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滚抛磨块材质对SLM成型316L不锈钢表面滚磨光整效果影响的实验研究
1
作者 王鹏朝 李文辉 +3 位作者 李秀红 杨胜强 刘静怡 温学杰 《中国科技论文》 CAS 2024年第8期928-936,共9页
为了深入研究不同材质滚抛磨块对选择性激光熔化(selective laser melting, SLM)成型316L不锈钢表面滚磨光整效果的影响,选用氧化铝、白陶瓷和棕刚玉3种滚抛磨块进行滚磨光整加工,研究不同材质滚抛磨块对SLM成型316L不锈钢在水平面和垂... 为了深入研究不同材质滚抛磨块对选择性激光熔化(selective laser melting, SLM)成型316L不锈钢表面滚磨光整效果的影响,选用氧化铝、白陶瓷和棕刚玉3种滚抛磨块进行滚磨光整加工,研究不同材质滚抛磨块对SLM成型316L不锈钢在水平面和垂直面上的表面粗糙度、材料去除率、显微硬度及物相组成的影响。结果表明:棕刚玉磨块的加工效率最高,能显著降低水平面及垂直面的表面粗糙度,其中水平面的表面粗糙度下降率达到68.69%,垂直面的表面粗糙度下降率达到87.53%,并能提高材料去除率、增强显微硬度与残余压应力;相比之下,白陶瓷磨块在保持表面完整性的同时,可有效去除SLM成型缺陷,满足特殊表面需求;氧化铝磨块加工效果位于二者之间。 展开更多
关键词 SLM成型缺陷 316L不锈钢 滚磨光整 滚抛磨块 表面完整性
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多晶金刚石固结磨料研磨垫精研石英玻璃的性能探索 被引量：15
2
作者 朱永伟 沈琦 +3 位作者 王子琨 凌顺志 李军 左敦稳 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2016年第10期18-23,共6页
通过粘结剂将单晶金刚石制成粒径更大的多晶金刚石。采用SEM观察了多晶金刚石的微观形貌,分别制备了单晶和多晶金刚石固结磨料研磨垫,比较了单晶与多晶金刚石固结磨料研磨垫的研磨性能。结果表明:单晶金刚石固结磨料垫与多晶金刚石固结... 通过粘结剂将单晶金刚石制成粒径更大的多晶金刚石。采用SEM观察了多晶金刚石的微观形貌,分别制备了单晶和多晶金刚石固结磨料研磨垫,比较了单晶与多晶金刚石固结磨料研磨垫的研磨性能。结果表明:单晶金刚石固结磨料垫与多晶金刚石固结磨料垫精研石英玻璃的表面粗糙度相似;但多晶金刚石固结磨料垫的材料去除率更高且稳定;多晶金刚石在研磨过程中的微破碎,确保了其自修整过程的实现。另外,多晶金刚石研结磨料垫研磨的石英玻璃亚表面损伤层深度小,约为原始单晶金刚石粒径的1/2。 展开更多
关键词 多晶金刚石 石英玻璃 固结磨料研磨垫 研磨性能
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自蔓延法制备TiC粉末的研究 被引量：9
3
作者 王金淑 周美玲 +2 位作者 张久兴 胡延槽 宗斌 《北京工业大学学报》 CAS CSCD 1998年第3期29-33,共5页
研究了原料、稀释剂、压坯密度等因素对TiC合成反应的影响，结果表明：石墨粉为原料时，产物TiC呈球形；活性碳为原料时，生成的TiC粒形不规则．稀释剂的加入可以降低反应温度，细化产物，压坯密度达60％时，反应速度最大、TiC的形成过... 研究了原料、稀释剂、压坯密度等因素对TiC合成反应的影响，结果表明：石墨粉为原料时，产物TiC呈球形；活性碳为原料时，生成的TiC粒形不规则．稀释剂的加入可以降低反应温度，细化产物，压坯密度达60％时，反应速度最大、TiC的形成过程为溶解、扩散、拆出． 展开更多
关键词 磨料 自蔓延法 碳化钛 粉末
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MgO活性对氯镁石材料开裂和耐水性的影响 被引量：12
4
作者 徐玲玲 杨南如 +1 位作者 陶洪亮 尹育航 《硅酸盐学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第8期759-762,769,共5页
讨论了菱镁矿烟烧过程中MgO晶体结构的形成过程以及对MgO活性的影响,当菱镁矿的煅烧温度低于800℃时,由菱镁矿的晶体结构逐渐转变形成的MgO晶体结构中存在较多的缺陷,赋予MgO高的化学活性,这些缺陷位置是其与MgCl_2水溶液进行化学反应形... 讨论了菱镁矿烟烧过程中MgO晶体结构的形成过程以及对MgO活性的影响,当菱镁矿的煅烧温度低于800℃时,由菱镁矿的晶体结构逐渐转变形成的MgO晶体结构中存在较多的缺陷,赋予MgO高的化学活性,这些缺陷位置是其与MgCl_2水溶液进行化学反应形成5.1.8相的物化活性点。由于5.1.8相或3.1.8相在水中高的溶解度和水化放热,使得氯镁石材料易于开裂和耐水性差,造成氯镁石磨削材料在抛光过程中掉渣,实验表明,粉煤灰和磷酸二氢钙的复合外加剂能有效地改善开裂情况和提高耐水性。 展开更多
关键词 氯镁石 磨削材料 氧化镁 晶体结构 开裂 耐水性 菱镁矿 煅烧温度
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煅烧工艺对溶胶-凝胶制备微球形氧化铝的影响 被引量：3
5
作者 万隆 刘会娟 +3 位作者 王俊沙 韩永潜 方文俊 时丹 《湖南大学学报（自然科学版）》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第7期45-49,共5页
以工业级拟薄水铝石为原料,采用溶胶-凝胶及喷雾造粒技术制备球形氧化铝粉料,将粉料置于马弗炉中,分别在不同温度下煅烧,采用SEM观察获得粉体的微观形貌,XRD分析了不同煅烧温度粉体的相组成,马尔文激光粒度仪测定粉体的粒度组成,集成表... 以工业级拟薄水铝石为原料,采用溶胶-凝胶及喷雾造粒技术制备球形氧化铝粉料,将粉料置于马弗炉中,分别在不同温度下煅烧,采用SEM观察获得粉体的微观形貌,XRD分析了不同煅烧温度粉体的相组成,马尔文激光粒度仪测定粉体的粒度组成,集成表面粗糙度仪测定被抛光工件的表面粗糙度.结果表明:经喷雾造粒和煅烧后制得的粉料外形为球体;煅烧温度逐步提高时,其物相的变化规律由γ-Al2O3转变为θ-Al2O3,再转变为α-Al2O3相;煅烧温度过高时,将造成粉料颗粒间相互粘结,适当延长保温时间会促使粒子沿着致密区长大.并且,结晶度较好、粒度分布均匀的粉料抛光性能较好. 展开更多
关键词 溶胶-凝胶 工艺喷雾造粒 微观形貌 物相 抛光性
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铸铁干式加工过程中钎焊金刚石圆锯片磨损机理 被引量：4
6
作者 刘思幸 肖冰 +1 位作者 张子煜 陈雨果 《中国有色金属学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第10期2166-2173,共8页
采用Ni-Cr合金活性钎料,在高真空炉中实现金刚石与钢基体牢固的钎焊连接。借助扫描电镜、能谱分析仪和X射线衍射仪阐述真空钎焊金刚石的钎焊机理和界面特征,分析钎焊金刚石圆锯片在干式加工铸铁过程中磨粒的磨损特性。结果表明:在铸铁... 采用Ni-Cr合金活性钎料,在高真空炉中实现金刚石与钢基体牢固的钎焊连接。借助扫描电镜、能谱分析仪和X射线衍射仪阐述真空钎焊金刚石的钎焊机理和界面特征,分析钎焊金刚石圆锯片在干式加工铸铁过程中磨粒的磨损特性。结果表明:在铸铁管加工方面,钎焊金刚石圆锯片表现出优越的高效切割性能,磨粒磨损主要以破碎为主,磨削高温引起切屑粘附在破碎磨粒表面;揭示在铸铁干式加工过程中金刚石磨粒表面出现轻微的石墨化磨损等现象;实验表明磨粒的强度依然能满足加工要求。研制出适用铸铁材料高效加工用的高锋利度、高强度、安全的钎焊金刚石切割片。 展开更多
关键词 金刚石圆锯片 铸铁管 真空钎焊 磨损机理 干式加工
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不同研磨阶段金刚石磨粒表面覆镍量的优化 被引量：4
7
作者 王加顺 朱永伟 +2 位作者 徐胜 徐俊 李军 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第1期13-18,共6页
通过化学镀镍的方法,分别在两种粒径的金刚石表面镀覆一层增重率不同的Ni-P合金层,利用SEM分析了镀层微观形貌;并将其与树脂混合制备成固结磨料研磨垫,分别作为粗研和精研使用,探索了其加工特性。结果表明:镀层增重率可以明显改变金刚... 通过化学镀镍的方法,分别在两种粒径的金刚石表面镀覆一层增重率不同的Ni-P合金层,利用SEM分析了镀层微观形貌;并将其与树脂混合制备成固结磨料研磨垫,分别作为粗研和精研使用,探索了其加工特性。结果表明:镀层增重率可以明显改变金刚石镀层的微观形貌;精研过程的摩擦系数、材料去除速率和工件表面粗糙度均随着镀层增重率增大呈现先增大后减小的趋势,在镀层增重率30%时达到最大值;粗研过程的材料去除速率和工件表面粗糙度随着镀层增重率增大呈现先增大后减小的趋势,在镀层增重率50%时达到最大值;粗研过程对磨粒把持力的要求高于精研过程。 展开更多
关键词 金刚石磨粒 研磨 镀镍 固结磨料研磨垫 摩擦系数 材料去除率
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溶胶凝胶法陶瓷结合堆积磨料的制备与性能研究 被引量：4
8
作者 方文俊 万隆 +3 位作者 宋冬冬 王俊沙 刘会娟 时丹 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第9期2192-2197,共6页
采用溶胶凝胶法制备了球形陶瓷堆积600#SiC磨料,利用Zeta电位、SEM和FTIR等方法对样品进行分析表征。结果表明:600#SiC表面电荷大于240#SiC,说明前者具有更好的亲水性;酸性硅溶胶加入到铝溶胶中并没有引起聚沉;H3BO3对铝溶胶丁达尔现象... 采用溶胶凝胶法制备了球形陶瓷堆积600#SiC磨料,利用Zeta电位、SEM和FTIR等方法对样品进行分析表征。结果表明:600#SiC表面电荷大于240#SiC,说明前者具有更好的亲水性;酸性硅溶胶加入到铝溶胶中并没有引起聚沉;H3BO3对铝溶胶丁达尔现象影响较小;NaNO3、Zn(NO3)2、LiNO3会造成铝溶胶胶粒的长大,混合溶胶液粒径为545.4 nm;结合剂量为4wt%时,溶胶凝胶法低于干粉法陶瓷堆积磨料磨削粗糙度,Ra达到0.35μm。 展开更多
关键词 溶胶-凝胶 陶瓷结合剂 堆积磨料 粗糙度
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用碱性抛光液化学机械抛光304不锈钢片研究 被引量：5
9
作者 陈佳鹏 陈绍坤 +2 位作者 李庆 秦洪权 苏建修 《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 2016年第2期6-9,23,共5页
为提高化学机械抛光的加工效果,我们研究了pH值、氧化剂种类和氧化剂含量对材料去除率和表面粗糙度的影响。结果表明:不同氧化剂的抛光液在各自的最佳pH值时达到最大的材料去除率,分别为181nm/min(H_2O_2抛光液,pH=9),177nm/min(Cr_2O_... 为提高化学机械抛光的加工效果,我们研究了pH值、氧化剂种类和氧化剂含量对材料去除率和表面粗糙度的影响。结果表明:不同氧化剂的抛光液在各自的最佳pH值时达到最大的材料去除率,分别为181nm/min(H_2O_2抛光液,pH=9),177nm/min(Cr_2O_3抛光液,pH=11),172nm/min(Na2Cr_2O_7抛光液,pH=11)和147nm/min(NaClO抛光液,pH=13);抛光液中氧化剂含量、pH值对抛光后不锈钢的表面粗糙度影响较小。其中,材料去除率较高的H_2O_2和Cr_2O_3可作为304不锈钢化学机械抛光碱性抛光液的氧化剂。 展开更多
关键词 304 不锈钢 碱性抛光液 PH 值 氧化剂 化学机械抛光 材料去除率
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基于不同磨料的氮化硅陶瓷球精研工艺研究 被引量：4
10
作者 吴玉厚 王琛 +3 位作者 田军兴 孙健 李颂华 任科轩 《现代制造工程》 CSCD 北大核心 2022年第2期99-104,共6页
为探究磨料对氮化硅陶瓷球精研加工的影响,从而提高氮化硅陶瓷球的表面质量和材料去除率,以基液种类、磨料种类和研磨盘转速为主要影响因素设计正交试验,并分析各因素对表面粗糙度Ra的影响程度。以表面粗糙度Ra和材料去除率为评价指标,... 为探究磨料对氮化硅陶瓷球精研加工的影响,从而提高氮化硅陶瓷球的表面质量和材料去除率,以基液种类、磨料种类和研磨盘转速为主要影响因素设计正交试验,并分析各因素对表面粗糙度Ra的影响程度。以表面粗糙度Ra和材料去除率为评价指标,通过单因素试验优化研磨参数。根据正交试验结果,得到精研加工过程中各影响因素对于表面粗糙度Ra的影响程度,从大到小排列依次为:磨料种类>基液种类>研磨盘转速。综合考虑陶瓷球精研加工的要求,确定最佳的研磨参数组合为:煤油基液、碳化硅磨料以及150 r/min的研磨盘转速。在金刚石、碳化硅、氮化硼、氧化铬和氧化铁这5种磨料中,氧化铁磨料修复粗研过后的氮化硅陶瓷球表面缺陷的效果最好。 展开更多
关键词 磨料 精研加工 正交试验 表面粗糙度 材料去除率
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镀Mo金刚石与结合剂之间的结合状态研究 被引量：5
11
作者 李晨辉 吕海波 牟一兵 《金刚石与磨料磨具工程》 EI CAS 2000年第1期9-11,共3页
本文利用抗弯强度试验、扫描电镜及能谱分析研究了镀Mo金刚石在Fe基、Ni基、Cu基及Co基结合剂中的界面结合状态。结果发现：在700－840℃热压条件下，结合剂中的主要组元均已扩散到达金刚石表面；Mo镀层采与金刚石形成强的界面结合；在... 本文利用抗弯强度试验、扫描电镜及能谱分析研究了镀Mo金刚石在Fe基、Ni基、Cu基及Co基结合剂中的界面结合状态。结果发现：在700－840℃热压条件下，结合剂中的主要组元均已扩散到达金刚石表面；Mo镀层采与金刚石形成强的界面结合；在抗弯强度试验中，Mo层基本上与结合剂一起被剥离金刚石表面。金刚石表面镀Mo后，其Fe基、Ni基、Cu基复合材料的抗弯强度均下降，而其Co基复合材料的抗弯强度显著上升。抗弯强度的变化主要是由于Mo对结合剂的局部强化、硬化并由此引起的复合材料内部的热应力的改变以及Mo层改变了结合剂对金刚石的浸润等因素引起的。 展开更多
关键词 金刚石 镀层 结合剂 结合状态 钼
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聚合物及其复合材料的磨料磨损 被引量：4
12
作者 佟金 任露泉 陈秉聪 《机械工程材料》 CAS CSCD 1991年第2期24-26,23,共4页
综合介绍了聚合物及其短纤维颗粒填充复合材料的磨料磨损特性,主要叙述磨料特性、聚合物的性能、复合材料中的填充材料及试验条件对磨料磨损的影响和磨料磨损机理。
关键词 聚合物 复合材料 磨料 磨损
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碳源对自蔓延高温合成TiC粉末的影响 被引量：9
13
作者 陈怡元 邹正光 龙飞 《桂林工学院学报》 北大核心 2006年第4期534-537,共4页
在氩气保护下用钛、碳元素通过自蔓延高温合成(SHS)工艺制备了碳化钛,采用X射线衍射(XRD)和扫描电子显微(SEM)技术,分析检测了采用不同碳源合成的碳化钛的物相组成和微观结构.结果表明,钛与碳元素粉末的自蔓延合成产物均为碳化钛相,产... 在氩气保护下用钛、碳元素通过自蔓延高温合成(SHS)工艺制备了碳化钛,采用X射线衍射(XRD)和扫描电子显微(SEM)技术,分析检测了采用不同碳源合成的碳化钛的物相组成和微观结构.结果表明,钛与碳元素粉末的自蔓延合成产物均为碳化钛相,产物形貌因碳源的不同而有所不同,以石墨为碳源所合成的TiC晶型比较完整,粒度相对粗大、颗粒均匀性相对较好,团聚较少,更接近化学计量比. 展开更多
关键词 碳源 自蔓延高温合成 碳化钛
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磷含量对金刚石镀层形貌及其加工性能的影响 被引量：2
14
作者 王加顺 朱永伟 +2 位作者 徐俊 刘婷婷 彭雁 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第11期2786-2792,共7页
通过化学镀方法,在金刚石颗粒表面制备一层不同P含量的Ni-P合金层;利用SEM分析了镀层的微观形貌;并用其制备了固结磨料研磨垫,比较了不同P含量金刚石研磨垫在加工过程中的摩擦系数、声发射信号及研磨垫的耐磨性;探索了不同研磨垫的加工... 通过化学镀方法,在金刚石颗粒表面制备一层不同P含量的Ni-P合金层;利用SEM分析了镀层的微观形貌;并用其制备了固结磨料研磨垫,比较了不同P含量金刚石研磨垫在加工过程中的摩擦系数、声发射信号及研磨垫的耐磨性;探索了不同研磨垫的加工特性;并与电镀镍金刚石进行了对比。结果表明:金刚石镀层P含量能够明显改变金刚石的形貌;研磨过程中的摩擦系数、材料去除速率和工件表面粗糙度随着P含量的增加呈先增大后减小的趋势;中磷金刚石磨粒对工件的摩擦力和切入深度最大,研磨垫的磨粒保持性与自修整性平衡;电镀金刚石表面粗糙度及加工性能介于低磷与中磷之间。 展开更多
关键词 磷含量 固结磨料研磨垫 材料去除率 粗糙度
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镀Ni金刚石与铜基结合剂间把持力的提高方法和机理分析 被引量：4
15
作者 肖长江 陈贻光 +1 位作者 栗晓龙 闫紫瑶 《粉末冶金技术》 CAS CSCD 北大核心 2020年第1期25-29,共5页
为了提高金刚石与金属结合剂间的把持力,将镀Ni金刚石在1050℃下处理1 h,然后用浓硝酸清洗金刚石表面,最后采用真空热压烧结制备铜基结合剂金刚石样条。用扫描电子显微镜观察高温处理前后金刚石镀层表面形貌,通过铜基结合剂样条的抗弯... 为了提高金刚石与金属结合剂间的把持力,将镀Ni金刚石在1050℃下处理1 h,然后用浓硝酸清洗金刚石表面,最后采用真空热压烧结制备铜基结合剂金刚石样条。用扫描电子显微镜观察高温处理前后金刚石镀层表面形貌,通过铜基结合剂样条的抗弯强度来评价金刚石与铜基结合剂间的结合力。用X射线衍射仪分析高温处理后镀层与金刚石间的物相。结果表明:镀Ni金刚石经1050℃处理1h后,镀层基本上保持完整,金刚石表面变粗糙;铜基结合剂金刚石样条的抗弯强度从未镀金刚石的759 MPa增加到镀Ni金刚石的791 MPa,再增加到高温处理镀Ni金刚石的833 MPa,说明金刚石与铜基结合剂间把持力得到有效提高。 展开更多
关键词 金刚石 表面刻蚀 铜基结合剂 把持力 机理分析
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大尺寸SiC单晶片的超硬磨料切割技术研究进展 被引量：4
16
作者 李言 王肖烨 李淑娟 《工具技术》 2010年第7期7-11,共5页
在SiC单晶片的制造中,切割是加工SiC单晶片的关键工序,其成本占整个加工成本的50%以上。然而,传统的切割技术还存在一定的缺点或局限性。本文在分析传统切割技术的基础上,较详细地介绍了金刚石线锯超声纵向振动切割技术,指出金刚石线锯... 在SiC单晶片的制造中,切割是加工SiC单晶片的关键工序,其成本占整个加工成本的50%以上。然而,传统的切割技术还存在一定的缺点或局限性。本文在分析传统切割技术的基础上,较详细地介绍了金刚石线锯超声纵向振动切割技术,指出金刚石线锯超声纵向振动切割技术与相同实验条件下的未施加超声振动的锯切方法相比,具有加工材料去除率高、表面质量好、加工表面损伤小、挠曲变形小、切片薄、片厚一致性好、能切割大尺寸SiC锭等优点,是应用前景非常广泛的切割方法。 展开更多
关键词 SiC单晶片 超硬磨料 线锯超声纵向振动 切割技术
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人造金刚石聚晶磁性研究 被引量：3
17
作者 张美光 彭放 陈超 《矿冶工程》 CAS CSCD 北大核心 2005年第5期80-82,共3页
采用WCF-2多用磁性分析仪对高温高压烧结的人造金刚石聚晶及其合成原料(金刚石粉、硅粉、钛粉、石墨)和烧结过程中生成的碳化硅等进行了磁性测量。结果表明:人造金刚石聚晶磁性的主要来源是粘结剂Si,在烧结过程中Si和C反应所生成的SiC... 采用WCF-2多用磁性分析仪对高温高压烧结的人造金刚石聚晶及其合成原料(金刚石粉、硅粉、钛粉、石墨)和烧结过程中生成的碳化硅等进行了磁性测量。结果表明:人造金刚石聚晶磁性的主要来源是粘结剂Si,在烧结过程中Si和C反应所生成的SiC减少了游离Si的含量,从而降低金刚石聚晶的磁性。粘结剂含量和烧结工艺的不同会影响聚晶的磨耗比,通过磁性测量可以对金刚石聚晶的质量进行无损伤检测。 展开更多
关键词 人造金刚石聚晶 磁性 粘结剂
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人造金刚石热稳定性的研究 被引量：8
18
作者 关长斌 沈德久 孙丽君 《磨料磨具与磨削》 CAS 1993年第4期19-21,共3页
本文采用差热分析,失重分析,热腐蚀实验,抗压强度实验等方法研究了人造金刚石的热稳定性。并探讨了氮对金刚石热稳定性的影响。
关键词 人造金刚石 热稳定性 研究
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镍包覆率对固结金刚石磨料研磨垫加工性能的影响 被引量：1
19
作者 刘婷婷 朱永伟 +2 位作者 王加顺 徐俊 袁航 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2014年第12期4045-4050,共6页
通过化学镀镍的方法,在金刚石磨粒表面包覆一层Ni-P合金层;采用不同包覆率的金刚石磨料制备固结磨料研磨垫;通过SEM观察分析金刚石的微观形貌;研究了磨料包覆率对研磨垫加工K9玻璃过程中的摩擦系数和声发射信号的影响;采用马拉松式试验... 通过化学镀镍的方法,在金刚石磨粒表面包覆一层Ni-P合金层;采用不同包覆率的金刚石磨料制备固结磨料研磨垫;通过SEM观察分析金刚石的微观形貌;研究了磨料包覆率对研磨垫加工K9玻璃过程中的摩擦系数和声发射信号的影响;采用马拉松式试验方法,比较了不同包覆率磨料的研磨垫加工K9的材料去除速率及研磨后工件的表面粗糙度。结果表明:化学镀镍可以显著改变磨料的表面形貌;研磨过程中的摩擦系数、材料去除速率和工件表面粗糙度均随着包覆率的提高呈现出先增大后减小的趋势;包覆率50%时的金刚石磨料对工件的摩擦力和切入深度最大,研磨垫的磨粒保持与自修整性平衡,加工效率及其稳定性最高。 展开更多
关键词 镀镍金刚石磨料 包覆率 固结磨料研磨垫 摩擦系数 材料去除速率
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MnO2对金刚石单晶的刻蚀研究 被引量：4
20
作者 肖长江 陈怡光 栗正新 《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 北大核心 2019年第5期1-6,共6页
在不同温度下,将金刚石在空气中单独刻蚀或与MnO 2混在一起刻蚀,用表面形貌、刻蚀面积和单颗粒抗压强度来表征单晶表面刻蚀程度。结果表明:MnO 2和空气都能刻蚀人造金刚石单晶表面,且随刻蚀温度升高刻蚀加剧。在相同刻蚀温度下,用MnO 2... 在不同温度下,将金刚石在空气中单独刻蚀或与MnO 2混在一起刻蚀,用表面形貌、刻蚀面积和单颗粒抗压强度来表征单晶表面刻蚀程度。结果表明:MnO 2和空气都能刻蚀人造金刚石单晶表面,且随刻蚀温度升高刻蚀加剧。在相同刻蚀温度下,用MnO 2刻蚀时,单晶的{111}面比{100}面刻蚀严重;而在空气中,其{100}面比{111}面刻蚀严重。金刚石单晶刻蚀后其{100}面易形成四边形坑,{111}面易形成金字塔形刻蚀坑。且MnO 2刻蚀剂能够对金刚石表面刻蚀起促进作用,使刻蚀面积增大和最大刻蚀速率对应的温度降低,导致金刚石单颗粒抗压强度大幅下降。 展开更多
关键词 金刚石单晶 表面刻蚀 二氧化锰
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