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大尺寸二维氧化镓的制备及性能研究
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作者 赵晓辉 艾则麦提江·阿力木江 +5 位作者 武素梅 温阳 高航 张广硕 李梦阳 梁瑶 《功能材料与器件学报》 CAS 2024年第3期140-145,共6页
二维宽禁带材料在制作下一代新型电子器件上能发挥重要作用,宽禁带的氧化镓晶体具有非层状结构,难以通过机械剥离等传统方法制成二维材料,二维超薄氧化镓的制备和性能研究很有限。本文利用挤压液态金属镓的方法成功制成大尺寸超薄氧化镓... 二维宽禁带材料在制作下一代新型电子器件上能发挥重要作用,宽禁带的氧化镓晶体具有非层状结构,难以通过机械剥离等传统方法制成二维材料,二维超薄氧化镓的制备和性能研究很有限。本文利用挤压液态金属镓的方法成功制成大尺寸超薄氧化镓膜,膜的横向尺寸在厘米量级,厚度在~5.6 nm。选用适当大小的液态金属镓能改善二维氧化镓膜的均匀性和边缘规则性,通过按压多个液态金属镓滴可以实现更大面积二维氧化镓膜的制备。通过透射电镜和拉曼光谱检测结果可以确认制备的材料是非晶的Ga_(2)O_(3)膜。电学检测结果说明通过超声清洗可以去除二维氧化镓表面残留金属镓,实现提高材料绝缘性能的目的,这也说明制备的二维氧化镓在光传感器和需要绝缘材料的电学器件中能发挥重要作用。 展开更多
关键词 二维氧化镓 挤压液态金属法 电学性能
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