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纳秒/皮秒激光加工CaSiO_(3) LTCC的可行性对比研究
1
作者 谢明君 韦佳伟 +2 位作者 肖何 赵俊熠 陈妮 《工具技术》 北大核心 2024年第12期10-17,共8页
围绕硅酸钙低温共烧陶瓷叠层基板难加工的问题,对比纳秒和皮秒激光加工对CaSiO_(3) LTCC的影响、激光作用后的成分以及不同激光参数下CaSiO_(3) LTCC的烧蚀特性,通过硬度变化评价两种激光加工的可行性。结果表明:两种激光加工后的区域... 围绕硅酸钙低温共烧陶瓷叠层基板难加工的问题,对比纳秒和皮秒激光加工对CaSiO_(3) LTCC的影响、激光作用后的成分以及不同激光参数下CaSiO_(3) LTCC的烧蚀特性,通过硬度变化评价两种激光加工的可行性。结果表明:两种激光加工后的区域皆呈现出粉末层及重铸层的叠加,重铸层产物均为CaSiO_(3),皮秒激光加工后的形貌优于纳秒加工后的形貌;纳秒和皮秒的烧蚀深度分别在97.2~442.6μm和161.7~461.7μm范围内,随激光功率的增加以及速度和填充间距的减小,烧蚀深度基本呈线性增加的趋势,激光功率是影响烧蚀深度的主要因素;皮秒激光作用后的表面粗糙度整体比纳秒激光更低,化学铣切后最小可达6.41μm;纳秒作用后表面热影响区硬度分别下降72.0%~77.2%,较皮秒激光加工更利于后续机加工处理。 展开更多
关键词 纳秒激光 皮秒激光 CaSiO_(3)LTCC 粗糙度 维氏硬度
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氮化铝基板嵌入式微流道设计及激光刻蚀研究 被引量：1
2
作者 马预谱 魏涛 +5 位作者 王力 赵俊熠 张鑫磊 陈妮 李亮 何宁 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第20期2496-2503,共8页
氮化铝(AlN)高温共烧陶瓷(HTCC)基板具有热导率高、热稳定性好等优点,在氮化铝基板中嵌入微流道可以大幅提高散热能力并减小封装厚度,但小尺寸、硬脆性氮化铝微流道精密加工难度较高。基于某阵列功率器件的散热需求,开展了氮化铝嵌入式... 氮化铝(AlN)高温共烧陶瓷(HTCC)基板具有热导率高、热稳定性好等优点,在氮化铝基板中嵌入微流道可以大幅提高散热能力并减小封装厚度,但小尺寸、硬脆性氮化铝微流道精密加工难度较高。基于某阵列功率器件的散热需求,开展了氮化铝嵌入式微流道设计研究;为解决氮化铝陶瓷基板微流道加工难题,开展激光刻蚀氮化铝陶瓷工艺研究,探索氮化铝陶瓷基板的线刻蚀阈值及激光参数对线刻蚀槽尺寸和形貌的影响规律,并提出了激光与化学铣切的复合加工方法。实验结果表明:线刻蚀中激光刻蚀的功率阈值与扫描速度成正相关;随着激光功率的增大,线刻蚀槽宽度将大于光斑直径,会造成过度加工;激光与化学铣切复合加工得到的微流道结构尺寸精度误差均小于50μm,表面粗糙度可以达到5.6μm。 展开更多
关键词 氮化铝 高温共烧陶瓷基板 微流道 激光加工 化学铣切 激光功率 扫描速度
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BIM技术在建筑工程建设管理中的实践分析
3
作者 赵俊熠 《中文科技期刊数据库(文摘版)工程技术》 2018年第7期00076-00077,共2页
近年来,BIM技术在建筑工程领域中的应用愈发广泛,能够有效提高建筑效率,BIM技术作为伴随着我国信息化产业进步的一种高科技技术,能在较大程度上对我国建筑行业工程项目管理效率进行相关c的提高,这一技术的出现,不仅为建筑行业的发展提... 近年来,BIM技术在建筑工程领域中的应用愈发广泛,能够有效提高建筑效率,BIM技术作为伴随着我国信息化产业进步的一种高科技技术,能在较大程度上对我国建筑行业工程项目管理效率进行相关c的提高,这一技术的出现,不仅为建筑行业的发展提供了信息技术的支持,还完美的实现了建筑信息的快速传递与共享,本文就重点围绕着BIM技术在当前建筑工程管理中的有效应用进行了简要分析论述。 展开更多
关键词 BIM技术 建筑工程 管理 措施
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