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微金字塔阵列结构的飞刀切削技术研究
被引量:
1
1
作者
杜丹
黄岳田
范斌
《光电工程》
CAS
CSCD
北大核心
2020年第8期104-110,共7页
微结构阵列光学元件的加工受到越来越广泛的关注,单点金刚石飞刀切削技术以高效率低成本且加工精度高的优势,逐渐应用于微结构的加工。本文主要研究飞刀切削微金字塔结构时,机床重复定位误差和循环加工引入的误差对微结构切削效果的影响...
微结构阵列光学元件的加工受到越来越广泛的关注,单点金刚石飞刀切削技术以高效率低成本且加工精度高的优势,逐渐应用于微结构的加工。本文主要研究飞刀切削微金字塔结构时,机床重复定位误差和循环加工引入的误差对微结构切削效果的影响,分析V槽切削时次沟槽产生的条件,研究抑制次沟槽产生方法,实验验证了可以通过控制切削深度大于最小切削深度来抑制次沟槽的产生。
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关键词
飞刀切削
微金字塔结构
次沟槽
切削深度
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职称材料
衍射光学元件车削误差控制技术
被引量:
2
2
作者
黄岳田
范斌
+3 位作者
李世杰
梁海锋
蔡长龙
刘卫国
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2023年第3期209-217,共9页
衍射光学元件在光学系统中的应用越来越广泛,对衍射结构的加工质量提出了更高的要求。单点金刚石车削可直接加工出高精度衍射微结构表面,但衍射结构的位置误差和表面质量对其光学性能有较大影响。为了提高衍射光学元件的性能,需要精确...
衍射光学元件在光学系统中的应用越来越广泛,对衍射结构的加工质量提出了更高的要求。单点金刚石车削可直接加工出高精度衍射微结构表面,但衍射结构的位置误差和表面质量对其光学性能有较大影响。为了提高衍射光学元件的性能,需要精确控制其车削误差。基于此,分析了影响衍射元件加工质量的因素,建立了揭示位置误差、衍射面形状和刀具半径之间的关系的数学模型,揭示了衍射带位置精度影响规律。通过补偿加工提升基底表面质量来提高衍射曲面面形精度。结合仿真模型与粗糙度影响参数,指导车削刀具半径的选取。最后,基于仿真结果,选择半径为0.02 mm的半圆弧刀具加工,最终加工的衍射元件面形误差为292 nm,衍射环带位置误差最大为55 nm,高度误差最大为16 nm,粗糙度为5.6 nm。实验结果表明,该预测模型可以指导衍射光学元件高精度表面形貌的获取,有利于提高光学系统的成像质量,为高精度衍射光学元件的批量生产提供了技术支持,具有广泛的工程应用价值。
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关键词
衍射光学元件
环带位置误差
刀具半径
单点金刚石车削
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职称材料
薄膜微结构的近红外透射诱导增强特性
被引量:
4
3
作者
葛少博
刘卫国
+6 位作者
周顺
杨鹏飞
李世杰
黄岳田
孙雪平
林大斌
张进
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2019年第7期190-200,共11页
在SiNx薄膜中引入微金字塔结构,综合利用包含界面的薄膜光学微结构的折射、衍射与干涉现象,实现透反射的调控.通过单点金刚石切削与纳米压印、等离子体各向异性刻蚀技术相结合,将大面积、高效率、低成本的微结构制备方法推广至光学薄膜...
在SiNx薄膜中引入微金字塔结构,综合利用包含界面的薄膜光学微结构的折射、衍射与干涉现象,实现透反射的调控.通过单点金刚石切削与纳米压印、等离子体各向异性刻蚀技术相结合,将大面积、高效率、低成本的微结构制备方法推广至光学薄膜中,实现了多种尺寸的金字塔薄膜微结构的制备,结构单元尺寸可以在1.5~10μm之间进行调控.光谱特性检测结果表明,SiNx薄膜微金字塔结构阵列在近红外至长波红外波段,表现出超宽波段的减反射特性;在0.8~2.5μm的近红外波段,反射率低于1.0%;在3~5μm的中红外波段,反射率小于2.5%;在10~12μm长波红外波段,平均反射率低于5%;与传统的四分之一波长抗反射膜系相比,SiNx薄膜微金字塔结构阵列的减反射效果的实现,无需膜系设计时的折射率匹配,简化了膜系结构.研究发现SiNx薄膜微金字塔结构阵列的近红外透射诱导增强特性,高度为2~4μm的SiNx薄膜微金字塔结构阵列,均在2.1μm波长处出现明显的透射诱导增强效应,且高为4μm,底宽为8μm的微金字塔结构阵列的透射增强作用最为明显,透射率达到了96%以上.实验检测与仿真分析证明,透射增强的位置和强度由微结构的形貌尺寸及其结构比例关系决定.
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关键词
薄膜微结构
单点金刚石切削
纳米压印
减反射
透射增强
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职称材料
基于Socks5的WebVPN
被引量:
3
4
作者
屈家石
张海涛
+2 位作者
曾若星
黄岳田
张晨
《科技视界》
2017年第5期68-68,26,共2页
外网合法用户如何安全高效地访问内网资源是VPN技术研究的核心。用户使用VPN访问内部网络时,客户端与服务器之间的交互数据通过加密通道传输,保证了内部数据的安全。本文提出了用户权限分级、个性化网络资源分配、服务器安全防范等设想...
外网合法用户如何安全高效地访问内网资源是VPN技术研究的核心。用户使用VPN访问内部网络时,客户端与服务器之间的交互数据通过加密通道传输,保证了内部数据的安全。本文提出了用户权限分级、个性化网络资源分配、服务器安全防范等设想,为用户提供一个安全易用的WebVPN系统。
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关键词
WebVPN
网站安全
加密
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职称材料
车削加工硫化锌晶体工艺
被引量:
4
5
作者
李世杰
徐超
+2 位作者
黄岳田
王守义
刘卫国
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2020年第7期187-194,共8页
随着硫化锌晶体光学元件在红外光学系统中的广泛应用,对其表面质量的要求越来越高,但由于该材料的脆性特点,很难获得高质量的表面粗糙度。为了获得高质量的硫化锌晶体表面,首先,介绍了基于单点金刚石车床的车削加工与飞切加工的技术原理...
随着硫化锌晶体光学元件在红外光学系统中的广泛应用,对其表面质量的要求越来越高,但由于该材料的脆性特点,很难获得高质量的表面粗糙度。为了获得高质量的硫化锌晶体表面,首先,介绍了基于单点金刚石车床的车削加工与飞切加工的技术原理,以及影响表面粗糙度的因素。然后,通过工艺实验,采用单一变量法,研究了不同参数的金刚石刀具和不同的加工参数对硫化锌平面元件的表面粗糙度的影响。采用显微镜和白光干涉仪对加工表面的质量进行了检测,并反馈了优化加工参数。最后,基于最优加工参数,采用两种加工方式均获得了表面粗糙度Sa为1 nm左右的高质量硫化锌平面光学元件。该研究结果对高质量硫化锌光学元件的研制提供了技术支持,具有广泛的工程应用价值。
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关键词
硫化锌晶体
车削加工
飞切加工
表面粗糙度
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职称材料
薄膜光学微金字塔结构阵列的制备研究
被引量:
2
6
作者
葛少博
刘卫国
+2 位作者
周顺
李世杰
黄岳田
《西安工业大学学报》
CAS
2019年第3期253-259,265,共8页
为了解决薄膜光学微结构中等效折射率梯度分布的问题。本文研究了轮廓渐变的薄膜微金字塔结构阵列,分析了微金字塔结构的典型制备工艺,提出了一种单点金刚石车削,结合纳米压印与电感耦合等离子体刻蚀技术的制备方法。实验结果表明:单点...
为了解决薄膜光学微结构中等效折射率梯度分布的问题。本文研究了轮廓渐变的薄膜微金字塔结构阵列,分析了微金字塔结构的典型制备工艺,提出了一种单点金刚石车削,结合纳米压印与电感耦合等离子体刻蚀技术的制备方法。实验结果表明:单点金刚石飞切形成的金字塔结构单元的尺寸可以在1~10μm之间进行调控,切削5min可以形成直径12.5mm的微结构成型区域;纳米压印技术与电感耦合等离子体刻蚀方法的结合,实现了薄膜光学微金字塔结构阵列的制备。
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关键词
微金字塔结构
等效折射率
单点金刚石车削
纳米压印
电感耦合等离子体刻蚀
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职称材料
基于Unity3d的博物馆移动信息化系统
7
作者
刘亿斯
梁灏
+2 位作者
黄章菡
黄岳田
赵生平
《科技视界》
2016年第22期62-62,56,共2页
社会、技术和智能手机的发展,虚拟场景漫游也作为虚拟现实技术的一个想当重要的领域,有着很大的应用价值和发展空间。旅游景点提供给游客的信息一般是印刷大量的宣传手册或者是指导手册,耗费了大量的人力、物力和财力,这不仅仅照成了资...
社会、技术和智能手机的发展,虚拟场景漫游也作为虚拟现实技术的一个想当重要的领域,有着很大的应用价值和发展空间。旅游景点提供给游客的信息一般是印刷大量的宣传手册或者是指导手册,耗费了大量的人力、物力和财力,这不仅仅照成了资源的浪费,人力的损失,也照成了环境的污染。把虚拟漫游技术与近年来发展得正火热的Android相结合,以桂林李宗仁官邸为基础,将这个场景进行数字化并且移植到手机上。系统通过计算机图形技术,将现实的场景保证一定视觉效果的时候同时进行可视化三维建模设计,达到一定的视觉效果的同时,构建一个手机上虚拟的场景。
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关键词
虚拟现实
虚拟场景漫游
ANDROID
UNITY3D
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职称材料
快刀伺服加工多通道滤光片阵列的间隔层模具
8
作者
李世杰
杨陈
+2 位作者
黄岳田
梁海锋
蔡长龙
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2022年第10期266-273,共8页
在目标探测识别系统中,采用多通道滤光片可以提高目标与背景的信噪比,从而实现对目标信号的精准探测。基于纳米压印的阵列结构多通道滤光片制造技术,对滤光片间隔层硬模具的表面精度和结构精度具有较高的要求。根据多光谱滤光片的设计结...
在目标探测识别系统中,采用多通道滤光片可以提高目标与背景的信噪比,从而实现对目标信号的精准探测。基于纳米压印的阵列结构多通道滤光片制造技术,对滤光片间隔层硬模具的表面精度和结构精度具有较高的要求。根据多光谱滤光片的设计结果,基于单点金刚石车床,采用快刀伺服加工方式,实现多通道滤光片间隔层模具的高精度制造。并采用白光干涉检测技术,对模具的表面形貌进行了检测。通过分析表明,对5×5阵列结构的多通道滤光片,其加工结果与设计值吻合良好,横向尺寸精度与纵向尺寸精度均优于5%,完全满足设计要求。该技术为多通道滤光片的大规模、批量化制造提供了技术支持,同时也为非周期阵列光学元件的制造提供一种有效的手段。
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关键词
多通道滤光片阵列
间隔层模具
快刀伺服
干涉拼接检测
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职称材料
题名
微金字塔阵列结构的飞刀切削技术研究
被引量:
1
1
作者
杜丹
黄岳田
范斌
机构
北京跟踪与通信技术研究所
中国科学院光电技术研究所
中国科学院大学
出处
《光电工程》
CAS
CSCD
北大核心
2020年第8期104-110,共7页
文摘
微结构阵列光学元件的加工受到越来越广泛的关注,单点金刚石飞刀切削技术以高效率低成本且加工精度高的优势,逐渐应用于微结构的加工。本文主要研究飞刀切削微金字塔结构时,机床重复定位误差和循环加工引入的误差对微结构切削效果的影响,分析V槽切削时次沟槽产生的条件,研究抑制次沟槽产生方法,实验验证了可以通过控制切削深度大于最小切削深度来抑制次沟槽的产生。
关键词
飞刀切削
微金字塔结构
次沟槽
切削深度
Keywords
flying cutting
micro-pyramid structure
sub-groove
turning depth
分类号
TH74 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
衍射光学元件车削误差控制技术
被引量:
2
2
作者
黄岳田
范斌
李世杰
梁海锋
蔡长龙
刘卫国
机构
西安工业大学光电工程学院陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室
中国科学院光电技术研究所
出处
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2023年第3期209-217,共9页
基金
陕西省科技厅项目(2022GY-222)
陕西省科技厅产业链项目(2021ZDGY12-05)。
文摘
衍射光学元件在光学系统中的应用越来越广泛,对衍射结构的加工质量提出了更高的要求。单点金刚石车削可直接加工出高精度衍射微结构表面,但衍射结构的位置误差和表面质量对其光学性能有较大影响。为了提高衍射光学元件的性能,需要精确控制其车削误差。基于此,分析了影响衍射元件加工质量的因素,建立了揭示位置误差、衍射面形状和刀具半径之间的关系的数学模型,揭示了衍射带位置精度影响规律。通过补偿加工提升基底表面质量来提高衍射曲面面形精度。结合仿真模型与粗糙度影响参数,指导车削刀具半径的选取。最后,基于仿真结果,选择半径为0.02 mm的半圆弧刀具加工,最终加工的衍射元件面形误差为292 nm,衍射环带位置误差最大为55 nm,高度误差最大为16 nm,粗糙度为5.6 nm。实验结果表明,该预测模型可以指导衍射光学元件高精度表面形貌的获取,有利于提高光学系统的成像质量,为高精度衍射光学元件的批量生产提供了技术支持,具有广泛的工程应用价值。
关键词
衍射光学元件
环带位置误差
刀具半径
单点金刚石车削
Keywords
diffractive optical elements
band position accuracy
tool radius
single point diamond turning
分类号
O439 [机械工程—光学工程]
TB133 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
薄膜微结构的近红外透射诱导增强特性
被引量:
4
3
作者
葛少博
刘卫国
周顺
杨鹏飞
李世杰
黄岳田
孙雪平
林大斌
张进
机构
西安工业大学光电学院陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室
中国科学院光电技术研究所
出处
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2019年第7期190-200,共11页
基金
国家基础研究项目(No.JCKY2016208A002)
先进制造项目(No.41423020111)
+1 种基金
陕西省高校科协青年人才托举计划项目(No.20160122)
西安工业大学院长基金(No.15GDYJY03)~~
文摘
在SiNx薄膜中引入微金字塔结构,综合利用包含界面的薄膜光学微结构的折射、衍射与干涉现象,实现透反射的调控.通过单点金刚石切削与纳米压印、等离子体各向异性刻蚀技术相结合,将大面积、高效率、低成本的微结构制备方法推广至光学薄膜中,实现了多种尺寸的金字塔薄膜微结构的制备,结构单元尺寸可以在1.5~10μm之间进行调控.光谱特性检测结果表明,SiNx薄膜微金字塔结构阵列在近红外至长波红外波段,表现出超宽波段的减反射特性;在0.8~2.5μm的近红外波段,反射率低于1.0%;在3~5μm的中红外波段,反射率小于2.5%;在10~12μm长波红外波段,平均反射率低于5%;与传统的四分之一波长抗反射膜系相比,SiNx薄膜微金字塔结构阵列的减反射效果的实现,无需膜系设计时的折射率匹配,简化了膜系结构.研究发现SiNx薄膜微金字塔结构阵列的近红外透射诱导增强特性,高度为2~4μm的SiNx薄膜微金字塔结构阵列,均在2.1μm波长处出现明显的透射诱导增强效应,且高为4μm,底宽为8μm的微金字塔结构阵列的透射增强作用最为明显,透射率达到了96%以上.实验检测与仿真分析证明,透射增强的位置和强度由微结构的形貌尺寸及其结构比例关系决定.
关键词
薄膜微结构
单点金刚石切削
纳米压印
减反射
透射增强
Keywords
Thin film microstructure
Single point diamond turning
Nano-imprint lithography
Anti-reflection
Transmission enhancement
分类号
O484.1 [理学—固体物理]
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职称材料
题名
基于Socks5的WebVPN
被引量:
3
4
作者
屈家石
张海涛
曾若星
黄岳田
张晨
机构
桂林电子科技大学计算机与信息安全学院
出处
《科技视界》
2017年第5期68-68,26,共2页
基金
2015年广西大学生创新训练计划项目(基于Socks5的Web VPN实现
201510595093)
+1 种基金
2016年度广西高校中青年教师基础能力提升项目(基于位置服务的景区自助导览系统
KY2016YB156)
文摘
外网合法用户如何安全高效地访问内网资源是VPN技术研究的核心。用户使用VPN访问内部网络时,客户端与服务器之间的交互数据通过加密通道传输,保证了内部数据的安全。本文提出了用户权限分级、个性化网络资源分配、服务器安全防范等设想,为用户提供一个安全易用的WebVPN系统。
关键词
WebVPN
网站安全
加密
分类号
TP393 [自动化与计算机技术—计算机应用技术]
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职称材料
题名
车削加工硫化锌晶体工艺
被引量:
4
5
作者
李世杰
徐超
黄岳田
王守义
刘卫国
机构
西安工业大学光电工程学院陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室
出处
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2020年第7期187-194,共8页
基金
陕西省科技厅项目(2020GY-045)
西安市科技局科技创新引导项目(201805031YD9CG15(2))
西安市智能探视感知重点实验室项目(201805061ZD12CG45)。
文摘
随着硫化锌晶体光学元件在红外光学系统中的广泛应用,对其表面质量的要求越来越高,但由于该材料的脆性特点,很难获得高质量的表面粗糙度。为了获得高质量的硫化锌晶体表面,首先,介绍了基于单点金刚石车床的车削加工与飞切加工的技术原理,以及影响表面粗糙度的因素。然后,通过工艺实验,采用单一变量法,研究了不同参数的金刚石刀具和不同的加工参数对硫化锌平面元件的表面粗糙度的影响。采用显微镜和白光干涉仪对加工表面的质量进行了检测,并反馈了优化加工参数。最后,基于最优加工参数,采用两种加工方式均获得了表面粗糙度Sa为1 nm左右的高质量硫化锌平面光学元件。该研究结果对高质量硫化锌光学元件的研制提供了技术支持,具有广泛的工程应用价值。
关键词
硫化锌晶体
车削加工
飞切加工
表面粗糙度
Keywords
ZnS crystal
cutting
fly-cutting
roughness
分类号
O439 [机械工程—光学工程]
TB133 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
薄膜光学微金字塔结构阵列的制备研究
被引量:
2
6
作者
葛少博
刘卫国
周顺
李世杰
黄岳田
机构
西安工业大学光电工程学院/陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室
中国科学院光电技术研究所
出处
《西安工业大学学报》
CAS
2019年第3期253-259,265,共8页
基金
国家基础研究项目(JCKY2016208A002)
陕西省教育厅重点实验室科研计划项目(16JS039)
先进制造项目(41423020111)
文摘
为了解决薄膜光学微结构中等效折射率梯度分布的问题。本文研究了轮廓渐变的薄膜微金字塔结构阵列,分析了微金字塔结构的典型制备工艺,提出了一种单点金刚石车削,结合纳米压印与电感耦合等离子体刻蚀技术的制备方法。实验结果表明:单点金刚石飞切形成的金字塔结构单元的尺寸可以在1~10μm之间进行调控,切削5min可以形成直径12.5mm的微结构成型区域;纳米压印技术与电感耦合等离子体刻蚀方法的结合,实现了薄膜光学微金字塔结构阵列的制备。
关键词
微金字塔结构
等效折射率
单点金刚石车削
纳米压印
电感耦合等离子体刻蚀
Keywords
micropyramid structure
equivalent index
single point diamondturning
nanoimprint lithography
inductively coupled plasma etching
分类号
O484.1 [理学—固体物理]
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职称材料
题名
基于Unity3d的博物馆移动信息化系统
7
作者
刘亿斯
梁灏
黄章菡
黄岳田
赵生平
机构
桂林电子科技大学
出处
《科技视界》
2016年第22期62-62,56,共2页
基金
桂林电子科技大学2014年大学生创新项目(201410595040)
文摘
社会、技术和智能手机的发展,虚拟场景漫游也作为虚拟现实技术的一个想当重要的领域,有着很大的应用价值和发展空间。旅游景点提供给游客的信息一般是印刷大量的宣传手册或者是指导手册,耗费了大量的人力、物力和财力,这不仅仅照成了资源的浪费,人力的损失,也照成了环境的污染。把虚拟漫游技术与近年来发展得正火热的Android相结合,以桂林李宗仁官邸为基础,将这个场景进行数字化并且移植到手机上。系统通过计算机图形技术,将现实的场景保证一定视觉效果的时候同时进行可视化三维建模设计,达到一定的视觉效果的同时,构建一个手机上虚拟的场景。
关键词
虚拟现实
虚拟场景漫游
ANDROID
UNITY3D
分类号
TP393.18 [自动化与计算机技术—计算机应用技术]
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职称材料
题名
快刀伺服加工多通道滤光片阵列的间隔层模具
8
作者
李世杰
杨陈
黄岳田
梁海锋
蔡长龙
机构
西安工业大学光电工程学院陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室
出处
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2022年第10期266-273,共8页
基金
陕西省科技厅项目(2021JM-432)
陕西省重点研发计划(2020GY-098)。
文摘
在目标探测识别系统中,采用多通道滤光片可以提高目标与背景的信噪比,从而实现对目标信号的精准探测。基于纳米压印的阵列结构多通道滤光片制造技术,对滤光片间隔层硬模具的表面精度和结构精度具有较高的要求。根据多光谱滤光片的设计结果,基于单点金刚石车床,采用快刀伺服加工方式,实现多通道滤光片间隔层模具的高精度制造。并采用白光干涉检测技术,对模具的表面形貌进行了检测。通过分析表明,对5×5阵列结构的多通道滤光片,其加工结果与设计值吻合良好,横向尺寸精度与纵向尺寸精度均优于5%,完全满足设计要求。该技术为多通道滤光片的大规模、批量化制造提供了技术支持,同时也为非周期阵列光学元件的制造提供一种有效的手段。
关键词
多通道滤光片阵列
间隔层模具
快刀伺服
干涉拼接检测
Keywords
multi-channel filter array
spacer-layer mold
Fast Tool Servo
interference stitching measurement
分类号
TN205 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
微金字塔阵列结构的飞刀切削技术研究
杜丹
黄岳田
范斌
《光电工程》
CAS
CSCD
北大核心
2020
1
在线阅读
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职称材料
2
衍射光学元件车削误差控制技术
黄岳田
范斌
李世杰
梁海锋
蔡长龙
刘卫国
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2023
2
在线阅读
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职称材料
3
薄膜微结构的近红外透射诱导增强特性
葛少博
刘卫国
周顺
杨鹏飞
李世杰
黄岳田
孙雪平
林大斌
张进
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2019
4
在线阅读
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职称材料
4
基于Socks5的WebVPN
屈家石
张海涛
曾若星
黄岳田
张晨
《科技视界》
2017
3
在线阅读
下载PDF
职称材料
5
车削加工硫化锌晶体工艺
李世杰
徐超
黄岳田
王守义
刘卫国
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2020
4
在线阅读
下载PDF
职称材料
6
薄膜光学微金字塔结构阵列的制备研究
葛少博
刘卫国
周顺
李世杰
黄岳田
《西安工业大学学报》
CAS
2019
2
在线阅读
下载PDF
职称材料
7
基于Unity3d的博物馆移动信息化系统
刘亿斯
梁灏
黄章菡
黄岳田
赵生平
《科技视界》
2016
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职称材料
8
快刀伺服加工多通道滤光片阵列的间隔层模具
李世杰
杨陈
黄岳田
梁海锋
蔡长龙
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2022
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职称材料
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