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题名步进扫描式光刻机隔振试验平台主动减振系统试验研究
被引量：4
- 1
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作者
杨辅强
吴运新
邓习树
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机构
中南大学机电工程学院
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出处
《噪声与振动控制》
CSCD
北大核心
2008年第4期3-5,共3页
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基金
国家自然科学基金委项目重大项目课题(编号:50390064)
上海市科委联合资助项目<精密机械减振隔振技术研究>
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文摘
根据步进扫描式光刻机的振动特点,设计隔振试验平台的减振系统,并对试验平台的主动减振系统进行测试研究。测试结果表明,步进扫描式光刻机隔振试验主动减振系统,能有效降低光刻机工作过程中运动部件对工作平台的冲击,具有良好的减振效果。
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关键词
振动与波
步进扫描式光刻机
主动减振
试验研究
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Keywords
vibration and wave
the step and scan lithography
active vibration control
experimental research
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分类号
TH113.1
[机械工程—机械设计及理论]
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题名基于遗传算法的步进式扫描光刻机路径规划
被引量：2
- 2
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作者
杨辅强
吴运新
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机构
中南大学机电工程学院
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出处
《机械科学与技术》
CSCD
北大核心
2007年第12期1545-1547,共3页
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基金
国家自然科学基金委重大项目(50390064)
上海市科委联合项目资助
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文摘
根据步进式扫描光刻机硅片曝光过程的特点,建立了光刻机路径规划问题的数学模型。采用遗传算法对光刻机路径规划模型进行了合理的规划。规划结果表明,规划后的扫描路径能有效地提高光刻机的生产效率。
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关键词
步进式扫描光刻机
遗传算法
路径规划
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Keywords
step-and-scan lithography
genetic algorithm
trajectory planning
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分类号
TP391
[自动化与计算机技术—计算机应用技术]
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题名光刻机模拟隔振试验装置内部世界动力学模型分析
被引量：2
- 3
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作者
邓习树
吴运新
李宝童
杨辅强
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机构
中南大学机电工程学院
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出处
《制造技术与机床》
CSCD
北大核心
2007年第10期77-81,共5页
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基金
国家自然科学基金委项目重大项目课题(编号:50390064)
上海市科委联合资助项目<精密机械减振隔振技术研究>
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文摘
为给步进扫描光刻机的设计研究提供理论指导,解决光刻机掩模台、工件台由于高速运动而引起光刻机工作核心部分——工作平台的振动问题,根据工业应用中步进扫描光刻机的运动特点和工作要求,设计了一种内部世界和外部世界用精密6自由度减振器连接的步进扫描光刻机隔振试验装置;建立了内部世界6自由度的动力学模型,运用设计的参数计算出了内部世界的固有频率和对应的振型;同时运用ANSYS有限元软件进行了分析计算,两者的计算结果吻合很好,验证了动力学模型的正确性。
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关键词
光刻机
隔振
试验装置
内部世界
模型
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Keywords
Lithography
Vibration - isolation
Testing Equipment
Inner - world
Model
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分类号
TP242
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名光刻机试验运动装置振动信号的时频分析
被引量：1
- 4
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作者
邓习树
吴运新
隆志力
杨辅强
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机构
中南大学机电工程学院
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出处
《微细加工技术》
2007年第5期18-21,共4页
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基金
国家自然科学基金委项目重大项目课题资助
上海市科委联合资助项目<精密机械减振隔振技术研究>(50390064)
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文摘
步进扫描光刻机在工作状态下振动特性的好坏对其性能起着重要作用。为给步进扫描光刻机的设计研究提供理论指导,设计了一种步进扫描光刻机模拟试验运动装置,它能够完全再现步进扫描光刻机的运动特点。在此基础上,对试验装置的关键部件进行了振动测试,运用傅里叶变换和现代联合时频分析技术对测得的数据分别进行了分析,结果表明,采用联合时频分析技术更能反映系统的固有性质和振动特性,所得到的参数和结果对指导步进扫描光刻机隔振装置的设计具有一定的实际意义。
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关键词
光刻机
模拟装置
振动
时频分析
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Keywords
lithography
simulated equipment
vibration
time and frequency analysis
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分类号
TH161+.6
[机械工程—机械制造及自动化]
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题名用于光刻机模拟运动的精密工件台宏动定位系统研制
被引量：2
- 5
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作者
邓习树
吴运新
杨辅强
王永华
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机构
中南大学机电工程学院
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出处
《电子工业专用设备》
2007年第2期39-43,62,共6页
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基金
国家自然科学基金委项目重大项目课题(编号:50390064)
上海市科委联合资助项目"精密机械减振隔振技术研究"。
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文摘
为给步进扫描光刻机的设计研究提供理论指导,解决光刻机工件台宏动定位平台的设计和控制问题,根据工业应用中步进扫描光刻机的运动特点和工作要求,设计了一种H型精密工件台宏动定位系统和同步控制方案。试验结果表明,其各项性能指标均满足设计要求,对指导实际工业应用具有一定的参考价值。
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关键词
光刻机
工件台
定位
研制
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Keywords
Lithography
Wafer Stage
Positioning
Design and Manufacture
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分类号
TH161.6
[机械工程—机械制造及自动化]
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题名光课机隔振试验平台定位系统的轨迹规划
- 6
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作者
王建平
刘矿陵
杨辅强
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机构
长沙航空职业技术学院
中南大学
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出处
《工具技术》
北大核心
2007年第11期64-67,共4页
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基金
国家自然科学基金委项目重大项目课题(项目编号:50390064)
上海市科委联合资助项目<精密机械减振隔振技术研究>
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文摘
介绍了微制造隔振试验平台定位系统运动轨迹的规划。为了减小运动部件加减速过程中对整个平台的冲击,在进行运动轨迹规划时,采用了S形曲线对定位系统的运动轨迹进行了平滑处理,有效降低了运动部件对系统的冲击,有利于系统的减振。
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关键词
隔振平台
轨迹规划
S形曲线
光刻机超精密工件台
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Keywords
vibration isolation platform, trajectory planning, acceleration/deceleration, S-curve
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分类号
TN305.7
[电子电信—物理电子学]
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题名光刻机负刚度主动减振技术研究
被引量：1
- 7
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作者
杨辅强
刘剑
周宏权
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机构
上海微电子装备(集团)股份有限公司
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出处
《电子工业专用设备》
2020年第3期35-40,共6页
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文摘
根据光刻机主动减振技术的发展趋势和应用特点,对一种用于隔离光刻机地基振动的负刚度减振技术进行了研究。在分析负刚度减振系统结构原理的基础上,采用多刚体建模技术建立了该负刚度减振系统的动力学模型;针对负刚度减振系统的动力学特性,设计了该负刚度减振技术的控制策略;在此基础上,对该负刚度主动减振系统进行了仿真和试验研究。仿真和试验结果表明,采用该控制策略的负刚度减振技术能获得极低的固有频率和良好的隔振性能。
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关键词
光刻机
动力学
负刚度
主动减振系统
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Keywords
Lithography apparatus
Dynamics
Negative stiffness
Active vibration control
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分类号
TH703.63
[机械工程—精密仪器及机械]
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题名光刻机多模态振动控制技术研究
- 8
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作者
杨辅强
仲凯
杜碧
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机构
上海微电子装备(集团)股份有限公司
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出处
《中国集成电路》
2020年第7期79-84,共6页
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文摘
本文提出一种三重动力吸振器减振方案,用于抑制光刻机顶部测量框架多阶模态峰值。首先,结合光刻机动力学架构和掩模台伺服误差,识别振源并确定受控模态参数;其次,根据受控模态参数,计算三重动力吸振器最优同调和最优阻尼比;最后,通过有限元仿真和试验模态,对该方案减振性能进行研究分析。结果表明,该方法能有效抑制光刻机顶部测量框架的多阶模态振动幅值,试验结果与仿真结果吻合较好。
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关键词
光刻机
动力吸振器
模态振型
振动控制
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Keywords
Lithographic apparatus
Dynamic vibration absorber
Modal shape
Vibration control
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分类号
TN405
[电子电信—微电子学与固体电子学]
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题名微制造隔振试验平台定位系统的轨迹规划
- 9
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作者
王建平
杨辅强
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机构
长沙航空职业技术学院
中南大学机电工程学院
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出处
《航空精密制造技术》
2007年第4期13-16,共4页
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基金
国家自然科学基金委项目重大项目课题(50390064)
上海市科委联合资助项目<精密机械减振隔振技术研究>
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文摘
为减小运动部件加减速过程中对整个平台的冲击,在进行运动轨迹规划时,采用了S形曲线对定位系统的运动轨迹进行了平滑处理,有效地降低了运动部件对系统的冲击,有利于系统的减振。
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关键词
隔振平台
轨迹规划
加减速
S形曲线
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Keywords
vibration isolation platform
trajectory planning
acceleration/deceleration
S-curve
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分类号
TB535.1
[理学—声学]
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