激光等离子体和气体放电EUV光刻光源 被引量：7

1

作者 程元丽 李思宁 王骐 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2004年第6期561-564,共4页

对激光等离子体和气体放电两种EUV光刻光源的发展状况进行了详细介绍 ,分析了各种激光条件和放电方式的特点及所面临的主要问题 ,对各种方案的特点、技术参数进行了对比。气体放电装置较高能激光装置结构简单、价格低 ,故气体放电EUV光... 对激光等离子体和气体放电两种EUV光刻光源的发展状况进行了详细介绍 ,分析了各种激光条件和放电方式的特点及所面临的主要问题 ,对各种方案的特点、技术参数进行了对比。气体放电装置较高能激光装置结构简单、价格低 ,故气体放电EUV光源日益受到重视。 展开更多

关键词 极紫外光刻 EUV光刻光源 激光等离子体 气体放电

在线阅读 下载PDF 职称材料

一种平场范围在30～50nm的平焦场光谱仪 被引量：2

2

作者 程元丽 赵永蓬 +2 位作者 宋健伟 汪八零 王骐 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第7期651-654,共4页

　理论上计算了入射距离747.4mm及不同入射角情况下,日立变栅距凹面光栅的平场范围,确定了平场范围在30～50nm的一组平场谱仪的新设计参数。在原入射距离的情况下,新研制的平场谱仪在入射狭缝前加了一个轮胎镜,使谱仪具有空间分辨能力,... 　理论上计算了入射距离747.4mm及不同入射角情况下,日立变栅距凹面光栅的平场范围,确定了平场范围在30～50nm的一组平场谱仪的新设计参数。在原入射距离的情况下,新研制的平场谱仪在入射狭缝前加了一个轮胎镜,使谱仪具有空间分辨能力,且提高了收集效率,。利用一种真空紫外光谱灯对He气放电的特征谱线对平场谱仪进行了标定。在入射狭缝为0.1mm时,实验上测得30.38nm谱线的宽度约为0.04mm,在30nm附近的分辨率为0.001,在消像散波长40nm附近,分辨率将优于0.001。最后,利用标定后的平场谱仪对毛细管放电不同气体等离子体辐射进行了初步的测谱实验。 展开更多

关键词 平焦场光谱仪 定标 毛细管放电 软X射线 变栅距凹面光栅 平场范围 设计参数 特征谱线 等离子体辐射

在线阅读 下载PDF 职称材料

用于软X射线光谱探测的双MCP近贴单幅相机 被引量：6

3

作者 桂建保 赵宝升 +4 位作者 张小秋 邹远鑫 刘宏波 程元丽 赵永蓬 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第10期1261-1264,共4页

研制了一种双MCP近贴单幅相机 ,相机用于软X射线光谱探测 采用开放式无窗结构 ,利用第一块通道板进行选通 ,有效探测面积Φ 2 6mm 相机时间分辨率 5ns ,静态空间分辨率2 5lp/mm ,动态空间分辨率 7lp/mm ,控制电路固有延时小于 2 0ns ... 研制了一种双MCP近贴单幅相机 ,相机用于软X射线光谱探测 采用开放式无窗结构 ,利用第一块通道板进行选通 ,有效探测面积Φ 2 6mm 相机时间分辨率 5ns ,静态空间分辨率2 5lp/mm ,动态空间分辨率 7lp/mm ,控制电路固有延时小于 2 0ns .主要介绍了该相机的结构、工作原理、快门脉冲发生器电路。 展开更多

关键词 X射线 单幅相机 MCP 近贴聚焦 快门选通

在线阅读 下载PDF 职称材料

激励软X光激光的毛细管预-主脉冲放电装置 被引量：3

4

作者 赵永蓬 程元丽 +1 位作者 王骐 杨大为 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第6期733-736,共4页

介绍了主脉冲和预脉冲的产生电路、预 主脉冲延时触发的方案以及对预 主脉冲的联调结果。毛细管放电X光激光装置经改造后 ,抑制了原有电流幅值过大的预脉冲 ,外加预脉冲发生器可以提供幅值几十A的预脉冲。预 主脉冲的联调结果表明 ,... 介绍了主脉冲和预脉冲的产生电路、预 主脉冲延时触发的方案以及对预 主脉冲的联调结果。毛细管放电X光激光装置经改造后 ,抑制了原有电流幅值过大的预脉冲 ,外加预脉冲发生器可以提供幅值几十A的预脉冲。预 主脉冲的联调结果表明 ,预脉冲的电流为 2 0A ,主脉冲的第一个峰的峰值电流为 4 0 .1kA ,前沿为 2 6 .6ns ,脉宽 38ns,预 主脉冲之间的触发延时在 3～ 5 0 展开更多

关键词 毛细管放电 软X光激光 预脉冲 主脉冲

在线阅读 下载PDF 职称材料

毛细管放电X光激光装置设计及分析 被引量：1

5

作者 李思宁 程元丽 +2 位作者 余祺琪 刘鹏 王骐 《哈尔滨工业大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第5期604-607,共4页

在现有一台Marx发生器装置的基础上设计了一套完整的毛细管放电X光激光装置,包括Blumlein传输线、毛细管放电室、测量系统、主开关以及与真空系统、充气系统、Marx发生器的连接等部分.为弥补Marx发生器输出电压较低这一不足,达到足够的... 在现有一台Marx发生器装置的基础上设计了一套完整的毛细管放电X光激光装置,包括Blumlein传输线、毛细管放电室、测量系统、主开关以及与真空系统、充气系统、Marx发生器的连接等部分.为弥补Marx发生器输出电压较低这一不足,达到足够的电流和电压,在设计过程中,对装置的各项参数进行了细致的计算和选取,并给出了预、主脉冲对毛细管放电的结果. 展开更多

关键词 毛细管 放电激励 X光激光装置

在线阅读 下载PDF 职称材料

单狭缝条纹管激光雷达四维成像实验 被引量：1

6

作者 魏靖松 程元丽 孙剑峰 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2008年第S3期436-,共1页

用条纹管作为接收端的激光成像雷达已经成为非扫描雷达中的重要部分,具有大视场、高帧频的优点,在军事上有着广泛的应用前景。用条纹管激光雷达四维成像实验平台对远距离目标进行了成像实验,给出条纹像和目标之间的对应关系,用多幅条纹... 用条纹管作为接收端的激光成像雷达已经成为非扫描雷达中的重要部分,具有大视场、高帧频的优点,在军事上有着广泛的应用前景。用条纹管激光雷达四维成像实验平台对远距离目标进行了成像实验,给出条纹像和目标之间的对应关系,用多幅条纹像重构了目标的四维图像。实现了这种体制的激光雷达对远距离目标的成像。并且分析了狭缝、重叠率等参数对成像精度的影响。 展开更多

关键词 激光技术 条纹管 激光雷达 四维成像

在线阅读 下载PDF 职称材料

直接探测激光测风雷达发射激光线宽对探测的影响 被引量：1

7

作者 王潜 王骐 程元丽 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第11期1851-1854,共4页

论述了Rayleigh散射双边缘直接探测激光测风雷达发射激光线宽对探测灵敏度和误差的影响。使用Monte-Carlo方法模拟了大气后向散射回波半高宽(FWHM)和发射激光线宽的定量数值关系。把这个关系拟合为一个二次多项式,计算了由发射线宽引起... 论述了Rayleigh散射双边缘直接探测激光测风雷达发射激光线宽对探测灵敏度和误差的影响。使用Monte-Carlo方法模拟了大气后向散射回波半高宽(FWHM)和发射激光线宽的定量数值关系。把这个关系拟合为一个二次多项式,计算了由发射线宽引起的测量灵敏度和误差。对于探测波长是355 nm的情况,当发射线宽从单频增加到2 GHz时,后向散射回波线宽从3.853 GHz非线性地增加到5.371 GHz。发射激光线宽的加宽对探测影响很大,当发射线宽从单频增加到2 GHz时,测量灵敏度从0.003 1降低到0.001 9,测量误差从0.323 m/s增大到0.518 m/s,计算中假定探测信噪比和累计激光脉冲数都是1 000。 展开更多

关键词 测风雷达 Rayleigh散射 双边缘技术 线宽

在线阅读 下载PDF 职称材料

氩第三谱带中240nm时间分辨谱的实验研究 被引量：1

8

作者 王健 赵永蓬 +1 位作者 王骐 程元丽 《光电子技术与信息》 2004年第6期93-93,共1页

长期以来，氩的第三谱带(160～300nm)的来源一直未能确定．其中一个主要原因就是其时间分辨谱的不确定性：不同实验条件下，产生第三谱带的物质有不同的衰变时间．或谱带输出脉冲随泵浦脉冲结束而结束；或谱带输出脉冲时间远大于泵浦脉... 长期以来，氩的第三谱带(160～300nm)的来源一直未能确定．其中一个主要原因就是其时间分辨谱的不确定性：不同实验条件下，产生第三谱带的物质有不同的衰变时间．或谱带输出脉冲随泵浦脉冲结束而结束；或谱带输出脉冲时间远大于泵浦脉冲时间． 展开更多

关键词 氩 第三谱带 时间分辨谱 240nm谱区 输出波形

在线阅读 下载PDF 职称材料

放电参数对毛细管放电泵浦的软X射线激光的影响

9

作者 彭惠民 郑无敌 +3 位作者 杨大为 赵永蓬 程元丽 王骐 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第4期537-542,共6页

以哈尔滨工业大学可调谐激光技术国家重点实验室中的Marx发生器的放电脉冲波形为基础,理论上模拟计算了在不同放电参数下充氩气的毛细管放电产生的等离子体状态和类氖氩离子3p-3s跃迁线的增益系数的时空演变过程.中心模型中,选取内径为3... 以哈尔滨工业大学可调谐激光技术国家重点实验室中的Marx发生器的放电脉冲波形为基础,理论上模拟计算了在不同放电参数下充氩气的毛细管放电产生的等离子体状态和类氖氩离子3p-3s跃迁线的增益系数的时空演变过程.中心模型中,选取内径为3.1 mm的陶瓷毛细管并充入初始密度为1.07×10-6g·cm-3的氩气,电流脉冲峰值为27.81 kA,脉冲宽度为61.4 ns.改变放电参数进行模拟,结果表明:上升前沿越陡,则增益系数越大,电流脉冲上升时间在20～40 ns,电流峰值在25～40 kA,电流脉冲宽度在50～70 ns范围内,毛细管放电产生的等离子体状态比较理想,可获得较高的增益系数. 展开更多

关键词 毛细管放电 上升时间 电流脉冲峰值 脉冲宽度 软X射线激光

在线阅读 下载PDF 职称材料

毛细管放电软X光激光装置固有预脉冲的消除

10

作者 栾伯晗 王骐 +2 位作者 赵永蓬 程元丽 李岩 《光电工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第3期106-109,共4页

本文对毛细管放电产生类氖氩46.9nm激光进行了实验研究。实验中发现毛细管放电装置中布鲁姆林(Blumlein)传输线所产生的固有预脉冲对软X光激光的产生及稳定输出都有十分不利的影响。为了消除这种影响,提出了用外加隔离开关和隔离电容的... 本文对毛细管放电产生类氖氩46.9nm激光进行了实验研究。实验中发现毛细管放电装置中布鲁姆林(Blumlein)传输线所产生的固有预脉冲对软X光激光的产生及稳定输出都有十分不利的影响。为了消除这种影响,提出了用外加隔离开关和隔离电容的方法消除固有预脉冲。经过实验验证,确定了隔离开关和隔离电容的最佳位置。结果该方法能够有效隔离固有预脉冲,使整个放电装置达到稳定运行。在此基础上,得到并改善了毛细管放电类氖氩46.9nm激光输出。 展开更多

关键词 X射线激光 软X光激光 毛细管放电 布鲁姆林(Blumlein)传输线 固有预脉冲

在线阅读 下载PDF 职称材料

初始充气密度对毛细管放电泵浦的软X射线激光的影响

11

作者 彭惠民 郑无敌 +3 位作者 赵永蓬 程元丽 杨大为 王骐 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第10期1441-1444,共4页

利用哈尔滨工业大学的毛细管放电装置的放电参数,对放电过程中毛细管内初始氩气密度的变化对等离子体状态和类氖氩离子3p-3s跃迁线的增益系统的影响进行了全过程的理论模拟计算.给出了毛细管放电中等离子体状态和增益系数的空间分布的... 利用哈尔滨工业大学的毛细管放电装置的放电参数,对放电过程中毛细管内初始氩气密度的变化对等离子体状态和类氖氩离子3p-3s跃迁线的增益系统的影响进行了全过程的理论模拟计算.给出了毛细管放电中等离子体状态和增益系数的空间分布的时间演变过程.理论计算表明能够出现增益的密度范围比较宽,这对于实验是有利的.现有放电参数下,选取初始氩气密度在气压为40～80 Pa情况对获取好的实现结果是比较理想的. 展开更多

关键词 初始密度 毛细管放电 等离子体状态 增益系数

在线阅读 下载PDF 职称材料

X射线激光在柱状等离子体中的传播与放大 被引量：1

12

作者 张新陆 程元丽 王骐 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2002年第3期221-222,213,共3页

对电子密度和增益为线性分布的等离子体 ,在几何光学的近似下 ,通过简化模型研究了X射线激光在柱状等离子体中的传播与增益过程 。

关键词 X射线激光 几何光学 等离子体 传播 增益

在线阅读 下载PDF 职称材料

毛细管放电类氖氩等离子体放电参数的研究

13

作者 张新陆 王骐 +1 位作者 程元丽 刘鹏 《哈尔滨工程大学学报》 EI CAS CSCD 2002年第1期136-138,142,共4页

为了验证建立起来的实验装置的合理性和有效性 ,从等离子体箍缩效应的基本理论出发 ,建立了等离子体平衡箍缩的理论模型 .计算出了在毛细管中充入 80Pa氩气时的箍缩电流 ,这一放电参数对指导毛细管放电装置的调试实验有着重要意义 .同... 为了验证建立起来的实验装置的合理性和有效性 ,从等离子体箍缩效应的基本理论出发 ,建立了等离子体平衡箍缩的理论模型 .计算出了在毛细管中充入 80Pa氩气时的箍缩电流 ,这一放电参数对指导毛细管放电装置的调试实验有着重要意义 .同时 ,在毛细管中充入同样气压的氩气并进行了毛细管放电实验 ,放电实验的结果为 :当Marx发生器所加直流高压为 190kV时 ,通过两次分压测得最大放电峰值电流为 30 .4kA .由此估算 ,Marx发生器输出电压最大为 30 0kV时 ,放电电流可达 4 0kA以上 . 展开更多

关键词 放电类氖氩等离子体 放电参数 箍缩效应 箍缩电流 毛细管

在线阅读 下载PDF 职称材料

毛细管放电软X射线激光传播的解析研究

14

作者 张新陆 王骐 程元丽 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2002年第5期392-393,397,共3页

对于电子密度和增益为抛物线分布的等离子体 ,在几何光学的近似下 ,通过简化模型研究了毛细管放电X射线在柱状长等离子体柱中的传播与增益过程 ,并给出了抛物线近似下X射线激光的输出光强随偏转角的变化关系及偏离轴向的折射角和折射长度。

关键词 毛细管放电 X射线激光 几何光学 等离子体 传播 增益

在线阅读 下载PDF 职称材料

柱状等离子体侧漏光线对光强分布的影响

15

作者 张新陆 王骐 程元丽 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2003年第2期122-123,125,共3页

在几何光学的近似下 ,通过简化模型研究了毛细管放电X射线在柱状长等离子体柱中的传播与增益过程 ,给出了径向电子密度抛物线近似下由等离子体侧面泄露的X射线的输出光强随偏转角的变化关系 ,并分析了它对光强分布及激光束形的影响。

关键词 X射线激光 几何光学 等离子体 传播 增益

在线阅读 下载PDF 职称材料

一种实用远程数据通信网

16

作者 孙晓军 安晓波 程元丽 《黑龙江大学自然科学学报》 CAS 1996年第1期81-83,80,共4页

本文介绍了一种远程数据通信网的设计要点、主要环节的实现以及实际运行的情况。使用表明，它是一种实用的远程数据通信网。

关键词 计算机网 远程数据通信 数据通信网

在线阅读 下载PDF 职称材料

针对性护理在骨伤患者术后疼痛护理中的效果观察 被引量：3

17

作者 程元丽 《中国现代药物应用》 2019年第11期223-224,共2页

目的探讨针对性护理在骨伤患者术后疼痛护理中的效果。方法 40例骨伤患者作为研究对象,随机分为观察组和对照组,每组20例。观察组患者给予针对性护理,对照组患者给予常规护理。观察比较两组患者术后疼痛护理效果及疼痛程度。结果观察组... 目的探讨针对性护理在骨伤患者术后疼痛护理中的效果。方法 40例骨伤患者作为研究对象,随机分为观察组和对照组,每组20例。观察组患者给予针对性护理,对照组患者给予常规护理。观察比较两组患者术后疼痛护理效果及疼痛程度。结果观察组术后疼痛护理优良率为90.00%,明显高于对照组的60.00%,差异有统计学意义(χ^2=4.8000, P=0.0285<0.05)。观察组患者疼痛程度3~4级比例为10.00%,明显低于对照组的40.00%,差异有统计学意义(χ^2=4.8000, P=0.0285<0.05)。结论在骨伤患者术后疼痛护理中给予针对性护理,能够有效提高疼痛护理效果,缓解疼痛程度,值得临床推广应用。 展开更多

关键词 针对性护理 骨伤患者 术后疼痛护理 效果

在线阅读 下载PDF 职称材料

铁税官的有情与无情

18

作者 程元丽 胡安国 张建刚 《经济师》 1991年第5期45-47,共3页

金猴的千钧棒和唐僧的思想工作在文水一方,孟金威是个富有魅力的传奇人物,几乎家喻户晓,小孩子哭鼻子,妈妈说“还哭,看孟伯伯来了!”真灵,孩子立即停止了哭泣,非法倒买倒卖的商贩,强迫路人买其质低价高的冒牌货,如果有人说要告发,贩子... 金猴的千钧棒和唐僧的思想工作在文水一方,孟金威是个富有魅力的传奇人物,几乎家喻户晓,小孩子哭鼻子,妈妈说“还哭,看孟伯伯来了!”真灵,孩子立即停止了哭泣,非法倒买倒卖的商贩,强迫路人买其质低价高的冒牌货,如果有人说要告发,贩子大言不惭地说:“哥们有钱能使鬼推磨,看谁吃饱了撑的,大热天跑出来管你这档子闲事。”但如果这时候有人懂“行情”,虚幌一枪,呐喊:“孟队长来了!” 展开更多

关键词 金猴 真灵 文水 唐僧 思想工作 稽查队 解缴 税服 增税 偷税漏税

在线阅读 下载PDF 职称材料

光电混合型光学单稳态触发器的研究

19

作者 姜宗胜 程元丽 +1 位作者 叶红安 王丽 《黑龙江大学自然科学学报》 CAS 1995年第1期75-77,84,共4页

本文提出了光学单稳态触发器的思想，利用光电混合双稳态发光二级管（ＢＩＬＥＤ）回路和电子延时技术，实现了光电混合的光学单稳态触发器，并给出了实验结果。

关键词 双稳回路 光学单稳态 触发器 光电混合 光电器件

在线阅读 下载PDF 职称材料

晋中信息服务业跨世纪发展的对策研究

20

作者 武小鹏 贾瑞莲 程元丽 《科技情报开发与经济》 1996年第5期22-23,共2页

通过对目前晋中地区信息服务业的分析，提出了跨世纪的发展战略和切合实际的建议与措施．

关键词 信息服务 发展战略 数据库 晋中地区

在线阅读 下载PDF 职称材料