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大口径超薄基板双面溅射膜厚均匀性研究 被引量：1
1
作者 付秀华 刘俊岐 +4 位作者 李卓霖 刘海成 任海峰 王一博 韩克旭 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第6期109-117,共9页
可见光高透射近红外高截止滤光片采用大口径超薄尺寸的玻璃作为基板,在两面同时沉积制备而成,因此对薄膜均匀性及成膜后基板面型有着较高的要求。以Nb/Si作为薄膜靶材,采用反应溅射镀膜的方法,从靶材磁场强度分布、公-自转系统、基板夹... 可见光高透射近红外高截止滤光片采用大口径超薄尺寸的玻璃作为基板,在两面同时沉积制备而成,因此对薄膜均匀性及成膜后基板面型有着较高的要求。以Nb/Si作为薄膜靶材,采用反应溅射镀膜的方法,从靶材磁场强度分布、公-自转系统、基板夹具遮挡角度三个方面分析膜厚均匀性的差异,采用对称膜系结构,实现红外截止滤光片上下表面薄膜应力平衡。最终制备的薄膜均匀性在300 mm范围内达到0.13%,基板翘曲度为0.085 mm,满足使用需求。 展开更多
关键词 光学薄膜 磁控溅射 膜厚均匀性 大口径超薄基板 红外截止滤光片
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大角度高消光比偏振分光镜的设计 被引量：1
2
作者 韩克旭 付秀华 +2 位作者 李卓霖 刘俊岐 林兆文 《长春理工大学学报（自然科学版）》 2023年第5期19-25,共7页
偏振分光镜作为核心光学元件,在液晶显示和投影系统中得到广泛应用。其性能的优劣直接影响图像的质量和光能的利用率,其中,光源的入射角度对偏振分光镜的性能影响很大。依据偏振分光镜的设计原理,对倾斜入射时S、P分量的反射带宽展开研... 偏振分光镜作为核心光学元件,在液晶显示和投影系统中得到广泛应用。其性能的优劣直接影响图像的质量和光能的利用率,其中,光源的入射角度对偏振分光镜的性能影响很大。依据偏振分光镜的设计原理,对倾斜入射时S、P分量的反射带宽展开研究,通过对偏振分光镜影响因素的分析,针对大角度入射的问题,选取与基底匹配的高低折射率材料,并采用针插法改变等效折射率和相位,设计并制备了偏振分光镜,实现440~650 nm范围内,光源为平行光时,消光比大于1000∶1,且光源的发散角度在-10°~+10°范围内,S光平均反射率小于1%,P光平均透过率大于80%。 展开更多
关键词 偏振分光镜 大角度 高消光比 反射带宽 偏振分光膜
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离子束溅射Lan-WDM滤光膜膜厚均匀性的研究
3
作者 齐双阳 刘冬梅 +2 位作者 朱忠尧 张于帅 韩克旭 《长春理工大学学报（自然科学版）》 2023年第2期25-31,共7页
光通信Lan-WDM滤光膜采用离子束溅射(IBS)沉积制备时,由于膜厚分布不均匀会导致光谱中心波长的漂移,影响有效镀膜区域。分析了离子束溅射膜厚分布特点,根据Ove Lyngnes提出的膜厚均匀性修正模型,通过修正Mask挡板来改善Ta_(2)O_(5)、SiO... 光通信Lan-WDM滤光膜采用离子束溅射(IBS)沉积制备时,由于膜厚分布不均匀会导致光谱中心波长的漂移,影响有效镀膜区域。分析了离子束溅射膜厚分布特点,根据Ove Lyngnes提出的膜厚均匀性修正模型,通过修正Mask挡板来改善Ta_(2)O_(5)、SiO_(2)的膜厚均匀性。经过多次修正Mask实验,最终在12英寸的基板上,分别将Ta_(2)O_(5)和SiO_(2)的主Mask挡板在径向方向每一点膜厚均匀性修到小于0.1%;辅Mask挡板将内圈和外圈的膜厚均匀性修到大于1.5%,且呈线性关系。制备中心波长分别为1 295.56 nm、1 300.05 nm、1 304.58 nm、1 309.14 nm的Lan-WDM(细波分复用)滤光膜,测得光谱透射率有效镀膜区面积相比原来分别增大了2.01倍、2.20倍、2.25倍、2.04倍,提高了滤光膜的生产效率。 展开更多
关键词 薄膜 离子束溅射 膜厚均匀性 修正挡板 窄带滤光片
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大角度双波段探测成像分光器件的研制 被引量：2
4
作者 付秀华 刘瑞奇 +4 位作者 朱忠尧 韩克旭 王奔 刘俊岐 刘海成 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第14期63-70,共8页
在微光夜视与红外成像融合的光学系统中,光通过55°放置的分光镜分成两束光,其中反射光被微光探测器接收进行微光夜视成像,透射光被红外探测器接收进行红外成像,通过图像融合技术来提高系统的成像分辨率。针对分光镜的参数要求,笔... 在微光夜视与红外成像融合的光学系统中,光通过55°放置的分光镜分成两束光,其中反射光被微光探测器接收进行微光夜视成像,透射光被红外探测器接收进行红外成像,通过图像融合技术来提高系统的成像分辨率。针对分光镜的参数要求,笔者选用Ge、ZnS和YbF3作为沉积材料,采用离子源辅助沉积技术在多光谱ZnS基底上制备了0.6~0.9μm波段高反、3.7~4.8μm波段高透的分光膜。通过对膜系结构的优化以及沉积工艺参数的调整,解决了膜层牢固度和面形精度等问题,实现了0.6~0.9μm波段反射率为90.77%、3.7~4.8μm波段透射率为91.15%的分光指标。附着力测试、摩擦力测试、高低温测试、恒温恒湿测试结果显示所制备的双面膜可以满足使用要求,但该膜的短波反射率和长波透过率仍有一定的提升空间。 展开更多
关键词 光学器件 分光镜 微光夜视 中波红外成像 面形精度
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