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题名LPCVD制备二氧化硅薄膜工艺中防颗粒污染技术
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作者
樊坤
黄志海
王理正
王志伟
苏子懿
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机构
中国电子科技集团公司第四十八研究所
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出处
《电子工艺技术》
2025年第2期52-55,共4页
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文摘
二氧化硅(SiO_(2))薄膜制备作为集成电路制造工艺中重要的一个步骤,在芯片的制造过程中具有多种用途,但易受颗粒污染造成产品不良。对采用TEOS源LPCVD法沉积SiO_(2)膜颗粒污染的方法进行了探索,设计了一种用于防颗粒污染的机构,该机构主要包括微环境系统和温度控制系统,重点介绍了立式LPCVD设备工艺颗粒来源、微环境系统和温度控制系统结构组成,以及微环境系统和温度控制系统的应用效果。
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关键词
半导体
CVD
温度控制
微环境
颗粒污染
二氧化硅
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Keywords
semiconductor
CVD
temperature control
micro-environmental
particle
SiO_(2)
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分类号
TN305
[电子电信—物理电子学]
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题名康复用下肢外骨骼结构设计与仿真
被引量：3
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作者
张峻霞
李威
张遵浩
苏子懿
苏海龙
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机构
天津市轻工与食品工程机械装备集成设计与在线监控重点实验室天津科技大学机械工程学院
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出处
《天津科技大学学报》
CAS
2019年第1期59-63,共5页
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基金
天津市科技支撑计划资助项目(14ZCZDSY00010)
天津市自然科学基金重点资助项目(16JCZDJC35900)
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文摘
针对现有康复用下肢外骨骼普遍质量偏重,人机协调性较差的问题,根据人体行走步态特征设计了一套康复用下肢外骨骼.选用伺服电机和滚珠丝杠的直线执行机构,运动方式更接近于人体下肢骨骼运动;大量使用碳纤维和航空铝材料,降低了装置的质量;设计无级可调结构,保证了人机协调性.动力学仿真表明,人体穿戴该装置后,能够按照正常的步态完成行走过程,该装置的设计合理.
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关键词
下肢外骨骼
轻量化
仿真
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Keywords
lower limb exoskeleton
light weight
simulation
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分类号
TH112
[机械工程—机械设计及理论]
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题名不同路况对人体下肢肌肉特征参数的影响
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作者
刘琪
苏子懿
张峻霞
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机构
天津市轻工与食品工程机械装备集成设计与在线监控重点实验室
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出处
《天津科技大学学报》
CAS
2020年第5期66-73,共8页
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基金
国家级大学生创新创业训练计划资助项目(201810057186)
高等学校博士学科点专项科研基金资助项目(20131208110005)。
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文摘
提高医疗康复辅具的智能化水平能够明显改善老年人等弱势群体的运动步态及肢体运动能力,以及增强他们的自理能力、社会参与能力.因此,有效地获取人体在不同运动模式下的步态信息并将其应用在智能动作辅助系统控制系统的设计上是目前需要解决的重要问题.肌电信号能够很好地反映人体在运动时的肌肉活动状态和功能状态,本文针对不同路况下人体下肢肌肉的表面肌电信号进行一系列实验研究.通过比较人体下肢主要肌肉群的特征参数,得出人体下肢存在优势侧和非优势侧的结论,且不同路况下的这种差别是不同的.此外,本研究还通过分析不同路况下行走时人体下肢4组主要肌肉群(股内侧肌(VMO)、胫骨前肌(TIB)、半腱肌(SEM)和腓肠内肌(MED))的特征参数变化,得知双下肢的肌肉特征参数随路况的变化而变化的具体参数特点.本研究揭示了在不同路况下行走时人体下肢主要肌群的活动状态和变化特征,可为有行走功能障碍的患者及老年人的医疗诊断、康复训练及康复评定提供依据,同时也为双足机器人/智能助行器的优化设计奠定了基础.
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关键词
路况
表面肌电信号
下肢肌群
特征参数
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Keywords
terrains
surface-EMG
lower limb muscle groups
characteristic parameter
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分类号
R318.01
[医药卫生—生物医学工程]
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题名江宁“打神鼓”
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作者
苏子懿
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出处
《江苏地方志》
2013年第1期27-27,共1页
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文摘
江宁民间习俗比较多，其中“打神鼓”习俗由来已久。据江宁街道现年84岁的陈彬老人回忆，他10多岁时，也就是20世纪三四十年代在江宁街道一带就盛行打神鼓的习俗，并有一本专门介绍打神鼓的书（现已失传）。每年春节，从农历正月十三到正月十八为打神鼓的日子．此外的日子神鼓寄放在当地的土地庙里。正月十三上灯，按照上一年排好的顺序有一人家接灯，从土地庙接回神鼓主持操办。上灯这天，吃罢晚饭开始打神鼓，打神鼓一般有三五人组成，凭着借用的汽油灯照明，依次到百姓家打神鼓，打鼓时又念又唱，一家一家的接着传唱。打神鼓的歌词词义主要是倡导人们行善事、做好事，也就是积德行善，每到这个时候附近观看群众比较多，显得非常喜气热闹。
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关键词
江宁
20世纪三四十年代
民间习俗
积德行善
街道
土地
岁时
春节
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分类号
K892.1
[历史地理—民俗学]
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题名概况类目编撰谈
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作者
苏子懿
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出处
《江苏地方志》
2004年第S1期127-,共1页
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文摘
编纂地方综合年鉴,有个不容忽视的问题,就是要精心编好常项类目"概况",这对提高年鉴质量、打造年鉴品牌至关重要。地方综合年鉴中的"概况"类目标题各地提法不一,也有称之为概貌、概要、概览或综述的。尽管提法不同,但都是对一地情况的大概介绍,都是作为特定类目来设计的。如何在"概况"类目编撰中做到全面、准确介绍地情,反映时代特征,彰显地方特色,我认为应侧重把握几点。
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关键词
类目
提法
常项
志目
地方综合年鉴
社会经济发展
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分类号
K29
[历史地理—中国史]
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题名浅谈地方综合年鉴的“越境之书”
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作者
苏子懿
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机构
南京市江宁区地方志办公室
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出处
《年鉴信息与研究》
2005年第5期45-46,3,共2页
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文摘
南京市江宁区地方志办公室苏子懿《浅谈地方综合年鉴的“越境之书”》一文，结合自身编纂工作实践，论述了“越境之书”的基本内涵、主要属性、反映内容及服务作用。
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关键词
地方综合年鉴
越境
年鉴编纂工作
可持续发展
打造品牌
年鉴事业
服务功能
超越自我
新课题
工作者
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分类号
G237.4
[文化科学]
E254
[军事—军事理论]
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题名行政区划调整修志模式及其他
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作者
傅景贤
苏子懿
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出处
《江苏地方志》
2007年第6期15-17,共3页
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文摘
改革开放近30年，在城市化进程中，农村城镇化、城乡一体化发展加速推进，一大批新型小城镇如雨后春笋般崛起，催生了现代城市规模的扩大和发展，根据区域经济社会发展，国家、省、市、县（区）相应对所辖政区作出重大行政区划调整。江苏省的县（区）以下乡镇行政区划调整频繁就是其反映之一。比较常见的乡镇撤并，总的来说是乡的建置少了，镇多了；或者乡、镇都少了，新建的街道多了。以南京江宁区为例，原有9个街道办事处、11个镇，2006年3月调整为7个街道办事处、2个镇。昔日的村民，一跃而为城镇的市民，不少村委会随之也变成社区居委会。
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关键词
乡镇行政区划调整
街道办事处
城乡一体化发展
农村城镇化
整修
经济社会发展
城市化进程
社区居委会
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分类号
F326.2
[经济管理—产业经济]
D630.1
[政治法律—中外政治制度]
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题名试论科学执政要义
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作者
苏子懿
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机构
南京市江宁区委党史工作办公室
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出处
《上海党史与党建》
2005年第9期35-37,共3页
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关键词
科学执政
领导方式
执政能力
中国共产党
马克思主义
自身建设
科学发展观
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分类号
D25
[政治法律—中共党史]
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