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LPCVD制备二氧化硅薄膜工艺中防颗粒污染技术
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作者 樊坤 黄志海 +2 位作者 王理正 王志伟 苏子懿 《电子工艺技术》 2025年第2期52-55,共4页
二氧化硅(SiO_(2))薄膜制备作为集成电路制造工艺中重要的一个步骤,在芯片的制造过程中具有多种用途,但易受颗粒污染造成产品不良。对采用TEOS源LPCVD法沉积SiO_(2)膜颗粒污染的方法进行了探索,设计了一种用于防颗粒污染的机构,该机构... 二氧化硅(SiO_(2))薄膜制备作为集成电路制造工艺中重要的一个步骤,在芯片的制造过程中具有多种用途,但易受颗粒污染造成产品不良。对采用TEOS源LPCVD法沉积SiO_(2)膜颗粒污染的方法进行了探索,设计了一种用于防颗粒污染的机构,该机构主要包括微环境系统和温度控制系统,重点介绍了立式LPCVD设备工艺颗粒来源、微环境系统和温度控制系统结构组成,以及微环境系统和温度控制系统的应用效果。 展开更多
关键词 半导体 CVD 温度控制 微环境 颗粒污染 二氧化硅
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基于ECA注意力机制改进的EfficientNet-E模型的森林火灾识别 被引量:2
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作者 周浪 樊坤 +1 位作者 瞿华 张丁然 《华南理工大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第2期42-49,共8页
火灾的发生给社会带来了巨大损失,森林火灾防治任务日益迫切,而全球变暖的趋势使得这一问题更加复杂。深度学习在各行各业发挥着重要作用,大量模型也被不断地设计和提出,且模型改进的方式多种多样。文中提出了EfficientNet-E模型,它利... 火灾的发生给社会带来了巨大损失,森林火灾防治任务日益迫切,而全球变暖的趋势使得这一问题更加复杂。深度学习在各行各业发挥着重要作用,大量模型也被不断地设计和提出,且模型改进的方式多种多样。文中提出了EfficientNet-E模型,它利用更为先进的ECA模块(高效通道注意力模块)来替换EfficientNet模型中的SE模块,通过增强注意力机制性能提升模型的性能。相较于SE模块,ECA模块更好地保留了传输中的信息,使得数据特征在传输过程中保留更充分,从而能够优化模型。为验证EfficientNet-E模型的性能,以及EfficientNet设计思想在森林火灾识别问题上相较于传统模型的优势,文中选取了经典模型中的代表——ResNet和DenseNet作为对照参考,并结合EfficientNet和EfficientNet-E进行了相关实验。实验选用3303张森林火灾、非火灾和烟雾图片。多轮试验结果显示,EfficientNet-E在识别森林火灾数据上的效果要好于常规的经典深度学习模型,且相较于原始EfficientNet的平均准确率(89.28%),EfficientNet-E的平均准确率(90.04%)有所提升,标准差更小,训练稳定性也更好,从而证实了改进后的EfficientNet-E性能更加优良。 展开更多
关键词 深度学习 图像识别 森林火灾 EfficientNet-E 注意力机制
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实验动物的常见采血方法综述
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作者 党熙媛 张光伟 +8 位作者 刘若石 樊坤 孔德民 雍诺涵 杨佳欣 王子熠 贺敬媛 刘馨云 杨刚 《临床医学进展》 2025年第2期1021-1029,共9页
采血作为动物实验和研究中不可或缺的一个环节,对最终实验数据的可靠性和准确性有着至关重要的作用。合适的采血方法,不仅可以降低由个体差异所造成的实验误差和实验动物的用量,还能够提高实验效率。本文主要回顾总结了针对不同环境下... 采血作为动物实验和研究中不可或缺的一个环节,对最终实验数据的可靠性和准确性有着至关重要的作用。合适的采血方法,不仅可以降低由个体差异所造成的实验误差和实验动物的用量,还能够提高实验效率。本文主要回顾总结了针对不同环境下实验动物的采血量的选择和常用采血方法的介绍,注重医学伦理,推进实验动物科学化进程,提高相关实验采集数据的安全有效性和结果准确性。Blood collection, as an indispensable part of animal experiments and research, plays a crucial role in the rationality and accuracy of the final experimental data. Finding a suitable blood collection method can reduce experimental errors caused by individual differences and the amount of experimental animals used, and also improve experimental efficiency. This treatise primarily appraised and encapsulated the determination of blood collection volumes for experimental animals across diverse environmental contexts, along with an explication of prevalent blood withdrawal methodologies. It placed particular emphasis on the principles of medical ethics, thereby enhancing the scientific rigor of experimental animal research and elevating the reliability and precision of the resultant experimental data and findings. 展开更多
关键词 实验动物 采血方法 实验动物福利
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立式LPCVD设备的设计
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作者 陈庆广 樊坤 +2 位作者 赵瓛 黄志海 郑红应 《电子工艺技术》 2025年第2期45-48,共4页
针对传统的卧式炉特点,从目前8~12英寸90 nm到28 nm制程的工艺需求出发,提出了一种立式LPCVD设备设计方案。设备对标国际主流应用装备,结合主流FAB产线大尺寸晶圆、高温度均匀性、颗粒污染控制、全自动控制的需求,进行了设备的针对性设... 针对传统的卧式炉特点,从目前8~12英寸90 nm到28 nm制程的工艺需求出发,提出了一种立式LPCVD设备设计方案。设备对标国际主流应用装备,结合主流FAB产线大尺寸晶圆、高温度均匀性、颗粒污染控制、全自动控制的需求,进行了设备的针对性设计。产线验证结果表明,设备各项关键技术指标均满足工艺要求。 展开更多
关键词 立式LPCVD 颗粒 金属污染 膜厚
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新型复合铜缓蚀剂200号在火电厂的应用 被引量:2
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作者 樊坤 吕春芳 +3 位作者 李建玺 李志军 林根仙 杨坚 《热力发电》 CAS 北大核心 2001年第6期47-49,共3页
叙述了火电厂凝汽器铜管腐蚀和铜管保护面临的问题以及采用新型复合铜缓蚀剂对其进行保护的效果。
关键词 凝汽器 腐蚀 复合铜缓蚀剂 协同效应 汽轮机 火力发电厂
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随机双目标焊接车间调度建模与仿真 被引量:2
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作者 樊坤 张人千 夏国平 《系统仿真学报》 CAS CSCD 北大核心 2009年第13期3906-3909,3913,共5页
针对一个生产大型机械产品(如架桥机等)的企业的焊接车间的调度问题进行研究,对m位工人加工n个结构件的随机调度问题建立数学模型,并以最小化最大的加工完成时间的期望与方差为优化目标。为求解该模型,对二进制粒子群算法(BPSO)进行改进... 针对一个生产大型机械产品(如架桥机等)的企业的焊接车间的调度问题进行研究,对m位工人加工n个结构件的随机调度问题建立数学模型,并以最小化最大的加工完成时间的期望与方差为优化目标。为求解该模型,对二进制粒子群算法(BPSO)进行改进,并采用动态领域策略、新的粒子个体极值选择以及一维优化方法求解双目标优化问题。通过实例仿真,结果证实修改后的算法是有效的,并能够找到Pareto前沿解。 展开更多
关键词 调度 双目标 PARETO 二进制粒子群优化(BPSO)
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混合多处理机任务作业车间调度问题的仿真研究 被引量:1
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作者 樊坤 翟亚飞 +1 位作者 李心宁 周浪 《制造业自动化》 CSCD 2018年第12期94-99,共6页
针对现代钢结构制造企业车间生产中工件的一道加工工序需要不止一台处理机(工人、设备等)同时加工处理的情景,建立了混合多处理机任务作业车间调度模型。同时,结合企业生产过程中快速改变生产环境的生产方式,利用PlantSimulation仿真软... 针对现代钢结构制造企业车间生产中工件的一道加工工序需要不止一台处理机(工人、设备等)同时加工处理的情景,建立了混合多处理机任务作业车间调度模型。同时,结合企业生产过程中快速改变生产环境的生产方式,利用PlantSimulation仿真软件实现仿真模型。此外,针对遗传算法局部搜寻能力较弱设计混合优先调度规则的混合遗传算法对仿真模型进行优化。最后,通过算例对仿真模型和优化算法进行验证,并针对某钢结构车间的实际生产问题进行调度安排。 展开更多
关键词 钢结构车间 混合多处理机任务 调度管理 仿真优化
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基于任务驱动教学法和项目教学法的研究生课程教学探讨——以“电子商务研究专题”课程为例 被引量:8
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作者 樊坤 尤薇佳 《中国林业教育》 2018年第4期32-35,共4页
"电子商务研究专题"是北京林业大学电子商务学科研究生的专业学位课程,是一门介绍电子商务领域基础和前沿问题的课程,目前的教学处于摸索阶段,需要不断进行教学改革探索。针对"电子商务研究专题"课程的特点,构建了... "电子商务研究专题"是北京林业大学电子商务学科研究生的专业学位课程,是一门介绍电子商务领域基础和前沿问题的课程,目前的教学处于摸索阶段,需要不断进行教学改革探索。针对"电子商务研究专题"课程的特点,构建了该课程的教学体系。在教学内容上,尽可能地体现出林业行业的特色;在教学方法上,采用任务驱动和项目教学相结合的方法,提出基于这2种教学法的学术论文研读和项目/课题申请书撰写的教学设计。教学实践证明,该教学方法取得了较好的教学效果。 展开更多
关键词 电子商务 研究生课程 任务驱动 项目教学
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参加创业类大赛对大学生实践能力的影响及其效果评估 被引量:6
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作者 樊坤 呼鑫 王璐 《中国林业教育》 2015年第4期7-12,共6页
为了适应我国就业市场对大学生创新和实践能力越来越高的要求,基于大学生实践能力评估指标体系的构建,设计了"参加创业类大赛对大学生实践能力的影响及其效果评价"调查问卷,并选择北京林业大学在校生为调查对象,对大学生实践... 为了适应我国就业市场对大学生创新和实践能力越来越高的要求,基于大学生实践能力评估指标体系的构建,设计了"参加创业类大赛对大学生实践能力的影响及其效果评价"调查问卷,并选择北京林业大学在校生为调查对象,对大学生实践能力培养的需求意愿、渠道以及大学生参加创业类大赛的目的、获得的成果和面临的问题等进行了调查分析,运用卡方检验对大学生参加创业类大赛次数与实践能力提升程度的相关性进行了统计分析。同时,基于问卷调查的描述性统计分析结果,采用模糊综合评价法,对参加创业类大赛对大学生实践能力的影响及其效果进行了评估。问卷调查结果显示,参加创业类大赛对大学生实践能力的提升能够起到积极的作用。因此,高校应采取加强专业实践课程的建设、充分发挥教师的指导作用、强化高校与企业的合作等措施,进一步发挥参加创业类大赛在提高大学生实践能力方面所起的作用。 展开更多
关键词 大学生 实践能力 创业类大赛 问卷调查
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用GB6913.3-86测定阻垢缓蚀剂中总磷存在的问题与改进
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作者 樊坤 黄善锋 +6 位作者 陈浩 史庆琳 田利 罗奖合 王广珠 张建福 黄晓忠 《热力发电》 CAS 北大核心 2007年第4期91-92,79,共3页
对GB6913.3-86《锅炉用水和冷却水分析方法磷酸盐的测定总磷酸盐》测定阻垢缓蚀剂中总磷酸盐误差大的问题进行研究,通过试验认为加热分解时间短是引起误差的主要原因,找出了消除误差的方法,从而拓展了该方法的适用范围。
关键词 原水 锅炉水 冷却水 总磷酸盐测定 加热分解 阻垢缓蚀剂
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复合绝缘子高温硫化硅橡胶紫外辐射研究 被引量:12
11
作者 李国芳 虞澜 +5 位作者 覃永雄 杨锡阶 宋世金 张善刚 樊坤 董鹍 《辐射研究与辐射工艺学报》 CAS CSCD 2015年第4期18-25,共8页
采用自行设计的可调式紫外老化试验箱对A、B两个厂家的HTV硅橡胶进行了紫外辐射(0-1000 h)加速老化实验,辐射光波长320-750 nm。通过辐射前后试样的拉伸实验、硬度、体积电阻率、表面电阻率、击穿强度及憎水性测试,以及傅里叶变换红外光... 采用自行设计的可调式紫外老化试验箱对A、B两个厂家的HTV硅橡胶进行了紫外辐射(0-1000 h)加速老化实验,辐射光波长320-750 nm。通过辐射前后试样的拉伸实验、硬度、体积电阻率、表面电阻率、击穿强度及憎水性测试,以及傅里叶变换红外光谱(FTIR)测试分析,探讨紫外辐射下硅橡胶试样的力学性能、电气性能及其变化机理。试验结果表明:经紫外辐射后,A试样拉伸强度由6.4 MPa下降到4.6 MPa,降幅为28%,B试样由5.1 MPa下降到4.6 MPa,降幅为9%;A试样拉断伸长率由156%下降到76%,降幅为51.3%,B试样由247%下降到148%,降幅为40.1%;硬度增大了1-2度;体积电阻率、表面电阻率和击穿强度均有不同程度的减小;憎水性降低了1-2级。A、B试样经紫外辐射后力学性能和电气性能均有所降低。 展开更多
关键词 高温硫化硅橡胶 紫外老化 力学性能 电气性能 红外光谱
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海水循环冷却技术的研究与应用现状 被引量:10
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作者 王广珠 李承蓉 +7 位作者 周金德 罗奖合 汪德良 樊坤 丁建河 任清洁 陈宝琪 黄晓忠 《热力发电》 CAS 北大核心 2007年第11期68-71,共4页
扼要介绍了海水循环冷却技术的应用现状、技术关键及阻污垢、防腐、防海生物附着、海水冷却等,并介绍了西安热工研究院有限公司在海水循环冷却技术方面的最新研究成果,探讨了该技术在火电厂的应用前景。
关键词 火力发电厂 循环冷却水 海水循环冷却 淡水资源
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林产品电子商务研究现状与展望 被引量:14
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作者 王璐 樊坤 尤薇佳 《林业经济问题》 北大核心 2015年第6期562-567,共6页
林产品企业的电子商务化逐渐成为一种趋势。在对林产品电子商务进行定义并介绍了电子商务研究进展的基础上,从林产品电子商务模式、林产品电子商务技术及其应用、林产品电子商务平台和网站、林产品电子商务评价4个角度对林产品电子商务... 林产品企业的电子商务化逐渐成为一种趋势。在对林产品电子商务进行定义并介绍了电子商务研究进展的基础上,从林产品电子商务模式、林产品电子商务技术及其应用、林产品电子商务平台和网站、林产品电子商务评价4个角度对林产品电子商务研究进行分类综述,最后讨论了研究不足和未来的研究方向。 展开更多
关键词 林产品 电子商务模式 电子商务技术 电子商务平台 电子商务评价
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基于BPSO的web服务推荐策略 被引量:5
14
作者 蔡华利 刘鲁 +1 位作者 樊坤 王理 《深圳大学学报(理工版)》 EI CAS 北大核心 2010年第1期49-55,共7页
为解决web服务的优化选择,提出一种基于离散二进制粒子群算法(binary particle swarm optimization,BPSO)的web服务推荐策略.用数学方法阐述基于服务质量(quality of service,QoS)的业务组合,将业务单元组合转换到服务组合,给出不同服... 为解决web服务的优化选择,提出一种基于离散二进制粒子群算法(binary particle swarm optimization,BPSO)的web服务推荐策略.用数学方法阐述基于服务质量(quality of service,QoS)的业务组合,将业务单元组合转换到服务组合,给出不同服务组合模式下的QoS属性值计算公式,提出web服务集和嵌套概念,对具有嵌套模式的服务组合进行逐一遍历.将基于QoS的web服务组合优化问题看成是多目标优化决策问题,提出基于BPSO的web服务组合优化数学模型,利用目标加权法简化多目标决策问题.对BPSO进行改进,构建了基于BPSO的web服务推荐仿真系统,仿真表明,该方法高效可行. 展开更多
关键词 计算机应用 离散二进制粒子群优化 WEB服务 QOS属性 多目标优化
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Ti基钎料在TiAl基合金表面上润湿性的研究 被引量:1
15
作者 樊坤 康慧 +1 位作者 曲平 朱颖 《北京航空航天大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第4期387-390,共4页
采用真空钎焊的方法 ,分别在 91 0℃和 1 0 0 0℃对 37.5Ti 37.5Zr 1 5Cu 1 0Ni钎料在TiAl基合金表面上的润湿性进行研究 ,结果证明钎焊温度越高 ,该钎料的润湿性越好 .分析表明在高温下该Ti基钎料润湿性的改善不仅仅与表面张力的降低有... 采用真空钎焊的方法 ,分别在 91 0℃和 1 0 0 0℃对 37.5Ti 37.5Zr 1 5Cu 1 0Ni钎料在TiAl基合金表面上的润湿性进行研究 ,结果证明钎焊温度越高 ,该钎料的润湿性越好 .分析表明在高温下该Ti基钎料润湿性的改善不仅仅与表面张力的降低有关 。 展开更多
关键词 钎料 润湿性 TIAL基合金 Ti基钎料
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钛铝基合金钎焊技术的研究现状 被引量:3
16
作者 樊坤 康慧 +1 位作者 朱颖 曲平 《焊接技术》 2004年第1期3-5,共3页
钛铝基合金是一种具有实用前景的轻质高温结构材料,并有可能取代现役的镍基高温合金而成为未来航空航天领域重要的高温结构材料,而钛铝基合金的实际工程应用必然涉及到自身及其与其它金属构件的连接问题。简要叙述了钛铝基合金连接技术... 钛铝基合金是一种具有实用前景的轻质高温结构材料,并有可能取代现役的镍基高温合金而成为未来航空航天领域重要的高温结构材料,而钛铝基合金的实际工程应用必然涉及到自身及其与其它金属构件的连接问题。简要叙述了钛铝基合金连接技术的研究状况,主要针对钛铝基合金的钎焊技术研究现状进行了较为详细的介绍,指出进一步开展钛铝基合金的钎焊工艺和基础理论的研究,对推动钛铝基合金实用化具有重要的意义。 展开更多
关键词 钛铝基合金 连接技术 钎焊 研究现状
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基于Zigbee树形组网的无线采集系统及其在振动监测中的应用 被引量:2
17
作者 樊坤 朴洋 +2 位作者 周全 王小钊 罗伟 《机械与电子》 2011年第7期33-36,共4页
针对接触网的振动在线测试,以CC2430芯片为核心,设计了无线传输采集系统的硬件和软件.采用串口使PC机与上位机进行通信,并通过中继器实现树形组网延长数据传输距离.所开发的系统,成功应用于某高铁客专的牵引供电接触网振动测试,包括腕... 针对接触网的振动在线测试,以CC2430芯片为核心,设计了无线传输采集系统的硬件和软件.采用串口使PC机与上位机进行通信,并通过中继器实现树形组网延长数据传输距离.所开发的系统,成功应用于某高铁客专的牵引供电接触网振动测试,包括腕臂的振动加速度和动态应变的采集,把采集的数据存储在存储器中,避免了列车通过时瞬间大电流所产生的强磁场对通信系统的干扰,通过PC机向下位机发送指令是否传回采集的数据,实现了数据的可靠传输.现场试验证明,该系统组网灵活、传输可靠且功耗低. 展开更多
关键词 ZIGBEE技术 CC2430 振动测试 中继 数据存储
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网络并行计算中多处理机任务调度问题研究 被引量:4
18
作者 王蒙 樊坤 +1 位作者 翟亚飞 李心宁 《计算机工程与应用》 CSCD 北大核心 2017年第10期264-270,共7页
在网络并行计算系统中,具有多处理机任务需求的多步骤调度是一类常见问题,为此提出一种混合了多处理机任务调度(Multiprocessor Task Scheduling,MTS)和作业车间调度(Job-shop Scheduling Problem,JSP)的调度模型,即多处理机任务作业车... 在网络并行计算系统中,具有多处理机任务需求的多步骤调度是一类常见问题,为此提出一种混合了多处理机任务调度(Multiprocessor Task Scheduling,MTS)和作业车间调度(Job-shop Scheduling Problem,JSP)的调度模型,即多处理机任务作业车间调度(Multiprocessor Task Job-shop Scheduling Problem,MTJSP)。与传统MTS不同的是MTJSP的每项任务的完成都要经历多个步骤。首先对m台处理机加工n项任务的MTJSP调度问题建立数学模型,然后设计了一种混合粒子群优化(Hybrid Particle Swarm Optimization,HPSO)算法进行求解。算法的改进工作包括:设计出针对多处理机问题的解码策略;采用新的粒子更新方式;增加记忆库功能,以保证全局最优解的多样性;加入基于模拟退火的局部搜索功能。大量的仿真实验验证HPSO的性能,结果显示HPSO不但能够有效解决MTJSP问题,在求解经典JSP问题中也表现优良。 展开更多
关键词 多处理机任务 作业车间调度 粒子群优化算法 局部搜索
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大众媒介与客家非物质文化遗产的保护和发展——以于都唢呐为例 被引量:4
19
作者 樊坤 方观音 《赣南师范学院学报》 2014年第5期17-20,共4页
客家文化的传播和发展是当前学术界探讨的重要课题。于都唢呐是客家文化的重要组成部分,现已被列为非物质文化遗产。近年来于都唢呐日益得到保护和发展,这与大众媒介的普遍化是密切相关的。文化传播的媒介化,是于都唢呐发展的一个必然趋... 客家文化的传播和发展是当前学术界探讨的重要课题。于都唢呐是客家文化的重要组成部分,现已被列为非物质文化遗产。近年来于都唢呐日益得到保护和发展,这与大众媒介的普遍化是密切相关的。文化传播的媒介化,是于都唢呐发展的一个必然趋势,也将成为未来客家非物质文化遗产保护和发展的总体形态和典型特性。 展开更多
关键词 大众媒介 客家 非物质文化遗产 保护 发展 于都唢呐
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激发少儿武术学习兴趣之探析 被引量:3
20
作者 覃宇德 樊坤 《运动》 2014年第22期108-109,共2页
本文运用文献资料法、专家访谈法,根据少儿身心特点和武术自身教学特点,得出结论,要加强少儿武德教育、合理安排教学内容和教学组织形式、多给予鼓励和多媒介正面解读武术等途径来激发少儿武术学习兴趣。
关键词 少儿 兴趣 武术学习
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