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微区微纳米压印技术及设备 被引量:8
1
作者 申溯 周雷 +1 位作者 魏国军 陈林森 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第4期807-812,共6页
为了实现在大幅面基底上制作微纳结构,开发了一种新型的分布微区微纳米压印技术和相应的设备。介绍了分布微区微纳米压印的技术设想,并以提高压印稳定性和设计可旋转压印头为目标,设计了气动驱动装置和压印头结构。然后,通过实验检... 为了实现在大幅面基底上制作微纳结构,开发了一种新型的分布微区微纳米压印技术和相应的设备。介绍了分布微区微纳米压印的技术设想,并以提高压印稳定性和设计可旋转压印头为目标,设计了气动驱动装置和压印头结构。然后,通过实验检测了平台运动精度,并在碳酸聚酯材料上热压印了周期为400nm的光栅。最后,以背光模组用光扩散片为应用实例.介绍了分布微区微纳米压印技术与设备的可能应用领域。实验结果表明,在1m的行程范围上,平台位移精度可达100nm,压印头旋转角度为-90°~90°,压印深度可由加热温度和驱动力大小控制。制作的扩散片厚度为125μm,扩散半径为5mm。微区微纳米压印技术和设备特别适合大幅面光学衍射图像和平板显示器件的微结构制作。 展开更多
关键词 微纳米压印 微结构 热压印 控制
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一种反射式扭曲向列型液晶显示优化设计的新方法 被引量:9
2
作者 申溯 佘俊 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第4期520-524,共5页
基于扭曲向列型液晶的显示器件通过调制光波的偏振态实现显示的目的,因此光波的偏振状态在其中起了极为关键的作用 本文结合琼斯矩阵和表示光波偏振态的斯托克斯参量j circ方法,提出了一种优化反射式扭曲向列型液晶显示器件的新方法 该... 基于扭曲向列型液晶的显示器件通过调制光波的偏振态实现显示的目的,因此光波的偏振状态在其中起了极为关键的作用 本文结合琼斯矩阵和表示光波偏振态的斯托克斯参量j circ方法,提出了一种优化反射式扭曲向列型液晶显示器件的新方法 该方法与原有的空间参量方法不同的是采用了追踪光波在传播过程中偏振态变化的办法得到反射式液晶显示器件中各光学元件的参数 该方法简单直观并且可以对多个参数同时进行优化。 展开更多
关键词 反射式液晶显示 庞加莱球 偏振态 斯托克斯参量
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液晶法布里-玻罗滤波器可调谐特性分析 被引量:5
3
作者 申溯 何赛灵 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第5期713-717,共5页
分析了液晶法布里-玻罗可调滤波器中介质反射镜反射相位引起的峰值波长漂移 液晶法-玻滤波器通过外加电压调谐峰值波长,反射相位会导致峰值波长漂移使器件不能达到DWDM系统的使用要求 本文推导了一套计算反射镜反射相位的公式,将它应用... 分析了液晶法布里-玻罗可调滤波器中介质反射镜反射相位引起的峰值波长漂移 液晶法-玻滤波器通过外加电压调谐峰值波长,反射相位会导致峰值波长漂移使器件不能达到DWDM系统的使用要求 本文推导了一套计算反射镜反射相位的公式,将它应用于液晶法玻可调滤波器的理论设计,模拟结果定量表示了反射相位对峰值波长造成的影响 这对确定液晶可调滤波器峰值波长和设计器件电驱动装置具有重要意义 由此设计了一个在光通讯波段可单调调谐的液晶法玻滤波器。 展开更多
关键词 液晶 可调谐滤波器 Fabry-Perot腔 反射位相
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数字图象清晰度评价函数研究 被引量:114
4
作者 李奇 冯华君 +3 位作者 徐之海 边美娟 申溯 戴瑞春 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第6期736-738,共3页
分析了梯度函数、频谱函数和熵函数在自动对焦技术中的作用 ,并研究了评价函数的性能 .实验表明 ,梯度函数具有运算速度快的优点 ,适用于需要实时成象的场合 ;而频谱函数具有灵敏度高、曲线尖锐的特点 。
关键词 图象清晰度 评价函数 自动对焦 数字成象 图像处理
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基于闪耀光栅图形化实现高分辨率干涉光刻 被引量:3
5
作者 胡进 董晓轩 +2 位作者 浦东林 申溯 陈林森 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第12期3335-3342,共8页
为提高图形化干涉光刻质量,提出了基于闪耀光栅的图形化干涉光刻(PIIL)系统,并对该系统所采用的光学原理和实现方法进行了研究。首先,分析了图形化干涉光刻系统的光场特性,阐述了其分辨率提升的原理。讨论了光学系统带宽和图案分布对光... 为提高图形化干涉光刻质量,提出了基于闪耀光栅的图形化干涉光刻(PIIL)系统,并对该系统所采用的光学原理和实现方法进行了研究。首先,分析了图形化干涉光刻系统的光场特性,阐述了其分辨率提升的原理。讨论了光学系统带宽和图案分布对光刻图形质量的影响,给出了图形质量控制的工艺方法。其次,提出了一种新型的图形化干涉光刻方法,该方法采用闪耀光栅作为衍射分光器件,实现了位相和振幅的一体化调制。采用数值计算方法模拟了闪耀光栅的衍射特性和像面光场分布,讨论了闪耀光栅的优化设计方法,获得了高达92.3%的±1级衍射效率。最后,基于数字微镜器件(DMD)和微缩成像光路设计开发了图形化干涉光刻系统,实验获得了像素化的点阵图形和质量明显改善的光刻图像,验证了该方法对任意图形的适用性。 展开更多
关键词 图形化干涉光刻 傅里叶光学 衍射效率 激光直写 数字微镜器件
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银镜反应制备纳米蛾眼减反结构法 被引量:6
6
作者 董晓轩 申溯 陈林森 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第7期178-183,共6页
为了降低光学表面的菲涅耳反射,提出了一种制备仿生减反结构的方法.利用银镜反应并结合退火处理在硬性材质基底表面制备银纳米粒子,经反应离子刻蚀工艺,在基底表面形成一层纳米蛾眼减反结构.分析了周期分布和随机分布纳米蛾眼的光学特性... 为了降低光学表面的菲涅耳反射,提出了一种制备仿生减反结构的方法.利用银镜反应并结合退火处理在硬性材质基底表面制备银纳米粒子,经反应离子刻蚀工艺,在基底表面形成一层纳米蛾眼减反结构.分析了周期分布和随机分布纳米蛾眼的光学特性,实验研究了退火参量和刻蚀参量对银纳米颗粒直径、密度以及高度的影响,并在硅和石英基底上分别制备了随机减反结构.测试结果表明:硅基平均反射率小于4.5%,双面石英基透过率达98.1%.理论和实验均表明:随机分布的纳米仿生蛾眼结构具有宽光谱、广视角和高减反特性,所提出的制备方法具有简便易行、低成本、大幅面等优点,在光电器件中具有良好的潜在应用前景. 展开更多
关键词 减反结构 蛾眼结构 银镜反应 反应离子刻蚀 反射率
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棱镜耦合法测量负折射率材料光学特性理论研究 被引量:4
7
作者 肖丙刚 申溯 邸岳淼 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第7期1230-1234,共5页
对于在光频波段的负折射率介质材料,从理论上提出了测量其光学参量的棱镜耦合法,给出了测量原理、装置,同时给出了棱镜耦合法测量系统的精确理论模型.用转移矩阵方法推导出其满足的色散方程,从理论上分析了空气层厚度对测量结果的影响.... 对于在光频波段的负折射率介质材料,从理论上提出了测量其光学参量的棱镜耦合法,给出了测量原理、装置,同时给出了棱镜耦合法测量系统的精确理论模型.用转移矩阵方法推导出其满足的色散方程,从理论上分析了空气层厚度对测量结果的影响.用传输矩阵法进行了模拟论证,得到了模拟反射率曲线,同时模拟分析了空气间隙对测量结果的影响. 展开更多
关键词 负折射率材料 棱镜耦合法 转移矩阵法 传输矩阵法
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DMD并行光刻制作微透镜阵列提高有机发光二极管的耦合效率
8
作者 周芳 庄孝磊 +1 位作者 申溯 陈林森 《苏州大学学报(自然科学版)》 CAS 2010年第3期61-65,共5页
分析了半球形微透镜阵列提高有机发光二极管耦合效率的特性,利用光线追迹法对其进行了模拟仿真.利用DMD并行光刻和热熔法结合制作了不同口径的球冠状微透镜阵列模板,通过电铸和UV压印制作了微透镜阵列薄膜.并将其附在有机发光二极管玻... 分析了半球形微透镜阵列提高有机发光二极管耦合效率的特性,利用光线追迹法对其进行了模拟仿真.利用DMD并行光刻和热熔法结合制作了不同口径的球冠状微透镜阵列模板,通过电铸和UV压印制作了微透镜阵列薄膜.并将其附在有机发光二极管玻璃基底表面,测量其光亮度.实验结果表明,在垂直基底方向上,微透镜阵列薄膜可将光亮度提高42%. 展开更多
关键词 DMD并行光刻 光刻胶热熔法 微透镜阵列薄膜 有机发光二极管
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微纳柔性制造与印刷电子材料 被引量:6
9
作者 刘艳花 申溯 +4 位作者 周小红 方宗豹 浦东林 朱鹏飞 陈林森 《中国材料进展》 CAS CSCD 2014年第3期129-134,179,共7页
微纳加工技术主要应用在光电子和IC领域,随着国际新一轮印刷电子技术的发展,电路线宽越来越细,对印刷电子材料与应用技术提出更高要求,传统印刷术很难实现数微米以下精密电路。针对国际行业研究现状、工艺及最新进展,详细阐述微纳柔性... 微纳加工技术主要应用在光电子和IC领域,随着国际新一轮印刷电子技术的发展,电路线宽越来越细,对印刷电子材料与应用技术提出更高要求,传统印刷术很难实现数微米以下精密电路。针对国际行业研究现状、工艺及最新进展,详细阐述微纳柔性制造技术的原理与特点。基于微纳图形化激光直写光刻技术、卷对卷纳米压印技术及其配套(微纳填充、转印和软压印)技术,以大尺寸透明导电材料的研发为例,微纳柔性制造在106.68 cm幅面上使印刷电路的线宽达到1.5μm。微纳柔性制造方法属于"加法"制造。展望了柔性制造在印刷电子材料产业发展中的前景和需求,指出微纳柔性制造与印刷材料的结合,有可能成为新一轮大尺寸柔性显示与触控、传感器件等产业发展的有力工具和推动性力量。 展开更多
关键词 微纳柔性制造 印刷电子 金属网格透明导电膜
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基于DMD微光刻的导光板模板的制作方法 被引量:3
10
作者 李晓建 朱冀梁 +2 位作者 申溯 周小红 陈林森 《应用光学》 CAS CSCD 北大核心 2009年第4期669-673,共5页
提出了一种基于数字微反射镜(DMD)微光刻的导光模板的制作方法。导光板的网点单元图形由DMD输入,经过缩微光学成像系统缩微后,在光刻胶干板上逐单元网点曝光,再经过显影、微电铸得到导光板模板,在PC薄板材上用微纳米压印制成导光板,厚... 提出了一种基于数字微反射镜(DMD)微光刻的导光模板的制作方法。导光板的网点单元图形由DMD输入,经过缩微光学成像系统缩微后,在光刻胶干板上逐单元网点曝光,再经过显影、微电铸得到导光板模板,在PC薄板材上用微纳米压印制成导光板,厚度仅为0.381 mm。采用自行研制的SVGwriting-DMD激光直写系统,图形的最小分辨率为2μm,DMD微光刻法无需掩膜版,可实现不同形状、大小、微结构的单元网点图形及网点的排布,便于大幅面的导光板模板的制作。 展开更多
关键词 激光直写 数字微反射镜 导光板 微光刻制
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传输-散射理论设计LED照明导光板的研究 被引量:3
11
作者 鲁琛 方宗豹 +1 位作者 申溯 陈林森 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2010年第7期752-756,共5页
基于传输-散射理论设计了用于LED照明的导光板网点结构。导光板网点具有直径40μm,高度10μm的微凹透镜结构,依据传输-散射理论对导光板分区并获得各分区域中的微透镜排布参数。为了验证所提出的网点排布能够实现导出光的高均匀性,建立... 基于传输-散射理论设计了用于LED照明的导光板网点结构。导光板网点具有直径40μm,高度10μm的微凹透镜结构,依据传输-散射理论对导光板分区并获得各分区域中的微透镜排布参数。为了验证所提出的网点排布能够实现导出光的高均匀性,建立了尺寸为70.0 mm×41.5 mm的微透镜结构的LED导光板模型,并利用光线追迹的获得了90%的均匀度。本文所提出的方法可用于高均匀度LED照明的导光板设计。 展开更多
关键词 背光模组 导光板 光学模型 UV胶 LED
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金属-介质薄膜型宽角度反射滤光片 被引量:2
12
作者 邵仁锦 叶燕 +1 位作者 申溯 陈林森 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2014年第1期65-68,共4页
为进一步提高彩色滤光片的角度容差性和光能利用率等性能要求,设计了一种金属-介质薄膜型反射滤光片。通过膜系优化方法获得了基于减色原理的青色、品红色和黄色三种颜色的反射光输出,中心波长分别为655 nm、555 nm和455 nm,反射谱带宽... 为进一步提高彩色滤光片的角度容差性和光能利用率等性能要求,设计了一种金属-介质薄膜型反射滤光片。通过膜系优化方法获得了基于减色原理的青色、品红色和黄色三种颜色的反射光输出,中心波长分别为655 nm、555 nm和455 nm,反射谱带宽分别为70 nm、60 nm和60 nm。该彩色滤光片仅吸收可见光波段三分之一光能量而三分之二光能量被反射利用,具有光能利用率高的特点。测试结果表明,该结构彩色滤光片在±40°入射角范围内反射滤光特性基本不随角度变化,满足彩色滤光片宽角度特性要求。与其他结构彩色滤光片相比,薄膜制备工艺决定了该结构彩色滤光片还具有制备容易的优势。 展开更多
关键词 光学薄膜 彩色滤光片 宽角度特性 光能利用率
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数字微镜器件制造精度误差对紫外光调制特性的影响 被引量:1
13
作者 袁晓峰 浦东林 +1 位作者 申溯 陈林森 《应用光学》 CAS CSCD 北大核心 2012年第4期788-792,共5页
数字微镜器件(DMD)的能量利用率对于提高无掩膜激光直写系统的效率十分重要。对DMD在相干光照明下的相位调制特性进行数值和实验分析,发现同种型号DMD在出射0级光垂直于微镜表面角度入射情况下的衍射图样,其光能量分布各不相同,有0级光... 数字微镜器件(DMD)的能量利用率对于提高无掩膜激光直写系统的效率十分重要。对DMD在相干光照明下的相位调制特性进行数值和实验分析,发现同种型号DMD在出射0级光垂直于微镜表面角度入射情况下的衍射图样,其光能量分布各不相同,有0级光强占总光强27.2%的情况,也有零0级光强占总光强13.1%的情况,理论计算表明,DMD的微镜偏转角存在±1°的误差可以使DMD衍射0级的衍射效率在极大和极小之间变化。这一结论对于选择高能量利用效率的DMD有重要参考价值。 展开更多
关键词 光学器件 数字微镜器件(DMD) 无掩膜光刻系统 相位调制 闪耀光栅
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一种数字化的全息透镜制作方法 被引量:1
14
作者 李现胜 浦东林 +2 位作者 魏国军 申溯 陈林森 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2010年第6期656-659,共4页
提出了一种采用并行激光直写技术的数字化全息透镜制作方法,先对离轴全息透镜进行理论模拟,得到条纹分布的数字图像,根据激光直写系统的光学参数,对生成的全息透镜模拟图像进行缩放处理,然后分块拼接曝光,实验得到了尺寸为3.1 mm×3... 提出了一种采用并行激光直写技术的数字化全息透镜制作方法,先对离轴全息透镜进行理论模拟,得到条纹分布的数字图像,根据激光直写系统的光学参数,对生成的全息透镜模拟图像进行缩放处理,然后分块拼接曝光,实验得到了尺寸为3.1 mm×3.1 mm的正方形离轴全息透镜,最小条纹周期为1.1μm,在532 nm激光照射下,透镜焦距为6.2 mm,最大空频处一级衍射光的衍射角为5.9°。本方法为制作全息透镜提供了一种有效地新方法。 展开更多
关键词 全息透镜 数字化 并行激光直写
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基于紫外纳米压印的菲涅耳透镜制作
15
作者 邹建兵 浦东林 +1 位作者 申溯 陈林森 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第6期1085-1088,共4页
针对传统聚光系统中菲涅耳透镜成本较高并且光强分布不均匀的弊端,提出了利用紫外纳米压印技术制作菲涅耳透镜的方法.利用几何光学的光线追迹理论,设计了菲涅耳透镜模具.采用自行研制的紫外纳米压印系统对模具进行压印,紫外曝光后制得... 针对传统聚光系统中菲涅耳透镜成本较高并且光强分布不均匀的弊端,提出了利用紫外纳米压印技术制作菲涅耳透镜的方法.利用几何光学的光线追迹理论,设计了菲涅耳透镜模具.采用自行研制的紫外纳米压印系统对模具进行压印,紫外曝光后制得薄膜菲涅耳透镜.在太阳光下进行了测试,测试结果表明,低成本、高聚光倍数和光强分布均匀的菲涅耳透镜是可以实现的. 展开更多
关键词 菲涅耳透镜 紫外纳米压印 聚光型太阳能系统
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一种基于折衍混合结构的无油墨印刷技术研究
16
作者 谢一 罗万里 +2 位作者 张研 丁唐艺 申溯 《印刷与数字媒体技术研究》 CAS 北大核心 2024年第5期86-92,共7页
传统印刷技术的视觉效果单一,且普遍使用重污染的重金属和高分子材料的油墨,造成了严重的环境污染。为解决上述问题,本研究探索了一种基于折衍混合结构的无油墨印刷技术。通过微纳结构对光学折射和衍射现象实现了彩色化,并利用莫尔成像... 传统印刷技术的视觉效果单一,且普遍使用重污染的重金属和高分子材料的油墨,造成了严重的环境污染。为解决上述问题,本研究探索了一种基于折衍混合结构的无油墨印刷技术。通过微纳结构对光学折射和衍射现象实现了彩色化,并利用莫尔成像原理突破了传统印刷中难以实现三维和动态视觉效果的瓶颈,提供了丰富的视觉效果。采用激光直写和干涉光刻制版,结合压印技术制备的基于微透镜阵列和光栅结构的印刷品,具有高分辨率、低成本和环境友好的优点。本研究所提出的无油墨印刷技术满足了人们对印刷品质的不断追求,具有巨大的应用潜力。 展开更多
关键词 无油墨印刷 微透镜阵列 莫尔成像 全息光栅
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莫尔成像薄膜的研究和应用进展
17
作者 罗万里 谢一 +2 位作者 张研 郑伟伟 申溯 《印刷与数字媒体技术研究》 CAS 北大核心 2024年第2期1-10,共10页
光场成像是一类新型的成像技术。作为光场成像技术的重要组成部分,莫尔成像薄膜以其优异的三维和动态成像特性,近年来引起人们的广泛关注。本文综述了莫尔成像薄膜的研究和应用进展,主要介绍了莫尔成像薄膜的成像原理,给出了莫尔成像薄... 光场成像是一类新型的成像技术。作为光场成像技术的重要组成部分,莫尔成像薄膜以其优异的三维和动态成像特性,近年来引起人们的广泛关注。本文综述了莫尔成像薄膜的研究和应用进展,主要介绍了莫尔成像薄膜的成像原理,给出了莫尔成像薄膜中人们最为关注的放大倍率、取向角、立体景深和动感参数的基本原理和计算公式。进一步地,讨论了大幅面微透镜阵列模具的制备技术、分辨率大于8000dpi的纳米印刷技术和对准微纳压印技术。最后讨论了莫尔成像技术的未来发展机会和挑战,为莫尔成像薄膜未来在安全防伪、动态显示等方向的应用提供了借鉴。 展开更多
关键词 莫尔现象 微透镜阵列 纳米印刷 防伪
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一种透明全息投影显示屏的研制
18
作者 周雷 吴智华 +3 位作者 浦东林 申溯 周小红 陈林森 《苏州大学学报(工科版)》 CAS 2007年第4期11-14,共4页
研制了一种透明平面全息显示屏。显示屏由全息像素组成,每一个像素都基于散斑的像面全息结构,其中基元光栅起到调制入射光并定向衍射成像的作用。分析了显示屏的视场特性,对不同的参物比对显示屏衍射效率的影响进行了测量和分析。全息... 研制了一种透明平面全息显示屏。显示屏由全息像素组成,每一个像素都基于散斑的像面全息结构,其中基元光栅起到调制入射光并定向衍射成像的作用。分析了显示屏的视场特性,对不同的参物比对显示屏衍射效率的影响进行了测量和分析。全息显示屏具有高亮度和消色散的优点,浮雕型结构便于进行大幅面的快速微纳米压印复制,使得所提出的显示屏具有低成本的工艺优势。 展开更多
关键词 全息显示屏 散斑场 像面全息 衍射效率
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基于菲涅耳变换的盲信息隐藏技术
19
作者 周雷 申溯 《电讯技术》 北大核心 2012年第3期352-356,共5页
在研究双随机相位加密和数字水印技术的基础上,提出了一种新的基于菲涅耳变换的盲信息隐藏方法。该方法将待隐藏水印信息经过透镜组微缩或放大成像后,利用随机相位板进行随机相位加密,然后离轴记录其像全息图像,通过编码将其以适当强度... 在研究双随机相位加密和数字水印技术的基础上,提出了一种新的基于菲涅耳变换的盲信息隐藏方法。该方法将待隐藏水印信息经过透镜组微缩或放大成像后,利用随机相位板进行随机相位加密,然后离轴记录其像全息图像,通过编码将其以适当强度嵌入到原始宿主图像中,从而实现盲信息隐藏。理论分析和仿真实验表明:该方法对JPEG有损压缩、图像剪切、噪声污染、图像旋转、中值滤波等具有一定的抵抗能力,且具有一定安全性、鲁棒性和不可见性,对于提高传输信息的隐蔽性具有重要意义。 展开更多
关键词 信息光学 信息隐藏 数字水印 菲涅耳变换
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同轴环状孔阵列表面抗反射特性研究
20
作者 丁海鹏 邵仁锦 +1 位作者 申溯 陈林森 《苏州大学学报(自然科学版)》 CAS 2012年第3期80-84,共5页
提出了具有增透抗反特性的同轴环状孔阵列纳米结构,利用时域有限差分法(FDTD算法)分析了其光学特性并给出优化的结构.FDTD模拟结果表明,仅由SiO2单层材料构成的纳米结构,其透过率受材料的吸收特性影响极小,主要受表面面形、环状孔内外... 提出了具有增透抗反特性的同轴环状孔阵列纳米结构,利用时域有限差分法(FDTD算法)分析了其光学特性并给出优化的结构.FDTD模拟结果表明,仅由SiO2单层材料构成的纳米结构,其透过率受材料的吸收特性影响极小,主要受表面面形、环状孔内外半径、深度和周期等结构参量影响.在环状孔阵列结构上采用占空比逐渐增大的设计,能有效增加可见光谱区(400~700 nm)的增透抗反特性.并给出了优化后的设计参数:最小内径50 nm,最大外径150 nm,深度200 nm,周期300 nm,其在可见光谱区的平均透射率大于99.5%,且光波在表面法线的±20°范围内入射时,反射率小于0.6%. 展开更多
关键词 同轴环状孔阵列 纳米结构 渐变折射率 增透抗反 时域有限差分法
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