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高效气体净化过滤器
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作者 邱明三 《低温与特气》 CAS 1986年第1期13-15,共3页
用过滤器除掉气体中的尘埃微粒，国内、外巳得到普遍推广应用。近十多年来，集成电路技术发展相当迅速，集成度愈来愈高，功能愈来愈多，构造愈来愈复杂，线条宽度愈来愈细，加工制造愈来愈难。气体中的尘埃微粒对集成电路的质量及成品... 用过滤器除掉气体中的尘埃微粒，国内、外巳得到普遍推广应用。近十多年来，集成电路技术发展相当迅速，集成度愈来愈高，功能愈来愈多，构造愈来愈复杂，线条宽度愈来愈细，加工制造愈来愈难。气体中的尘埃微粒对集成电路的质量及成品率有极大的影响，严重者会导致整个电路报废。 展开更多
关键词 过滤器 气体净化 高效 集成电路技术 推广应用 线条宽度 加工制造 集成度 极大的 成品率 微粒 尘埃
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