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溶胶凝胶法对相玻璃转变行为的影响
1
作者 翁文剑 杜丕一 +1 位作者 徐利华 高加化 《陕西科技大学学报（自然科学版）》 1992年第3期54-58,共5页
本文分别采用溶胶凝胶法和常规法制备钠钙硅玻璃,液相温度和不混溶上限温度用光学显微镜和透射电镜进行测定。结果发现溶胶凝胶法(SGD)制备的玻璃液相温度比同组成的常规法(CD)制备的玻璃液相温度要高。对于组成落在介稳分相区的玻璃,... 本文分别采用溶胶凝胶法和常规法制备钠钙硅玻璃,液相温度和不混溶上限温度用光学显微镜和透射电镜进行测定。结果发现溶胶凝胶法(SGD)制备的玻璃液相温度比同组成的常规法(CD)制备的玻璃液相温度要高。对于组成落在介稳分相区的玻璃,溶胶凝胶法玻璃的不混溶上限温度要比相应的常规法玻璃高,而对于落在不稳分相区的玻璃则两种方法制备的玻璃具有相同的不混溶上限温度。该现象归迹于这两种不同方法制备的玻璃结构上稍有差别,即溶胶凝胶法制备的玻璃结构中含有较多的OH^-而导致的;这种结构上的差异引起了玻璃在析晶或分相期间的动力学和热力学上的不同。 展开更多
关键词 溶胶凝胶 液相温度 不混溶上限温度
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骨组织工程支架及生物材料研究 被引量：32
2
作者 方丽茹 翁文剑 +3 位作者 沈鸽 韩高荣 Santos JD 杜丕一 《生物医学工程学杂志》 EI CAS CSCD 2003年第1期148-152,共5页
组织工程的出现为人类治疗骨缺损提供了一种新的选择。在骨组织工程中 ,支架扮演着十分重要的角色。本文就骨组织工程用支架材料的性能要求。
关键词 骨组织工程支架 生物材料 微观结构 黏附 骨诱导性 骨引导性 生物降解速率
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湿化学制备陶瓷超细粉末
3
作者 翁文剑 徐利华 《佛山陶瓷》 1994年第2期43-45,共3页
一、引言高技术陶瓷常要求初始粉末具有高纯(>99.9％),粉末的化学组成均匀(最好能达到原子级水平),粉末颗粒小(亚微米、纳米)。化学组成均匀:有利于相应形成有利于陶瓷材料性能控制。粒度细:有利于致密化,提高力学性能,增强功能陶瓷... 一、引言高技术陶瓷常要求初始粉末具有高纯(>99.9％),粉末的化学组成均匀(最好能达到原子级水平),粉末颗粒小(亚微米、纳米)。化学组成均匀:有利于相应形成有利于陶瓷材料性能控制。粒度细:有利于致密化,提高力学性能,增强功能陶瓷的晶界效应。湿化学技术是制备高纯超细粉末有效手段之一,其制备粉末过程大致分为:先制备含有所需金属离子溶液,然后通过(1)在溶液中加入沉淀剂;(2)将溶液的溶剂挥发或萃取;(3)将溶液在高温高压下处理(水热法);(4)将溶液产生的溶胶凝胶过程(Sol—gel process)形成固相颗粒,再经干燥热处理即可获得所需粉末。 展开更多
关键词 陶瓷超细粉末 湿化学 制备 化学共沉淀法 水热性
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无碱铝硼硅系玻璃结构的红外光谱 被引量：27
4
作者 彭琳 赵高凌 +3 位作者 应浩 汪建勋 翁文剑 韩高荣 《硅酸盐学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第7期856-860,865,共6页
用熔融退火方法制备无碱SiO2-B2O3-Al2O3-RO(R=Mg,Ca,Sr,Ba)系玻璃。玻璃的成分范围以摩尔计为:SiO2,64.17%～70%;B2O3,7%～14.12%;Al2O3,9.88%～16.94%;RO总量,12%(2.4%MgO,4.8%CaO,2.4%SrO,2.4%BaO)。用Fourier变换红外光谱研究了上... 用熔融退火方法制备无碱SiO2-B2O3-Al2O3-RO(R=Mg,Ca,Sr,Ba)系玻璃。玻璃的成分范围以摩尔计为:SiO2,64.17%～70%;B2O3,7%～14.12%;Al2O3,9.88%～16.94%;RO总量,12%(2.4%MgO,4.8%CaO,2.4%SrO,2.4%BaO)。用Fourier变换红外光谱研究了上述玻璃系统结构随成分的变化规律,同时,对玻璃结构与热膨胀系数、密度等物理性质的关系也进行了研究。结果表明:在Al含量较高的铝硼硅系玻璃中,B更多的以[BO3]形态存在。随着SiO2和B2O3摩尔比的增大,[BO3]的量有所减少,而热膨胀系数呈增加趋势,密度出现极大值。随着Al2O3和B2O3摩尔比的增大,[BO3]的量出现极值,热膨胀系数也出现极值,密度总体趋势是增加的。铝硼硅系玻璃的热膨胀系数、密度等物理性质与玻璃结构密切相关。 展开更多
关键词 铝硼硅玻璃 Fourier变换红外 玻璃结构 热膨胀 密度
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喷雾热解法制备SnO_2:Sb透明导电薄膜 被引量：17
5
作者 张聚宝 侯春 +5 位作者 翁文剑 程逵 杜丕一 沈鸽 汪建勋 韩高荣 《硅酸盐学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第11期1063-1068,共6页
采用喷雾热解技术制备出了光电性能优良的SnO_2:Sb透明导电薄膜,对薄膜的结构特性、光电性质以及制备条件对薄膜性能的影响进行了研究。并进一步研究了喷雾热解法中薄膜的形成过程和工艺参数对薄膜微观结构和性能的影响。实验结果表明:... 采用喷雾热解技术制备出了光电性能优良的SnO_2:Sb透明导电薄膜,对薄膜的结构特性、光电性质以及制备条件对薄膜性能的影响进行了研究。并进一步研究了喷雾热解法中薄膜的形成过程和工艺参数对薄膜微观结构和性能的影响。实验结果表明:在Sb掺杂量为11％(摩尔分数)和基板温度为500℃的条件下,SnO_2:Sb薄膜具有最佳的光电性能,平均可见光透过率为82％,方块电阻达13.4Ω/□,电阻率为4.9×10^(-4)Ω·cm。 展开更多
关键词 透明导电薄膜 掺锑二氧化锡 喷雾热解 光电性能 SnO2:Sb
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硅掺杂和硅钒共掺杂对TiO_2光催化性能的影响 被引量：16
6
作者 李红 赵高凌 +4 位作者 刘琴华 翁文剑 杜丕一 沈鸽 韩高荣 《硅酸盐学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第6期784-788,共5页
采用溶胶凝胶法在玻璃表面制备了一定厚度(约120nm)的掺硅TiO2薄膜,在配制原始溶液时,所用钛酸四丁酯、正硅酸乙酯、乙醇、水和硝酸的摩尔比为1∶y∶25∶1∶0.2。用扫描电子显微镜观察其表面形貌,用X射线衍射表征其结构。以甲基橙溶液... 采用溶胶凝胶法在玻璃表面制备了一定厚度(约120nm)的掺硅TiO2薄膜,在配制原始溶液时,所用钛酸四丁酯、正硅酸乙酯、乙醇、水和硝酸的摩尔比为1∶y∶25∶1∶0.2。用扫描电子显微镜观察其表面形貌,用X射线衍射表征其结构。以甲基橙溶液为体系,考察掺杂后TiO2薄膜的光催化性能。结果表明:当y≤0.3时,随硅掺入量的增加,TiO2薄膜的光催化性能提高;当y>0.3时,硅的掺入使TiO2薄膜的光催化性能降低。另外,用相同方法制备了钒硅共掺杂的TiO2薄膜,发现钒硅共掺杂可以进一步提高TiO2的光催化性能。 展开更多
关键词 溶胶-凝胶法 二氧化钛薄膜 光催化 掺杂
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溶胶-凝胶法制备声表面波器件用Li∶ZnO薄膜 被引量：20
7
作者 丁卫华 翁文剑 +3 位作者 程逵 杜丕一 沈鸽 韩高荣 《硅酸盐学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第6期552-555,559,共5页
用溶胶凝胶法在玻璃载玻片上制备Li∶ZnO薄膜 ,涂膜采用旋涂法。薄膜通过二次涂膜而形成。用X射线衍射、原子力显微镜、扫描电镜和电阻仪表征和测量了薄膜的特性和性能。实验结果表明 :通过改变每层涂膜热处理的温度 ,可使Li∶ZnO薄膜... 用溶胶凝胶法在玻璃载玻片上制备Li∶ZnO薄膜 ,涂膜采用旋涂法。薄膜通过二次涂膜而形成。用X射线衍射、原子力显微镜、扫描电镜和电阻仪表征和测量了薄膜的特性和性能。实验结果表明 :通过改变每层涂膜热处理的温度 ,可使Li∶ZnO薄膜具有更好的c轴择优取向性、平整均匀、颗粒细小和高的薄膜电阻率 (≈ 10 7Ω·cm) ,这些性能可满足声表面波器件的使用要求。薄膜形成时每层采用不同成膜热处理温度可使薄膜有较好性能 。 展开更多
关键词 锂/氧化锌薄膜 溶胶-凝胶 C轴取向 声表面波器件
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复相陶瓷(0.5BaO0.5SrO)[(1-y)TiO_(2y)Nb_2O_5]的介电性能研究(英文) 被引量：10
8
作者 周宗辉 杜丕一 +2 位作者 翁文剑 韩高荣 沈鸽 《硅酸盐学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第9期1054-1059,共6页
通过对组成进行一定的过量控制,利用传统陶瓷工艺,成功制备了具有钙钛矿相钛酸锶钡固溶体和钨青铜相铌酸锶钡固溶体两相稳定共存的(0.5BaO0.5SrO)[(1-y)TiO2yNb2O5](BSTN)复相陶瓷。用RiguakuD/max-2400型X射线衍射仪和KEITHLEY3330阻... 通过对组成进行一定的过量控制,利用传统陶瓷工艺,成功制备了具有钙钛矿相钛酸锶钡固溶体和钨青铜相铌酸锶钡固溶体两相稳定共存的(0.5BaO0.5SrO)[(1-y)TiO2yNb2O5](BSTN)复相陶瓷。用RiguakuD/max-2400型X射线衍射仪和KEITHLEY3330阻抗分析仪对所得样品的相结构状态及介电性能进行了测试。结果表明:y值在0.1～0.7之间的BSTN复相陶瓷为钙钛矿相和钨青铜相两相稳定共存的复合相;在该范围以外,则为单一相的钛酸锶钡与Nb或铌酸锶钡与Ti的固溶体。复相陶瓷的介电性能取决于钙钛矿相和钨青铜相的相对含量及其固溶度,当组成y约为0.7时,介电常数达到最大值;随测试频率的提高,介电常数和损耗降低。复相陶瓷中钨青铜相的铁电/顺电相转变温度与钨青铜相中固溶TiO2量相关,随固溶量增加,转变温度降低。同时,受复相陶瓷中钙钛矿相的影响,随钙钛矿相相对含量的增加,转变温度升高;钨青铜相的最低铁电/顺电相转变温度出现在约110℃,比Sr0.5Ba0.5Nb2O6下降约240℃。 展开更多
关键词 钙钛矿 钨青铜 钛铌酸锶钡 复相陶瓷 介电性能
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溶胶-凝胶法制备巨介电常数材料CaCu_3Ti_4O_(12) 被引量：21
9
作者 杨昌辉 周小莉 +3 位作者 徐刚 韩高荣 翁文剑 杜丕一 《硅酸盐学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第6期753-756,共4页
通过溶胶-凝胶法制备CaCu3TiO12干凝胶,再经700-900℃,6-10h预烧和950-1100℃,16-20h烧结,成功制备了CaCu3Ti4O12粉体和CaCu3Ti4O12巨介电常数陶瓷材料。用X射线衍射、扫描电镜分别确定了样品的结晶性能和形貌。用阻抗分析仪在10～106H... 通过溶胶-凝胶法制备CaCu3TiO12干凝胶,再经700-900℃,6-10h预烧和950-1100℃,16-20h烧结,成功制备了CaCu3Ti4O12粉体和CaCu3Ti4O12巨介电常数陶瓷材料。用X射线衍射、扫描电镜分别确定了样品的结晶性能和形貌。用阻抗分析仪在10～106Hz范围内测试了陶瓷样品的介电性能。结果表明:粉体的结晶性能与煅烧温度有关,陶瓷介电性能与其晶粒大小有关。相对于传统固相反应合成法制备的粉体和陶瓷,粉体的预烧和陶瓷的烧结温度都有明显降低,烧成温度至少降低100℃。在800℃预烧的CaCu3Ti4O12粉体并在1 100℃温度下烧结制备的陶瓷,其介电常数可达194753。 展开更多
关键词 钛酸铜钙 溶胶—凝胶 巨介电常数
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钛酸铝固溶体陶瓷的制备与性能 被引量：9
10
作者 徐刚 杜丕一 +2 位作者 翁文剑 沈鸽 韩高荣 《硅酸盐学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第6期717-720,共4页
用工业级原料采用固相反应法合成了钛酸铝固溶体[Al2(1-0.2)Mg0.2Ti1+0.2O5]。研究了氧化镁(MgO)在钛酸铝(Al2TiO5)结构中的固溶对粉体合成的影响,通过测量Al2(1-0.2)Mg0.2Ti1+0.2O5陶瓷的体密度、热膨胀系数和抗弯强度,进一步研究了其... 用工业级原料采用固相反应法合成了钛酸铝固溶体[Al2(1-0.2)Mg0.2Ti1+0.2O5]。研究了氧化镁(MgO)在钛酸铝(Al2TiO5)结构中的固溶对粉体合成的影响,通过测量Al2(1-0.2)Mg0.2Ti1+0.2O5陶瓷的体密度、热膨胀系数和抗弯强度,进一步研究了其烧结行为、热膨胀行为和机械性能。结果表明:由于MgO的固溶,在相对较低的温度(1300℃)煅烧便合成纯相Al2(1-0.2)Mg0.2Ti1+0.2O5粉体,并且具有良好的烧结活性。用1380℃合成的粉体,经1450℃保温4h烧结的Al2(1-0.2)Mg0.2Ti1+0.2O5陶瓷,不仅具有低膨胀特性,而且有足够高的抗弯强度。 展开更多
关键词 钛酸铝 固溶体 合成 烧结 性能
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纳米含氟磷灰石涂层及其在模拟溶液中的行为 被引量：13
11
作者 曲海波 宋晨路 +4 位作者 程逵 沈鸽 翁文剑 杜丕一 韩高荣 《过程工程学报》 CAS CSCD 北大核心 2002年第4期370-374,共5页
以Ca(NO3)2(4H2O和P2O5乙醇溶液为先驱体,六氟磷酸(HPF6)为氟引入剂,采用溶胶(凝胶法在钛合金基板上制备含氟羟基磷灰石涂层. 获得的涂层晶粒尺寸为120～150 nm. 实验结果表明,加入HPF6后形成的含氟磷灰石涂层在模拟体液中有良好的生物... 以Ca(NO3)2(4H2O和P2O5乙醇溶液为先驱体,六氟磷酸(HPF6)为氟引入剂,采用溶胶(凝胶法在钛合金基板上制备含氟羟基磷灰石涂层. 获得的涂层晶粒尺寸为120～150 nm. 实验结果表明,加入HPF6后形成的含氟磷灰石涂层在模拟体液中有良好的生物活性特性,在柠檬酸改性的磷酸缓冲溶液中表现出较好的稳定性. 展开更多
关键词 溶胶-凝胶 含氟磷灰石 六氟磷酸 涂层
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气敏材料的研究进展 被引量：12
12
作者 宁文生 杜丕一 +2 位作者 翁文剑 韩高荣 沈鸽 《材料导报》 EI CAS CSCD 2002年第8期45-47,共3页
从气敏材料种类、制备方法、改善气敏材料缺陷的手段等方面介绍了气敏材料的研究进展,论述了气敏材料研究中的新动向,展望了它的未来发展。
关键词 研究进展 气敏材料 制备方法 性能 气敏元件 缺陷
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不同形态ZrO_2复合Al_2O_3陶瓷的抗热震性设计与表征 被引量：10
13
作者 徐利华 连芳 +3 位作者 李文超 翁文剑 丁子上 黄勇 《硅酸盐学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第5期412-418,共7页
采用湿化学方法制备了具有不同团聚度及稳定度的氧化锆陶瓷粉体 ,并将其复合到氧化铝基体中 ,旨在引入弥散氧化锆所伴随产生的微裂纹来代替传统氧化铝中的结构微气孔 ,以同时提高材料的抗热震性能与强度 .研究表明 :水洗复合材料的抗热... 采用湿化学方法制备了具有不同团聚度及稳定度的氧化锆陶瓷粉体 ,并将其复合到氧化铝基体中 ,旨在引入弥散氧化锆所伴随产生的微裂纹来代替传统氧化铝中的结构微气孔 ,以同时提高材料的抗热震性能与强度 .研究表明 :水洗复合材料的抗热震性能更为优越 .其原因在于团聚氧化锆的形成 ,这也得到显微结构证实 .运用函数构造建立了含裂纹脆性材料的具有普适意义的热震方程 ,进而探讨了几类复合材料的抗热震行为的表征和模拟 . 展开更多
关键词 氧化锆 氧化铝 复相陶瓷 抗热震行为
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聚偏氟乙烯压电薄膜的制备及结构 被引量：15
14
作者 傅万里 杜丕一 +1 位作者 翁文剑 韩高荣 《材料研究学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第3期243-248,共6页
采用溶液浸渍提拉法制备了β型PVDF压电聚合物薄膜,采用X衍射、扫描电镜等手段测定了PVDF薄膜的物相结构,结晶形态及薄膜厚度等.结果表明,基板的诱导作用使PVDF在较低温度下结晶形成极性的正交相β晶,在较高温度下结晶形成非极性的单斜... 采用溶液浸渍提拉法制备了β型PVDF压电聚合物薄膜,采用X衍射、扫描电镜等手段测定了PVDF薄膜的物相结构,结晶形态及薄膜厚度等.结果表明,基板的诱导作用使PVDF在较低温度下结晶形成极性的正交相β晶,在较高温度下结晶形成非极性的单斜相α晶.在低温下得到的PVDF薄膜中β晶呈典型的球晶结构,晶粒粒径随着膜厚的增加而增大,晶体颗粒的堆积疏松,薄膜致密性差;在较高温度下形成的α晶相,以二维生长为主,晶粒大小随着膜厚的增加基本上保持不变,α晶颗粒间接触紧密,薄膜致密性好. 展开更多
关键词 有机高分子材料 β晶型PVDF薄膜 浸渍提拉法 结晶形态
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氟磷灰石材料及其在生物医学方面的应用 被引量：13
15
作者 曲海波 程逵 +2 位作者 沈鸽 翁文剑 韩高荣 《硅酸盐通报》 CAS CSCD 2000年第5期52-56,共5页
本文对氟磷灰石的溶解和结晶性能、氟磷灰石在模拟生物环境下和在生物体内的性能、氟磷灰石的应用及其制备方法进行了评述。
关键词 氟磷灰石 生物材料 口腔材料 溶解 结晶 性能
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含氟羟基磷灰石薄膜的溶胶-凝胶制备和溶解特性研究 被引量：14
16
作者 赵朝霞 翁文剑 +4 位作者 曲海波 程逵 杜丕一 沈鸽 韩高荣 《材料科学与工程学报》 CAS CSCD 北大核心 2005年第2期226-229,共4页
含氟羟基磷灰石具有与羟基磷灰石相当的生物活性 ,在体液中具有较小的溶解度 ,是一种重要的生物材料。本文采用溶胶 凝胶方法 ,在钛合金基板上制备出氟含量可控、附着力强的含氟羟基磷灰石薄膜。薄膜经柠檬酸改性磷酸性缓冲溶液 (CPBS... 含氟羟基磷灰石具有与羟基磷灰石相当的生物活性 ,在体液中具有较小的溶解度 ,是一种重要的生物材料。本文采用溶胶 凝胶方法 ,在钛合金基板上制备出氟含量可控、附着力强的含氟羟基磷灰石薄膜。薄膜经柠檬酸改性磷酸性缓冲溶液 (CPBS)浸泡后表明 ,随着薄膜中氟含量增加 ,其溶解能力减小 ;随CPBS的pH值增加 ,不同氟含量的薄膜溶解量差别减小。含氟羟基磷灰石薄膜所具有的这些特性能很好地满足金属植入体表面的高性能生物活性改性材料的要求。 展开更多
关键词 含氟羟基磷灰石 薄膜 溶解 溶胶-凝胶
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染料敏化纳米薄膜太阳能电池的研究进展 被引量：15
17
作者 施永明 赵高凌 +4 位作者 沈鸽 张溪文 翁文剑 杜丕一 韩高荣 《材料科学与工程》 CSCD 北大核心 2002年第1期125-127,10,共4页
本文简要地介绍了染料敏化纳米薄膜太阳能电池的结构和原理 ;对其中关键问题 ,如纳米TiO2膜、敏化染料。
关键词 敏化染料 纳米薄膜 空穴传输材料 太阳能电池 结构 原理 二氧化钛薄膜
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不同A位元素(La、Y、Ca)的ACu_3Ti_4O_(12)陶瓷介电性能研究 被引量：11
18
作者 周小莉 杜丕一 +1 位作者 韩高荣 翁文剑 《浙江大学学报（工学版）》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第8期1446-1449,1476,共5页
利用传统陶瓷烧结方法,成功制备了巨介电常数陶瓷CaCu3Ti4O12以及Ca被Y或La取代后的Y2/3Cu3Ti4O12和La2/3Cu3Ti4O12体系.利用X射线衍射仪,测定了材料的物相结构,利用阻抗分析仪测定了不同频率和温度下材料的介电常数和介电损耗.研究结... 利用传统陶瓷烧结方法,成功制备了巨介电常数陶瓷CaCu3Ti4O12以及Ca被Y或La取代后的Y2/3Cu3Ti4O12和La2/3Cu3Ti4O12体系.利用X射线衍射仪,测定了材料的物相结构,利用阻抗分析仪测定了不同频率和温度下材料的介电常数和介电损耗.研究结果表明,3种材料结构相似,都具有相同的类钙钛矿结构,但Y2/3Cu3Ti4O12、La2/3Cu3Ti4O12系统中具有较多的缺陷,这些缺陷是由Y和La取代Ca产生的,会对材料的介电常数产生很大的影响.体系满足极化模型,极化粒子的松弛活化过程直接与所需克服的势垒相关,而不同体系中存在的不同缺陷改变了ACu3Ti4O12体系的松弛激活能,在Y和La取代Ca后的体系中松弛激活能要远大于取代前的Ca-Cu3Ti4O12体系. 展开更多
关键词 A位替换 CACU3TI4O12 LaCu3Ti4O12 介电性能
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国际化教学和互动交流:提升材料学科研究生学术素养的实践和探索 被引量：9
19
作者 杨倩 吴勇军 +5 位作者 翁文剑 王东 李翔 刘永锋 陈立新 陈洁 《材料科学与工程学报》 CAS CSCD 北大核心 2016年第4期685-688,共4页
本文介绍了浙江大学材料科学与工程学院通过国际化教学和互动交流提升研究生学术素养的一些实践和探索。针对我国研究生教育的"国际化"程度不足以及研究生国际学术交流能力的欠缺,通过包括开设全英文研究生课程、邀请海内外... 本文介绍了浙江大学材料科学与工程学院通过国际化教学和互动交流提升研究生学术素养的一些实践和探索。针对我国研究生教育的"国际化"程度不足以及研究生国际学术交流能力的欠缺,通过包括开设全英文研究生课程、邀请海内外知名学者开设学术论坛、举办全英文研究生学术成果墙报展、组织多学科交叉的研究生联合论坛等多层次宽领域的国际化教育方式,为研究生提供国际化的教学环境和学术氛围,培养研究生的多方位思维,拓宽研究生的全球化视野,提升研究生国际学术交流能力,全面综合提升了研究生的学术素养。 展开更多
关键词 学术素养 国际化 全英文课程 学术墙报展 学术论坛
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F掺杂SnO_2透明导电薄膜微结构及性能研究 被引量：10
20
作者 莫建良 陈华 +4 位作者 曹涯雁 刘起英 汪建勋 翁文剑 韩高荣 《太阳能学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第2期152-156,共5页
通过实验测量常压热分解CVD工艺制备的F掺杂SnO2薄膜的方块电阻、膜厚、形貌、微结构、中远红外反射率等性质,详细研究了基板温度对SnO2薄膜微结构的影响和微结构与薄膜电学、光学性能之间的关系。研究发现,将基板温度从375℃提高到525... 通过实验测量常压热分解CVD工艺制备的F掺杂SnO2薄膜的方块电阻、膜厚、形貌、微结构、中远红外反射率等性质,详细研究了基板温度对SnO2薄膜微结构的影响和微结构与薄膜电学、光学性能之间的关系。研究发现,将基板温度从375℃提高到525℃以上,薄膜结晶程度大大提高,薄膜厚度从25nm提高到近300nm,方块电阻下降了两个数量级,中远红外的反射率达到了85%以上。 展开更多
关键词 CVD F掺杂SnO2薄膜 微结构 性能
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