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单晶炉保温与热屏优化的数值模拟与改造 被引量：6
1
作者 耿博耘 刘锋 韩焕鹏 《电子工业专用设备》 2014年第8期20-24,共5页
改进CG6000型单晶炉的热场,增加下保温碳毡和上保温罩,改一段式导流筒为三段式导流筒。通过CGsim模拟软件的晶体生长模拟,对比了改进前与改进后的热场,模拟分析指出改进后热场加热功率降低,熔体温场改善,晶体﹑熔体轴向的温度梯度均升高... 改进CG6000型单晶炉的热场,增加下保温碳毡和上保温罩,改一段式导流筒为三段式导流筒。通过CGsim模拟软件的晶体生长模拟,对比了改进前与改进后的热场,模拟分析指出改进后热场加热功率降低,熔体温场改善,晶体﹑熔体轴向的温度梯度均升高,拉晶速率提升。通过单晶生长实验,验证了热场功率的降低和等径拉速的提高,改善在等径生长的后期更为明显。 展开更多
关键词 直拉单晶炉改造 三段式导流筒 保温碳毡 保温罩 数值模拟
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直拉单晶炉减薄型加热器的数值模拟与实验分析 被引量：8
2
作者 耿博耘 韩焕鹏 《电子工业专用设备》 2015年第3期26-31,共6页
在直拉单晶炉中使用一种减薄型加热器替代原加热器,改变了单晶炉的热场温度分布。通过有限元模拟分析软件对减薄型加热器进行模拟分析,模拟结果指出减薄型加热器对提升单晶拉速、降低单晶炉功耗具有促进作用。通过对比两种加热器装料量... 在直拉单晶炉中使用一种减薄型加热器替代原加热器,改变了单晶炉的热场温度分布。通过有限元模拟分析软件对减薄型加热器进行模拟分析,模拟结果指出减薄型加热器对提升单晶拉速、降低单晶炉功耗具有促进作用。通过对比两种加热器装料量,并进行单晶生长对比实验,实验指出,减薄型加热器在引晶、等径、收尾阶段均降低了功耗,提升了拉速。最后,数据分析指出减薄型加热器的经济性比原加热器有一定提升。 展开更多
关键词 减薄型加热器 数值模拟 对比性实验 经济性分析
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基于PERL技术的硅基PIN光电二极管的设计与仿真
3
作者 耿博耘 刘锋 +1 位作者 吕菲 韩焕鹏 《光电子技术》 CAS 北大核心 2012年第3期160-165,共6页
缺乏高质量的硅光电接受器件一直制约着全硅光电子回路的发展。分析讨论了PERL太阳能电池的高效光电特性技术,并将其应用于硅光电二极管,设计了一种高响应度,高截止频率的硅基PIN光电二极管的器件结构,说明了该结构的技术特点与制备工... 缺乏高质量的硅光电接受器件一直制约着全硅光电子回路的发展。分析讨论了PERL太阳能电池的高效光电特性技术,并将其应用于硅光电二极管,设计了一种高响应度,高截止频率的硅基PIN光电二极管的器件结构,说明了该结构的技术特点与制备工艺。使用SUPREM-IV仿真器对该器件进行了模拟仿真,讨论了I层的长度与厚度对器件性能的影响。 展开更多
关键词 PERL技术 硅基PIN光电二极管 SUPREM-IV模拟仿真
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异型加热器在直拉硅单晶炉中的应用 被引量：6
4
作者 吕菲 耿博耘 《中国电子科学研究院学报》 北大核心 2015年第6期646-651,共6页
本文在直拉炉中使用异型加热器来替代普通加热器,通过有限元分析软件模拟分析,指出异型加热器增大了固液界面温度梯度,拉平了固液界面形状,同时也导致应力增大。单晶拉晶实验对比结果显示,使用异型加热器等径功率显著降低,拉晶速度明显... 本文在直拉炉中使用异型加热器来替代普通加热器,通过有限元分析软件模拟分析,指出异型加热器增大了固液界面温度梯度,拉平了固液界面形状,同时也导致应力增大。单晶拉晶实验对比结果显示,使用异型加热器等径功率显著降低,拉晶速度明显提高,并且功率与拉晶速率变化幅度变小,有利于等径状态的稳定化。 展开更多
关键词 异型加热器 数值模拟 对比性实验
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直拉重掺硼硅单晶的碱腐蚀特性研究 被引量：3
5
作者 吕菲 耿博耘 +2 位作者 于妍 杨洪星 刘锋 《电子工业专用设备》 2013年第9期5-7,13,共4页
直拉重掺硅硼单晶作为重要的外延衬底材料,具有其优越的特性。由于其硬度大,杂质含量高,在抛光片的加工过程中表现出腐蚀速率慢、表面均匀性差等特点,不利于硅片腐蚀减薄和抛光清洗等。研究了直拉重掺硅硼单晶的碱性腐蚀速率随腐蚀液温... 直拉重掺硅硼单晶作为重要的外延衬底材料,具有其优越的特性。由于其硬度大,杂质含量高,在抛光片的加工过程中表现出腐蚀速率慢、表面均匀性差等特点,不利于硅片腐蚀减薄和抛光清洗等。研究了直拉重掺硅硼单晶的碱性腐蚀速率随腐蚀液温度和浓度变化趋势,从直拉重掺硅硼单晶化学反应的微观角度解释了这种变化规律,在此基础上,研究了不同的添加剂对腐蚀速率和表面均匀性的影响,从理论和实验两方面证实了,在腐蚀液中加入碱性氧化剂有利于腐蚀速率的提高,并能有效改善硅片的表面均匀性。 展开更多
关键词 重掺硼硅单晶 腐蚀速率 表面均匀性
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辐射探测器用高纯锗单晶技术研究 被引量：4
6
作者 刘锋 耿博耘 韩焕鹏 《电子工业专用设备》 2012年第5期27-31,共5页
高纯锗单晶可以用作制备X射线辐射探测器。介绍了锗辐射探测器的研究现状与结构,论述了辐射探测器对高纯锗单晶的净杂质浓度、位错方面的要求。介绍了目前高纯锗生长主要的提纯方法和单晶生长方法,论述了以上这两种方法的主要技术特点。
关键词 高纯锗单晶 辐射探测器 锗提纯 单晶生长
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晶片定位原理与算法
7
作者 吕菲 耿博耘 +2 位作者 李春龙 莫宇 周传月 《电子工业专用设备》 2012年第1期47-49,共3页
在半导体材料的加工过程中,晶片的精确定位应用于多个工序,一方面能提高生产率,另一方面也能提高产品的一致性,保证晶片的加工精度。目前的定位方式分为两种,仅对电子定位系统加以介绍,针对不同的晶片轮廓采用不同的识别数据,介绍了数... 在半导体材料的加工过程中,晶片的精确定位应用于多个工序,一方面能提高生产率,另一方面也能提高产品的一致性,保证晶片的加工精度。目前的定位方式分为两种,仅对电子定位系统加以介绍,针对不同的晶片轮廓采用不同的识别数据,介绍了数据采集原理和数据特点,以及轮廓识别软件如何对数据进行分析和处理,最终实现对晶片的精确定位。 展开更多
关键词 晶片定位 数据采集 定位槽 参考面 数据分析
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区块链关键技术综述 被引量：2
8
作者 耿博耘 闫书明 王超 《信息系统工程》 2021年第10期93-97,共5页
区块链是互联网领域重要的价值传递技术,凭借着去中心化、不可篡改等特点,保证链上数据交易的可信、可靠。加密算法、共识算法、激励机制是区块链的关键技术,是区块链的“骨骼”“灵魂”和“燃料”。从区块链的发展、区块链的类型出发,... 区块链是互联网领域重要的价值传递技术,凭借着去中心化、不可篡改等特点,保证链上数据交易的可信、可靠。加密算法、共识算法、激励机制是区块链的关键技术,是区块链的“骨骼”“灵魂”和“燃料”。从区块链的发展、区块链的类型出发,阐述了哈希函数、非对称加密技术等加密算法的原理及其在区块链的应用,介绍了POW、POS、DPOS、PBFT、Paxos、Raft等共识算法的原理、优缺点及使用场景,讨论了公有链及联盟链各自使用的激励机制。 展开更多
关键词 区块链 加密算法 识算法 激励机制
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