设计了基于压差传感器和比例阀控制的流量控制器,在高低压区间采用不同PID控制算法。在所设计的气流流量控制器控制范围是0~600 m L/min,其最大响应时间不超过2 s,最大过冲不超过2.7 m L/min,控制稳定状态下瞬时最大误差不超过±4 m...设计了基于压差传感器和比例阀控制的流量控制器,在高低压区间采用不同PID控制算法。在所设计的气流流量控制器控制范围是0~600 m L/min,其最大响应时间不超过2 s,最大过冲不超过2.7 m L/min,控制稳定状态下瞬时最大误差不超过±4 m L/min,精度优于0.7%。展开更多