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硅 SIMOX 单模脊形光波导研制 被引量:5
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作者 潘姬 谭雁 +2 位作者 栗国星 赵鸿麟 杨恩泽 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 1994年第2期115-118,共4页
本文描述硅光波导技术的重大突破:(1)用SIMOX技术代替传统的硅外延型光波导,解决了衬底吸收光波.从而显著改善了光波导的传播损耗.(2)在理论及实验上均已解决用调整脊形的高宽比(高宽均能达10微米左右),制取单模脊... 本文描述硅光波导技术的重大突破:(1)用SIMOX技术代替传统的硅外延型光波导,解决了衬底吸收光波.从而显著改善了光波导的传播损耗.(2)在理论及实验上均已解决用调整脊形的高宽比(高宽均能达10微米左右),制取单模脊形光波导.这种光波导的下覆盖层是SiO2,传播损耗小;断面积大,和单模光纤耦合良好.满足了光集成技术中对光波导的几项重要要求. 展开更多
关键词 光波导 研制 SIMOX技术 硅光波导
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Monte Carlo法模拟亚微米GaAs MESFET直流特性 被引量:3
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作者 赵鸿麟 李斌桥 陈弘达 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 1991年第4期211-217,共7页
用 Monte Carlo法模拟了亚微米 GaAs MESFET的直流特性.不同栅压下源漏电流与源漏电压的关系表明,器件具有较高的跨导.在栅下沟道区和栅漏之间的区域均有较强的电场,使得大量的电子在漏区进入能量较高的X带能谷.电子浓度的分布表明,电... 用 Monte Carlo法模拟了亚微米 GaAs MESFET的直流特性.不同栅压下源漏电流与源漏电压的关系表明,器件具有较高的跨导.在栅下沟道区和栅漏之间的区域均有较强的电场,使得大量的电子在漏区进入能量较高的X带能谷.电子浓度的分布表明,电子的过冲过程主要发生在栅下沟道区,因而,在这一区域,电子的平均漂移速度较高.但在漏区由于电子处于有效质量大的X带能谷中,因此,在这一区域内,电子的平均漂移速度降低. 展开更多
关键词 GAAS MESFET 蒙特卡罗法 直流特性
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全硅大断面脊形光波导传播特性的理论分析及实验结果 被引量:3
3
作者 潘姬 赵鸿麟 杨恩泽 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 1994年第1期91-95,共5页
对当前硅光集成的研究焦点-制备大断面单模脊形光波导的单模条件,用有效折射率法进行分析,也计算了传播常数等性能参数。结果表明,有效折射率法有方法简明、结论确切的优点。它能同时给出单模区、多模区及截止区的条件,已有效指导... 对当前硅光集成的研究焦点-制备大断面单模脊形光波导的单模条件,用有效折射率法进行分析,也计算了传播常数等性能参数。结果表明,有效折射率法有方法简明、结论确切的优点。它能同时给出单模区、多模区及截止区的条件,已有效指导了SIMOX及n/n+外延型两种单模脊形硅光波导的制备。文中最后给出了实验结果。 展开更多
关键词 硅光波导 硅光集成 光波导 传播
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锗硅脊形光波导Y分支器的模拟及试制 被引量:2
4
作者 潘姬 赵鸿麟 杨恩泽 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 1995年第1期62-66,共5页
继研制成功单模脊形锗硅合金光波导后,进一步用这种光波导试制Y分支器.文中用束传播法BPM首先从理论上分析了波长λ=1.3μm的光波在分支器中的传播特性,模拟计算了模场的传播及损耗.其次叙述了实际锗硅Y分支器的制造工艺... 继研制成功单模脊形锗硅合金光波导后,进一步用这种光波导试制Y分支器.文中用束传播法BPM首先从理论上分析了波长λ=1.3μm的光波在分支器中的传播特性,模拟计算了模场的传播及损耗.其次叙述了实际锗硅Y分支器的制造工艺及测量结果.结果表明,激光束耦合进锗硅分支器的输入端后,分支器的二路输出端成功输出均匀的单模光波. 展开更多
关键词 光波导 Y分支器 锗硅合金 模拟
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硅单模脊形光波导的三维模拟及实测结果 被引量:1
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作者 潘姬 赵鸿麟 杨恩泽 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 1995年第1期84-88,共5页
对当前硅光集成技术的热点、制备大断面低传播损耗单模脊形光波导进行了三维理论模拟设计。脊的上覆盖层是空气(大折射率台阶,非对称情况)或纯硅层(对称情况),均能得到符合实际的模拟结果。改变脊形光波导的高宽几何尺寸或折射率... 对当前硅光集成技术的热点、制备大断面低传播损耗单模脊形光波导进行了三维理论模拟设计。脊的上覆盖层是空气(大折射率台阶,非对称情况)或纯硅层(对称情况),均能得到符合实际的模拟结果。改变脊形光波导的高宽几何尺寸或折射率分布值,模拟结果呈现单模、双模或更高阶模的电场分布及光强分布。用相应条件指导硅脊形光波导的实际制备,实测结果表明模拟结果是准确的。 展开更多
关键词 硅光波导 硅光集成 三维模拟
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Si亚微米MESFET的Monte Carlo法模拟
6
作者 赵鸿麟 战长青 潘姬 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1994年第2期1-7,共7页
本文是继用MonteCarlo法模拟GaAs亚微米器件后,进一步用该法模拟Si亚微米MESFET。文中除了处理Si和GaAs散射机制不同外,在模拟方法上有重要进步:用FFT(FastFourierTransforma... 本文是继用MonteCarlo法模拟GaAs亚微米器件后,进一步用该法模拟Si亚微米MESFET。文中除了处理Si和GaAs散射机制不同外,在模拟方法上有重要进步:用FFT(FastFourierTransformation)代替迭代法,加速解Poisson方程过程;用快速自散射代替常规自散射,压缩计算无用自散射时间。这些进步相当程度地克服MonteCarlo微粒模拟法费机时的固有缺点。模拟得到的形象且合理的结果,给出亚微米栅长时SiMESFET的性能。 展开更多
关键词 亚微米器件 蒙特卡罗法 MESFET
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离子注入吸杂技术中杂质的转移
7
作者 赵鸿麟 潘姬 曾宏 《天津大学学报》 EI CAS CSCD 1989年第4期99-104,共6页
研究了高剂量(7.5×10^(15))氩离子注入硅片背面的吸杂效应;吸杂效果由npn晶体管的漏电流,Iceo的降低得到证实;分别用SIMS及DLTS法测量吸杂前后杂质分布的变化。结果表明,Fe、Cr及Au等重金属杂质经吸杂处理后有效地从硅片正面的有... 研究了高剂量(7.5×10^(15))氩离子注入硅片背面的吸杂效应;吸杂效果由npn晶体管的漏电流,Iceo的降低得到证实;分别用SIMS及DLTS法测量吸杂前后杂质分布的变化。结果表明,Fe、Cr及Au等重金属杂质经吸杂处理后有效地从硅片正面的有源区转移到背面的损伤区,揭示了吸杂的实际过程。 展开更多
关键词 离子注入技术 离子注入吸杂 杂质
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半导体器件Poisson方程数值解法的比较及改进 被引量:1
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作者 赵鸿麟 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 1990年第2期164-171,共8页
本文对半导体器件物理计算机模拟中非线性Poiccon方程的主要数值法——有限差分、有限元Newton法及Mayergoyz法进行了比较.计算结果表明Mayergoyz法具有编程简单、节省计算机贮存单元及收敛性好的优点,但运算速度随离散点增加而显著变慢... 本文对半导体器件物理计算机模拟中非线性Poiccon方程的主要数值法——有限差分、有限元Newton法及Mayergoyz法进行了比较.计算结果表明Mayergoyz法具有编程简单、节省计算机贮存单元及收敛性好的优点,但运算速度随离散点增加而显著变慢.本研究将该法和SOR法结合起来,克服了上述缺点. 展开更多
关键词 半导体器件 POISSON方程 数值解法
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MOS晶体管V_T成品率与沟道长度的关系
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作者 赵鸿麟 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1990年第6期102-103,共2页
本文用Monte Carlo法模拟计算短沟MOSFET阈值电压V_T的成品率。当沟道变短,由于短沟道效应产品的V_T值变得更加分散。此外,当沟道长度L进入亚微米区,源漏的耗尽区可能在沟道中相接或重迭而使沟道消失。上述二个原因使V_T的成品率下降。
关键词 MOS晶体管 VT成品率 沟道长度
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硅衬底上锗硅合金光波导的研制 被引量:7
10
作者 潘姬 赵鸿麟 +2 位作者 杨恩泽 李德杰 吴伯瑜 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1994年第6期603-607,共5页
报道锗硅合金在λ=1.3μm的脊形单模光波导的设计、工艺及测量结果.这种光波导的传播损耗已达0.7dB/cm.脊形的高4~8μm,宽8~12μm,均和单模光纤芯径相当.此外,其数值孔径在光波导的输入、输出端均能和单模... 报道锗硅合金在λ=1.3μm的脊形单模光波导的设计、工艺及测量结果.这种光波导的传播损耗已达0.7dB/cm.脊形的高4~8μm,宽8~12μm,均和单模光纤芯径相当.此外,其数值孔径在光波导的输入、输出端均能和单模光纤匹配,它已满足硅光集成对光波导的要求.文中最后报道了用这种锗硅合金光波导试制Y分支器,并观察到二支分路输出的单模光斑. 展开更多
关键词 硅光集成 光波导 锗硅合金
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硅光波导的束传播法设计及制备 被引量:3
11
作者 潘姬 赵鸿麟 杨恩泽 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1995年第3期337-341,共5页
报道用束传播法(PropagatingBeamMethod)模拟设计、指导硅大断面单模脊形光波导的制备工艺。应用傅里叶交换法计算了硅光波导中导模的传播常数。对实际研制成功的SIMOX及Si/GexSi1-x/Si单模... 报道用束传播法(PropagatingBeamMethod)模拟设计、指导硅大断面单模脊形光波导的制备工艺。应用傅里叶交换法计算了硅光波导中导模的传播常数。对实际研制成功的SIMOX及Si/GexSi1-x/Si单模脊形光波导,比较了其性能差异并给予理论解释。 展开更多
关键词 光波导 束传播法 设计 制备
原文传递
GeSi合金1×4Y级联分束器的有限差分束传播法模拟设计 被引量:1
12
作者 赵鸿麟 潘姬 +1 位作者 潘善臻 杨恩泽 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1996年第8期1114-1117,共4页
进一步研究二个问题:(1)理论模拟的方法由快速傅里叶束传播法(FFT-BPM)改为有限差分束传播法(FD-BPM),并比较了两者的优缺点。(2)模拟设计了对象提高为由GeSi合金单模脊形光波导组成的Y级联1×4光... 进一步研究二个问题:(1)理论模拟的方法由快速傅里叶束传播法(FFT-BPM)改为有限差分束传播法(FD-BPM),并比较了两者的优缺点。(2)模拟设计了对象提高为由GeSi合金单模脊形光波导组成的Y级联1×4光分束器。结果表明,有限差分束传播法比快速傅里叶束传播法及显形有限差分束传播法(EFD-BPM),除了数学比较容易外,计算速度也快一些。尤其是对传播步长Δz的敏感性,有限差分束传播法远没有快速傅里叶束传播法那样严重,便利了束传播法方法的采用。正如束传播法成功地应用于GeSi合金光波导及Y分支器的理论设计,现在用了1×4Y级联分束器同样得到预想的结果。光束在分束器中传播逐步分成二束再分为四束。符合设计要求。 展开更多
关键词 硅光集成 光分束器 束传播法 锗硅合金 光波导
原文传递
打开共性技术演进的黑箱——来自中国本土创新者的经验与启示
13
作者 孙喜 赵鸿麟 +1 位作者 刘玉妍 何西杰 《创新与创业管理》 2024年第2期38-64,共27页
通过六个中国本土案例分析了共性技术从涌现到商品化直至扩散的演进过程。案例研究表明,共性技术源于一个满足特定需求的自主开发过程。我们将这个“自主开发在前、共性技术在后”的逻辑称为“事后发现”逻辑。在此基础上,我们讨论了科... 通过六个中国本土案例分析了共性技术从涌现到商品化直至扩散的演进过程。案例研究表明,共性技术源于一个满足特定需求的自主开发过程。我们将这个“自主开发在前、共性技术在后”的逻辑称为“事后发现”逻辑。在此基础上,我们讨论了科学原理在共性技术开发过程中发挥作用的方式,以及技术扩散过程中商业性和社会性因素所扮演的角色。以“事后发现”逻辑为切入点理解共性技术演进,为我们思考和设计技术与创新政策提供了新的视角,文章最后就此进行了讨论。 展开更多
关键词 共性技术 事后发现 产品开发 社会技术 重新组合
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硅衬底上锗硅合金光波导设计及工艺的优化考虑
14
作者 赵鸿麟 潘姬 +3 位作者 冯健 杨恩泽 李德杰 吴伯瑜 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1996年第5期688-691,共4页
报道用射频加热化学汽相沉积法制备Si/GeSi/Si大断面单模脊形光波导中设计和工艺的进一步完善。GeSi合金层中Ge的含量x要满足脊形光波导是单模、光波导的数值、孔径接近单模光纤值、脊高小于临界厚度值等,计算表明兼... 报道用射频加热化学汽相沉积法制备Si/GeSi/Si大断面单模脊形光波导中设计和工艺的进一步完善。GeSi合金层中Ge的含量x要满足脊形光波导是单模、光波导的数值、孔径接近单模光纤值、脊高小于临界厚度值等,计算表明兼顾上述三项要求应取x=1~3%;脊的高与宽受大断面及单模的制约。Si的晶体结构使脊的二个腐蚀侧壁是斜坡,为此起始脊宽取5~6μm为宜;腐蚀液、抛光液的选取要保证脊侧壁及波导端面的优良镜面。上述设计及工艺优化使光波导的实测性能显著提高,离散性降低。最佳传播损耗已降到0.3dB/cm。 展开更多
关键词 光波导 化学汽相沉积 锗硅合金
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