级定位精度的一维位移工作台。工作台采用粗、精两级定位机构，以精密衍射光栅传感器组成工作台位移的闭环检测系统。工作台可以实现0～6mm的位移及1nm的定位分辨力。文中建立了由压电陶瓷驱动和柔性铰链导向的精定位机构的机电耦合模型，进行了精定位机构的模态分析和静力学分析，并采用ANSYS软件进行了有限元仿真运算。最后给出了工作台在表面三维微观形貌测量仪中的应用结果。 展开更多
关键词 微定位工作台 柔性铰链 PZT驱动器 有限元分析 模态分析
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