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基于自校正的三坐标机二维平台误差测量技术 被引量：9
1
作者 王道档 邹慧 +2 位作者 郭天太 王晓晓 刘维 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第11期2451-2457,共7页
针对三坐标测量机二维平台的高精度校正问题,提出了一种基于自校正算法的二维平台误差测量方法。利用精度要求低于或等于待测平台的刚性栅格板测量二维平台上多个位姿点的坐标,根据基于最小二乘法的自校正算法得到待测平台的二维平台误... 针对三坐标测量机二维平台的高精度校正问题,提出了一种基于自校正算法的二维平台误差测量方法。利用精度要求低于或等于待测平台的刚性栅格板测量二维平台上多个位姿点的坐标,根据基于最小二乘法的自校正算法得到待测平台的二维平台误差,并对实验结果进行了不确定度分析与验证。实验结果表明,利用该方法可有效地获得待测二维平台误差,测量精度可达到亚微米量级。所提出的三坐标测量机平台误差测量方法具有较高的可靠性,无需昂贵的专用高精度辅助装置,在三坐标测量机二维平台误差的测量和校正中具有较好的实用性。 展开更多
关键词 自校正算法 坐标测量机 最小二乘法 栅格板 误差测量
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基于模板匹配算法的压电微位移器位移量原位测量技术 被引量：6
2
作者 王道档 杨甬英 +2 位作者 骆永洁 刘东 卓永模 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第3期530-535,共6页
针对压电微位移器的位移量高精度测量需要,基于模板匹配算法提出了一种新颖的位移量原位测量方法。利用改进型的Twyman-Green干涉系统对压电微位移器的电压——位移特性曲线进行原位测量,根据模板匹配算法实时计算干涉条纹的移动量,进... 针对压电微位移器的位移量高精度测量需要,基于模板匹配算法提出了一种新颖的位移量原位测量方法。利用改进型的Twyman-Green干涉系统对压电微位移器的电压——位移特性曲线进行原位测量,根据模板匹配算法实时计算干涉条纹的移动量,进而得到对应的压电微位移量,并对相关实验测量结果进行了分析与验证。结果表明,该测量技术具有较高的测量效率以及较好的随机噪声抑制能力,其测量精度和分辨率均可达到纳米量级。该方法属于非接触式测量,具有较高的可靠性,在微位移的高精度原位自动测量中具有较好的实用性。 展开更多
关键词 微位移测量 模板匹配 泰曼——格林干涉系统 原位测量
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高精度球面检测中调整误差的精确校正 被引量：3
3
作者 王道档 杨甬英 +2 位作者 陈晓钰 邵卫红 卓永模 《纳米技术与精密工程》 CAS CSCD 2013年第1期20-26,共7页
针对高精度球面检测中球面的调整误差影响,分别研究了波前离焦和倾斜所引入的Zernike像差项,并以此为基础,提出了基于Zernike系数的高精度球面调整误差校正方法.利用Zygo干涉仪对大数值孔径的待测球面进行了检测,实验中对待测球面同时... 针对高精度球面检测中球面的调整误差影响,分别研究了波前离焦和倾斜所引入的Zernike像差项,并以此为基础,提出了基于Zernike系数的高精度球面调整误差校正方法.利用Zygo干涉仪对大数值孔径的待测球面进行了检测,实验中对待测球面同时引入波前离焦和倾斜误差,再分别运用所提出的校正方法和传统的消倾斜离焦校正方法得到波面数据并进行对比,进而验证了所提出的校正方法的可行性.实验结果表明,利用该方法可有效地校正大数值孔径球面存在调整误差时所引入的球面像差,并且实验中的校正精度达到了0.002λ(λ为检测光波长).提出的基于Zernike系数的球面调整误差校正方法可降低对于调节机构的精度以及检测人员的经验要求,在高精度球面检测中具有非常高的实际应用价值. 展开更多
关键词 调整误差校正 Zernike系数 球面检测 波前离焦 波前倾斜
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基于图像处理的胶囊外形快速检测系统设计 被引量：4
4
作者 王道档 赵超杰 +2 位作者 孔明 郭天太 王英军 《电视技术》 北大核心 2014年第19期216-220,共5页
为了提高胶囊检测的速度和精度,提出了双通道胶囊外形快速检测技术及系统。运用基于图像处理方法的计算机视觉技术,实现对医用空心胶囊外形的快速准确检测。采用近红外以及可见光的双通道方法实现对胶囊360°、两个端面及内部缺陷... 为了提高胶囊检测的速度和精度,提出了双通道胶囊外形快速检测技术及系统。运用基于图像处理方法的计算机视觉技术,实现对医用空心胶囊外形的快速准确检测。采用近红外以及可见光的双通道方法实现对胶囊360°、两个端面及内部缺陷全方位的自动检测。主要通过双阈值分割和方形滑块算法分别实现对胶囊轮廓和胶囊结合体的提取,通过边缘检测以及孔洞填充算法实现对胶囊缺陷的检测。胶囊外形快速检测系统可对多种类型胶囊的多种缺陷进行检测,同时具有速度快、准确率高、系统运行稳定等优点,在医用空心胶囊外形的检测中具有较好的应用性。 展开更多
关键词 计算机视觉 阈值分割 图像处理 边缘检测
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模板匹配算法在高精度压电微位移测量中的应用 被引量：2
5
作者 王道档 杨甬英 +2 位作者 陈琛 刘东 卓永模 《纳米技术与精密工程》 EI CAS CSCD 2010年第4期374-379,共6页
提出了一种压电微位移器的微位移测量方法,即通过模板匹配算法测量Twyman-Green干涉系统中对应干涉条纹的移动量,进而实现对应位移量的高精度测量.为确保测量结果的可靠性,同时利用匹配模板的归一化转动惯量特征对测量结果进行实时验证... 提出了一种压电微位移器的微位移测量方法,即通过模板匹配算法测量Twyman-Green干涉系统中对应干涉条纹的移动量,进而实现对应位移量的高精度测量.为确保测量结果的可靠性,同时利用匹配模板的归一化转动惯量特征对测量结果进行实时验证.应用该测量方法对自制的压电微位移器的电压位移特性曲线进行了实测,并详细分析了模板大小的选取对于测量结果的影响,实验中的归一化转动惯量相对误差均小于5%,且模板匹配互相关系数大于0.97;同时运用一高精度纳米微位移平台对测量方法的可行性进行了实验验证,测量精度达到了λ/50.实验结果表明,运用本方法测量压电微位移,具有较好的噪声抑制能力和可靠性,可实现纳米量级的测量精度. 展开更多
关键词 微位移测量 模板匹配算法 泰曼-格林干涉系统 归一化转动惯量 测量精度
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球面干涉检测中改进的调整误差校正方法 被引量：1
6
作者 王道档 杨甬英 +1 位作者 邵卫红 陈晓钰 《浙江大学学报（工学版）》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第10期1932-1936,共5页
根据球面干涉检测中待测球面调整误差的高阶近似模型,提出新的基于泽尼克多项式拟合的球面调整误差校正方法.该方法根据测得原始面形数据的泽尼克多项式系数以及待测面数值孔径,得到调整误差所引入的低阶和高阶像差量,实现高精度球面调... 根据球面干涉检测中待测球面调整误差的高阶近似模型,提出新的基于泽尼克多项式拟合的球面调整误差校正方法.该方法根据测得原始面形数据的泽尼克多项式系数以及待测面数值孔径,得到调整误差所引入的低阶和高阶像差量,实现高精度球面调整误差校正.通过Zygo干涉仪及大数值孔径待测球面对提出的校正方法进行实验验证,校正精度达到了均方根值近0.001λ、峰谷值0.011λ.实验结果表明,该方法可以实现很高的球面调整误差校正,无需了解实际调整误差量,便于自动化处理,可以降低检测装置中对待测面调节机构精度的要求. 展开更多
关键词 光学检测 泽尼克多项式拟合 调整误差校正 球面 大数值孔径
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优化HHT端点效应的新方法 被引量：5
7
作者 赵军 李林峰 +2 位作者 郭天太 王道档 孔明 《计量学报》 CSCD 北大核心 2016年第5期509-514,共6页
在旋转机械的故障诊断中，希尔伯特-黄变换（HHT）方法常用于提取故障特征信号以及分解结果的时频分析，然而，在HHT中会出现端点效应问题，且导致模态混叠和虚假本征模态函数（IMF）等一系列问题。针对这一问题，提出了利用广义回归神... 在旋转机械的故障诊断中，希尔伯特-黄变换（HHT）方法常用于提取故障特征信号以及分解结果的时频分析，然而，在HHT中会出现端点效应问题，且导致模态混叠和虚假本征模态函数（IMF）等一系列问题。针对这一问题，提出了利用广义回归神经网络（GRNN）和边界局部特征尺度延拓（BLCC）相结合的方法先对信号延拓，再进行经验模式分解（EMD）。通过仿真与故障实验，在时域、频域和希尔伯特-黄谱的相关参数的情况下，对比镜像延拓优化的HHT分解结果，验证了所提方法的有效性。实验结果表明：所述方法能够有效地抑制HHT中的端点效应，且减轻了模态混叠和虚假IMF分量，同时能准确地表现信号的真实结构成分。 展开更多
关键词 计量学 故障诊断 旋转机械 希尔伯特-黄变换 端点效应 模态混叠 边界局部特征尺度延拓法 广义回归神经网络
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以实物制作为手段培养工科学生综合实践能力 被引量：3
8
作者 郭天太 赵军 +2 位作者 孔明 王道档 刘维 《实验室研究与探索》 CAS 北大核心 2016年第4期198-200,共3页
随着社会对综合型、创新型人才的需求越来越明显,对创新人才的培养成了高等院校的首要任务,而对工科专业来讲,对学生综合实践能力的培养则是其重心。为此,提出了"以实物制作为手段,培养工科学生综合实践能力"的综合实践教学模... 随着社会对综合型、创新型人才的需求越来越明显,对创新人才的培养成了高等院校的首要任务,而对工科专业来讲,对学生综合实践能力的培养则是其重心。为此,提出了"以实物制作为手段,培养工科学生综合实践能力"的综合实践教学模式,以培养工科学生的综合实践能力,提高学生的综合素质。对这一实践教学模式的基本理念、实施、教学改革实践及实施效果进行了介绍。教学改革实践表明,该模式取得了较好的成效。 展开更多
关键词 综合实践能力 实物制作 教学改革 人才培养
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“光学三维测量技术”专栏序言 被引量：3
9
作者 祝连庆 雷李华 王道档 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2019年第5期I0003-I0004,共2页
随着现代检测技术的进步,特别是计算机技术以及图像处理技术等高新技术的深入发展,光学式三维测量技术逐步成为人们研究的重点。客观景物三维信息的获取是计算机辅助设计、三维重建以及三维成像技术中的基础环节,被测物体的三维信息的... 随着现代检测技术的进步,特别是计算机技术以及图像处理技术等高新技术的深入发展,光学式三维测量技术逐步成为人们研究的重点。客观景物三维信息的获取是计算机辅助设计、三维重建以及三维成像技术中的基础环节,被测物体的三维信息的快速、准确的获得在虚拟现实、逆向工程、生物与医学工程等领域有着广泛的应用。 展开更多
关键词 三维测量技术 光学式 计算机辅助设计 序言 图像处理技术 三维成像技术 三维信息 计算机技术
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动态变化场的高速高精度实时干涉检测 被引量：2
10
作者 杨甬英 刘东 +1 位作者 王道档 卓永模 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2008年第5期757-760,共4页
利用数字化的干涉技术对受温度、压力、湍流等具有大畸变的动态变化场波前实现高速高精度实时化的检测是非常需要的。介绍了一种基于空间位相调制的径向剪切干涉系统,配以具有连续与脉冲光于一体的半导体泵浦固体激光器,结合一种新颖的... 利用数字化的干涉技术对受温度、压力、湍流等具有大畸变的动态变化场波前实现高速高精度实时化的检测是非常需要的。介绍了一种基于空间位相调制的径向剪切干涉系统,配以具有连续与脉冲光于一体的半导体泵浦固体激光器,结合一种新颖的高速图像采集同步控制系统,可以对各种连续及动态变化场波前实现共路干涉、无需参考面的瞬态、高精度的检测,波前图像采集频率在像素512×512时可达到1000帧/s以上。系统的波前重构理论都经过了计算机仿真验证,仿真精度达1/1000λ以上。与ZYGO数字波面干涉仪相比,检测结果RMS优于1/15λ,并有很好的重复性;目前该系统已用于惯性约束聚变(ICF)等系统的脉冲波前检测,并且在航空航天、流体、流场的各类物理量的检测领域具有广泛的应用前景。 展开更多
关键词 剪切干涉仪 高速图像采集系统 流场 脉冲激光 空间位相调制
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适于大口径精密光学表面疵病图像的拼接算法 被引量：2
11
作者 肖冰 杨甬英 +3 位作者 高鑫 刘东 王道档 卓永模 《浙江大学学报（工学版）》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第2期375-381,共7页
在大口径精密光学表面疵病检测中,针对原有图像拼接算法在子孔径图像数目较多时易产生拼接错位的情况,提出了基于特征分类的多层次图像拼接算法.该算法分为特征分类和多层次拼接2部分:前一部分通过重叠区域内特征的提取和分类,将所有子... 在大口径精密光学表面疵病检测中,针对原有图像拼接算法在子孔径图像数目较多时易产生拼接错位的情况,提出了基于特征分类的多层次图像拼接算法.该算法分为特征分类和多层次拼接2部分:前一部分通过重叠区域内特征的提取和分类,将所有子孔径图像的重叠区域分为4类;后一部分针对4类重叠区域的不同特点,进行4轮拼接,最终得到全景图像.结果表明,该算法能有效避免由导轨累积定位误差和缺陷贯穿数个子孔图像的贯穿型直线特征导致的拼接错位,且较原有算法效率更高.因此,该算法对于实现大口径光学元件表面疵病的高分辨率检测具有重要意义. 展开更多
关键词 疵病检测 图像拼接 特征分类
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基于坐标法的特大齿轮螺旋线偏差计算方法研究 被引量：2
12
作者 赵军 陆首创 +2 位作者 郭天太 孔明 王道档 《中国计量大学学报》 2017年第1期23-28,共6页
为了解决特大齿轮的测量难题,提出一种计算特大齿轮螺旋线偏差的方法,并建立了相应的数学模型.使用三坐标测量机测量斜齿圆柱齿轮,得到齿面坐标数据,计算出齿轮螺旋线偏差,并与齿轮测量中心结果进行比较和分析.结果表明,对于任意圆柱齿... 为了解决特大齿轮的测量难题,提出一种计算特大齿轮螺旋线偏差的方法,并建立了相应的数学模型.使用三坐标测量机测量斜齿圆柱齿轮,得到齿面坐标数据,计算出齿轮螺旋线偏差,并与齿轮测量中心结果进行比较和分析.结果表明,对于任意圆柱齿轮,该方法计算得出的齿轮螺旋线偏差与齿轮测量中心评定结果误差小于14μm,该方法可运用于特大齿轮螺旋线偏差的计算. 展开更多
关键词 特大齿轮 齿轮轴线 螺旋线偏差
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基于片光的货车侧面防护栏安装尺寸测量 被引量：1
13
作者 孔明 王英军 +2 位作者 单良 赵军 王道档 《计算机测量与控制》 2016年第1期28-30,34,共4页
提出了一种基于片光的货车侧面防护装置安装尺寸的测量方法;将线激光光源和摄像机固定在线性传动机构上,通过装置的线性移动,使激光光束在货车侧表面上产生移动,并用相机采集运动过程中的图像,利用激光三角法原理,对采集到的时序图像进... 提出了一种基于片光的货车侧面防护装置安装尺寸的测量方法;将线激光光源和摄像机固定在线性传动机构上,通过装置的线性移动,使激光光束在货车侧表面上产生移动,并用相机采集运动过程中的图像,利用激光三角法原理,对采集到的时序图像进行处理,实现对货车侧表面轮廓的三维重建,从而实现对货车侧面防护装置安装尺寸的测量;该方法避免了在普通视觉二维测量过程中,由于防护栏与前后轮胎不共面而造成的测量误差;通过对搭建的实验平台进行的研究表明,测量误差小于1mm,远小于原二维测量方案测量精度10mm,完全满足系统设计的要求。 展开更多
关键词 货车侧面防护装置 激光三角法 片光 尺寸测量
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基片表面的倾斜度对光学势阱的影响 被引量：1
14
作者 张宝武 支理想 王道档 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2014年第3期380-383,共4页
为了研究原子光刻实验中基片对汇聚激光场的影响,基于几何光学,采用数值仿真的方法,研究了基片表面的倾斜度对光学势阱的影响。结果表明,当基片表面相对于激光驻波中轴线正倾斜时,基片表面会形成一个无光场区,使光学势阱为0,且在z方向... 为了研究原子光刻实验中基片对汇聚激光场的影响,基于几何光学,采用数值仿真的方法,研究了基片表面的倾斜度对光学势阱的影响。结果表明,当基片表面相对于激光驻波中轴线正倾斜时,基片表面会形成一个无光场区,使光学势阱为0,且在z方向上光学势阱会发生一个零值突变;当基片表面相对于驻波中轴线负倾斜时,基片表面永远存在光场,在z方向上光学势阱不会发生零值突变,且光学势阱相对于z=0会出现对称现象。该研究结果对激光汇聚原子沉积实验具有指导意义。 展开更多
关键词 激光技术 激光驻波场 高斯激光 倾斜度
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VirtualLab Fusion对SNOM光纤探针内部光场分布的仿真
15
作者 张宝武 饶鹏辉 +3 位作者 Francesco Fuso 霍剑锋 余桂英 王道档 《中国计量大学学报》 2017年第1期17-22,共6页
为了深入研究扫描近场光学显微镜(Scanning near-field optical microscope,SNOM)光纤探针导光特性,我们利用VirtualLab Fusion光学软件,仿真研究了光纤探针内部的光场分布.结果显示,光纤探针内部的光场分布呈固定的花样;中轴线光场具... 为了深入研究扫描近场光学显微镜(Scanning near-field optical microscope,SNOM)光纤探针导光特性,我们利用VirtualLab Fusion光学软件,仿真研究了光纤探针内部的光场分布.结果显示,光纤探针内部的光场分布呈固定的花样;中轴线光场具有峰值结构,其最大值位于探针出口前120nm处;这个最大峰值随着光纤外层铝层厚度的增加呈现先减小后增加,最后趋于稳定的变化,随着光源偏振态的变化呈现正弦的分布. 展开更多
关键词 扫描近场光学显微镜 光纤探针 VirutalLab Fusion软件 偏振态
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面向考研与就业不同需求的本科生培养模式研究
16
作者 郭天太 赵军 +2 位作者 孔明 王道档 刘维 《科技创新导报》 2015年第21期19-20,共2页
随着我国高等教育大众化进程的加快,本科生考研的人数近年来大大增加。在这一背景下,如何实现具有不同就业需求的本科生人才培养,已成为高等教育领域越来越受到重视的热点问题。针对这一现状,该文提出"面向考研与就业不同需求的本... 随着我国高等教育大众化进程的加快,本科生考研的人数近年来大大增加。在这一背景下,如何实现具有不同就业需求的本科生人才培养,已成为高等教育领域越来越受到重视的热点问题。针对这一现状,该文提出"面向考研与就业不同需求的本科生培养模式",以最大限度地满足本科生毕业后就业和考研的不同需要。该文介绍了这一培养模式的基本框架,并以中国计量学院测控技术与仪器专业为试点单位,进行了教学改革实践,取得了良好的成效。 展开更多
关键词 培养模式 测控技术与仪器 教学改革 人才培养
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条纹投影与相位偏折测量技术研究进展 被引量：17
17
作者 刘东 严天亮 +2 位作者 王道档 杨甬英 黄玮 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2017年第9期185-194,共10页
条纹投影和相位偏折测量术可用于精确地测量待测物面形,在全场光学三维轮廓测量领域具有较好的发展前景。首先,介绍了条纹投影和相位偏折测量技术的基本原理,重点是这两种技术中的相位提取技术、摄像机定标技术等关键技术。其次,对条纹... 条纹投影和相位偏折测量术可用于精确地测量待测物面形,在全场光学三维轮廓测量领域具有较好的发展前景。首先,介绍了条纹投影和相位偏折测量技术的基本原理,重点是这两种技术中的相位提取技术、摄像机定标技术等关键技术。其次,对条纹投影和相位偏折测量术这两种测量方法的异同点做了对比。最后,介绍了条纹投影和相位偏折测量技术在提升测量精度和速度方面的发展。为了提升测量精度,主要有校正条纹Gamma效应、提升相位提取精度、摄像机标定精度和相位-高度/梯度标定精度等途径;为了提升测量速度,主要有提升相位提取速度、相位解包裹速度等方法。 展开更多
关键词 条纹投影轮廓测量 相位偏折测量 对比 精度 速度
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智能化快速检测胶囊外形缺陷仪
18
作者 胡佳丽 郭天太 +2 位作者 吴聿聪 王道档 赵超杰 《中国科技信息》 2015年第16期106-107,共2页
传统的胶囊分拣方法效率低、漏检率高,会对胶囊质量造成巨大影响。针对这一问题,将图像处理技术应用于胶囊外形缺陷的检测,开发了一种胶囊外形缺陷智能化快速检测仪,能够实现对医用空心胶囊表面缺陷的全方位检测。对该仪器的总体结构与... 传统的胶囊分拣方法效率低、漏检率高,会对胶囊质量造成巨大影响。针对这一问题,将图像处理技术应用于胶囊外形缺陷的检测,开发了一种胶囊外形缺陷智能化快速检测仪,能够实现对医用空心胶囊表面缺陷的全方位检测。对该仪器的总体结构与工作原理,以及其中的关键部分图像采集模块、图像处理模块和筛选控制模块进行介绍。该仪器检测速度快,误检率小,在医用空心胶囊外形缺陷的检测中具有较好的实用性。 展开更多
关键词 快速检测仪 空心胶囊 外形缺陷 智能化 结构与工作原理 图像处理技术 图像采集模块 图像处理模块
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用于在线检测的紧凑型多测量模式干涉仪 被引量：4
19
作者 王道档 相超 +2 位作者 朱其幸 孔明 许新科 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2020年第6期233-239,共7页
光学干涉仪由于高精度、全口径、非接触特点在光学元件的检测中具有极其广泛的应用。针对光学元件加工在线检测需要,提出了一种紧凑型的多测量模式瞬态干涉仪。该系统可同时实现单波长激光干涉、多波长激光干涉以及LED干涉显微测量等多... 光学干涉仪由于高精度、全口径、非接触特点在光学元件的检测中具有极其广泛的应用。针对光学元件加工在线检测需要,提出了一种紧凑型的多测量模式瞬态干涉仪。该系统可同时实现单波长激光干涉、多波长激光干涉以及LED干涉显微测量等多种工作模式,以分别满足不同动态范围宏观面形以及表面粗糙度等显微结构的干涉检测。针对在线检测应用中复杂的环境振动影响,系统采用偏振相机来实现瞬态的偏振移相波前检测。为验证系统方案的可行性,对测量系统的主要误差因素进行了分析,并对不同工作模式下的金刚石车削机床在线检测结果与Zygo激光干涉仪和Zygo光学轮廓仪进行了比对实验,同时也利用多波长技术对自由曲面进行了在线检测。结果表明该系统可实现高精度的多测量模式,并且还可以满足大动态范围波前测量要求。该系统结构紧凑,整体尺寸仅为195 mm×160 mm×65 mm,极其适合车削机床的在线安装及检测。同时系统基于瞬态波前检测,具有对环境扰动不敏感的特点,在机床对中工具在线调整以及加工元件等在线检测中具有广泛的应用前景。 展开更多
关键词 在线检测 干涉仪 瞬态波前 多工作模式
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用于三维测量的双路点衍射干涉系统 被引量：3
20
作者 王道档 王志超 +2 位作者 赵军 王朝 孔明 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第9期2146-2153,共8页
针对在仅有一个光纤对的单路点衍射三维测量系统中,存在平行于条纹的横向方向上测量精度低的问题,提出了用于三维测量的双路点衍射干涉系统。分析了点衍射波前误差、测量探头结构布局以及三维迭代重构算法对于三维测量精度的影响,在此... 针对在仅有一个光纤对的单路点衍射三维测量系统中,存在平行于条纹的横向方向上测量精度低的问题,提出了用于三维测量的双路点衍射干涉系统。分析了点衍射波前误差、测量探头结构布局以及三维迭代重构算法对于三维测量精度的影响,在此基础上确定点衍射源结构以及探头结构布局等最优系统参数。实验结果显示,单路点衍射干涉三维测量系统在xy方向的精度分别为亚微米量级和微米量级,而双路点衍射干涉仪系统可在三维方向上同时达到亚微米量级,验证了所提出的双路点衍射干涉系统方案的可行性和准确性。所提出的双路点衍射干涉系统有效的实现高精度三维测量,为无导轨三维位移和尺寸等测量提供了一种可行方法。 展开更多
关键词 三维测量 双路点衍射干涉系统 亚微米孔径光纤 精度 点衍射波前
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