InSb红外探测器芯片金丝引线键合工艺研究 被引量：6

1

作者 朱炳金 林磊 +1 位作者 宋开臣 王晶 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2013年第1期46-50,共5页

InSb红外探测器芯片镀金焊盘与外部管脚的引线键合质量直接决定着光电信号输出的可靠性,对于引线键合质量来说,超声功率、键合压力、键合时间是最主要的工艺参数。从实际应用出发,采用K&S公司4124金丝球焊机实现芯片镀金焊盘与外部... InSb红外探测器芯片镀金焊盘与外部管脚的引线键合质量直接决定着光电信号输出的可靠性,对于引线键合质量来说,超声功率、键合压力、键合时间是最主要的工艺参数。从实际应用出发,采用K&S公司4124金丝球焊机实现芯片镀金焊盘与外部管脚的引线键合,主要研究芯片镀金焊盘第一焊点键合工艺参数对引线键合强度及键合区域的影响,通过分析键合失效方式,结合焊点的表面形貌,给出了适合InSb芯片引线键合质量要求的最优工艺方案,为实现InSb芯片引线键合可靠性的提高打下了坚实的基础。 展开更多

关键词 引线键合 超声功率 键合压力 键合时间

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电感耦合等离子体刻蚀InSb芯片工艺的研究 被引量：5

2

作者 朱炳金 张国栋 张向锋 《红外技术》 CSCD 北大核心 2009年第8期467-470,共4页

随着InSb红外焦平面阵列探测器的发展,焦平面阵列规模不断增大,像元面积越来越小。湿法刻蚀因为其各向同性刻蚀的特点,导致像元的钻蚀严重,已经难以满足大规格InSb焦平面器件的要求。采用电感耦合等离子体(ICP)刻蚀大规格InSb阵列芯片,... 随着InSb红外焦平面阵列探测器的发展,焦平面阵列规模不断增大,像元面积越来越小。湿法刻蚀因为其各向同性刻蚀的特点,导致像元的钻蚀严重,已经难以满足大规格InSb焦平面器件的要求。采用电感耦合等离子体(ICP)刻蚀大规格InSb阵列芯片,研究不同腔体压力对刻蚀速率、表面形貌的影响及InSb表面残留聚合物的去除方法。 展开更多

关键词 InSb焦平面阵列 各向同性 表面形貌 电感耦合等离子体(ICP)

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六硼化镧薄膜的制备及发射特性的研究 被引量：1

3

作者 朱炳金 陈泽祥 张强 《真空电子技术》 2007年第5期44-47,共4页

用阴极电泳的方法在Re衬底上制备了LaB6薄膜,用扫描电镜、X射线光电子能谱对样品的表面状况、化学组分进行了分析。经过真空烧结,采用真空热电子发射法测出了LaB6薄膜的逸出功。使用Richardson直线法测量薄膜的逸出功为2.56 eV,具有良... 用阴极电泳的方法在Re衬底上制备了LaB6薄膜,用扫描电镜、X射线光电子能谱对样品的表面状况、化学组分进行了分析。经过真空烧结,采用真空热电子发射法测出了LaB6薄膜的逸出功。使用Richardson直线法测量薄膜的逸出功为2.56 eV,具有良好的电子发射性能。 展开更多

关键词 LaB6薄膜 真空烧结 电泳 热发射 逸出功

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六硼化镧薄膜场致发射的特性

4

作者 朱炳金 陈泽祥 +2 位作者 张强 王小菊 于涛 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第3期561-566,共6页

阵列薄膜是在制备好的尖锥阵列上沉积其他材料的薄膜,以提高场发射阴极性能,它是一种有效的提高场发射阴极性能的方法。在n型硅片上先后采用氧化、光刻、干法刻蚀、氧化削尖等工艺,制备出曲率半径很小的硅尖锥场发射阵列,硅阵列中每个... 阵列薄膜是在制备好的尖锥阵列上沉积其他材料的薄膜,以提高场发射阴极性能,它是一种有效的提高场发射阴极性能的方法。在n型硅片上先后采用氧化、光刻、干法刻蚀、氧化削尖等工艺,制备出曲率半径很小的硅尖锥场发射阵列,硅阵列中每个硅尖锥的底半径约2μm,锥高约1.04μm,每个硅尖之间间隔6μm,尖端的曲率半径约50nm,锥角约56°,尖锥阵列的密度约106/cm2。为了降低硅尖锥的功函数及提高抗离子轰击能力,通过电子束蒸发在硅尖阵列上沉积六硼化镧(LaB6)薄膜,薄膜的厚度大约50nm,锥尖曲率半径变为约111nm。X射线衍射(XRD)分析结果表明,电子束沉积在硅尖端的LaB6具有良好的结晶特性。硅尖锥及不同的真空度下阵列薄膜的场致发射I-V特性及电流发射稳定性的测试结果表明:沉积LaB6的薄膜阴极阵列的总发射电流达到125μA,是纯硅尖锥阵列125倍。并且硅阵列六硼化镧薄膜具有良好的场发射稳定性,是一种理想的薄膜场发射阵列。 展开更多

关键词 六硼化镧 硅尖锥阵列 电子束蒸发 场致发射 阵列薄膜

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LaB_6薄膜的制备工艺研究

5

作者 朱炳金 陈泽祥 张强 《真空》 CAS 北大核心 2008年第1期37-40,共4页

分别用电子束蒸发和电泳的方法在不同的衬底上制备出了LaB6薄膜,用扫描电镜(SEM)对样品表面形貌进行了分析,同时利用x射线衍射(XRD)分析了成膜参数衬底温度以及退火处理对LaB6薄膜结晶性能的影响。结果表明,所得样品为LaB6多晶薄膜,合... 分别用电子束蒸发和电泳的方法在不同的衬底上制备出了LaB6薄膜,用扫描电镜(SEM)对样品表面形貌进行了分析,同时利用x射线衍射(XRD)分析了成膜参数衬底温度以及退火处理对LaB6薄膜结晶性能的影响。结果表明,所得样品为LaB6多晶薄膜,合适的衬底温度和退火处理能够提高LaB6薄膜的结晶质量。并对两种成膜方式进行了比较。 展开更多

关键词 电子束蒸发 电泳 LaB6薄膜 多晶 XRD

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大电流密度碳纳米管场致发射阴极阵列的研制 被引量：10

6

作者 陈泽祥 曹贵川 +2 位作者 张强 朱炳金 林祖伦 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第12期2070-2073,共4页

设计了一种由TiN,Al,Fe和牺牲层构成的堆栈式催化剂层结构,采用微波等离子体化学气相沉积法实现碳纳米管阵列高速笔直生长。SEM和TEM结果表明,生长出来的碳纳米管为典型的多壁碳纳米管,长度和直径均匀,排列整齐并垂直于基底,生长速率大... 设计了一种由TiN,Al,Fe和牺牲层构成的堆栈式催化剂层结构,采用微波等离子体化学气相沉积法实现碳纳米管阵列高速笔直生长。SEM和TEM结果表明,生长出来的碳纳米管为典型的多壁碳纳米管,长度和直径均匀,排列整齐并垂直于基底,生长速率大于5μm/min,晶格缺陷少。场致发射测试结果表明:碳纳米管的发射阵列具有良好的电流发射稳定性,最大电流密度大于6 A/cm2。紫外光电子能谱法(UPS)测试出碳纳米管的功函数为4.59 eV,则相应的场致发射陈列的场增强因子大于1 400。 展开更多

关键词 碳纳米管 化学气相沉积法 场致发射 加速器

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InSb阵列探测芯片的感应耦合等离子反应刻蚀研究 被引量：6

7

作者 张国栋 徐淑丽 +2 位作者 赵鸿燕 朱炳金 李小宏 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2009年第9期948-951,共4页

利用感应耦合等离子（ICP）反应刻蚀（RIE）进行了InSb阵列芯片台面刻蚀,并利用轮廓仪、SEM及XRD对台面形貌以及刻蚀损伤进行分析。采用优化的ICP刻蚀参数,实现的刻蚀速率为70-90 nm/min,刻蚀台阶垂直度-80°,刻蚀表面平整光滑、损... 利用感应耦合等离子（ICP）反应刻蚀（RIE）进行了InSb阵列芯片台面刻蚀,并利用轮廓仪、SEM及XRD对台面形貌以及刻蚀损伤进行分析。采用优化的ICP刻蚀参数,实现的刻蚀速率为70-90 nm/min,刻蚀台阶垂直度-80°,刻蚀表面平整光滑、损伤低。与常规的湿法腐蚀相比,明显降低了侧向钻蚀。台面采用此反应刻蚀工艺,制备了具有理想I-V特性的320×256 InSb探测阵列芯片,在-500 mV到零偏压范围内,光敏元（面积23μm×23μm）的动态阻抗（Rd）大于100 MΩ。 展开更多

关键词 INSB 感应耦合等离子 反应刻蚀 台面形貌 I-V曲线

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碳纳米管场致发射中的空间电荷效应 被引量：5

8

作者 张强 陈泽祥 +2 位作者 朱炳金 王小菊 于涛 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第3期567-572,共6页

采用微波等离子体化学气相沉积(MWPCVD)方法成功制备以碳纳米管束为单元的场致发射阵列,获得很好的场致发射电流发射特性,在电流密度较大时,发现I-V特性偏离由Fowler-Nordheim公式计算出的结果。采用Electron Beam Simulation(EBS)软件... 采用微波等离子体化学气相沉积(MWPCVD)方法成功制备以碳纳米管束为单元的场致发射阵列,获得很好的场致发射电流发射特性,在电流密度较大时,发现I-V特性偏离由Fowler-Nordheim公式计算出的结果。采用Electron Beam Simulation(EBS)软件进行模拟分析发现:在电流密度较低时,I-V特性能很好与F-N公式吻合。但碳纳米管尖端电流密度大于106A/cm2时,碳纳米管尖端处的有效电场强度受空间电荷的影响比较明显,进而对碳纳米管的场致发射特性显现出不可忽略的影响,此时碳纳米管的发射电流密度开始受到空间电荷的限制。 展开更多

关键词 空间电荷效应 碳纳米管 场致发射 微波等离子体化学气相沉积

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实行比质比价管理 降低采购成本 被引量：2

9

作者 朱炳金 恽晓明 《交通企业管理》 2001年第12期12-13,共2页

物资比质比价采购管理的含义是:在物资的采购过程中,实行货比三家,即采购物资时,必须对三家以上供货单位,在同等条件下,同样的物资比质量,同样的质量比价格,同样的价格比服务。连云港港务局物资处是物资管理的职能部门,负责局管物资的... 物资比质比价采购管理的含义是:在物资的采购过程中,实行货比三家,即采购物资时,必须对三家以上供货单位,在同等条件下,同样的物资比质量,同样的质量比价格,同样的价格比服务。连云港港务局物资处是物资管理的职能部门,负责局管物资的采购、供应、管理和废旧物资的回收处理工作。通过提高认识,转变观念:加强领导。 展开更多

关键词 比质比价采购 比价管理 物资采购计划 降低采购成本 行比 供货单位 连云港港务局 采购员 应急采购 物资计划

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可编程控制器在选煤厂控制系统中的应用 被引量：1

10

作者 郑洪春 朱炳金 《煤矿自动化》 1997年第2期57-59,共3页

简要介绍ＰＬＣ（可编程控制器）在山东肥城查庄矿选煤厂的应用情况。

关键词 选煤厂 控制系统 呵编程控制器

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查庄煤矿选煤厂技术改造方案

11

作者 杨华 朱炳金 《山东煤炭科技》 2003年第5期11-12,共2页

该文主要围绕对现有停产洗煤厂如何恢复生产及技术改造进行探讨 ,重点是如何降低入洗下限 ,增加入洗量和对煤泥水处理系统工艺进行改造 ,对选煤厂恢复运行前后的经济效益进行对比 ,论证其可行性。

关键词 选煤 技术改造 恢复运行 投资估算

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A单位业财协同开展成本管理的实践

12

作者 李文辉 朱炳金 +1 位作者 刘思超 宋春梅 《财务与会计》 北大核心 2024年第4期69-70,共2页

“十四五”之前,A单位的运行发展属于典型的“任务驱动”模式,把按照要求完成科研生产交付任务作为一切工作的中心,对成本管理重视不够,一是没有形成覆盖全生命周期、全生产要素、全产业链条的完整成本管控体系,成本管理职责顶层设计不... “十四五”之前,A单位的运行发展属于典型的“任务驱动”模式,把按照要求完成科研生产交付任务作为一切工作的中心,对成本管理重视不够,一是没有形成覆盖全生命周期、全生产要素、全产业链条的完整成本管控体系,成本管理职责顶层设计不清晰;二是财务部门与业务部门主要以部门职责为边界各自开展成本管理工作,呈现出分散式管理的特点,成本管控措施未与业务形成有效融合,部门间协同效应难以发挥,难以取得管控实效。 展开更多

关键词 成本管理工作 部门职责 管理职责 财务部门 任务驱动 顶层设计 有效融合 全生命周期

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