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功率密度对VHF-PECVD制备μc-Si:H的影响 被引量:3
1
作者 郭学军 卢景霄 +4 位作者 文书堂 杨根 陈永生 张庆丰 谷锦华 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第6期1160-1163,共4页
在不同功率密度下用甚高频化学气相沉积(VHF-PECVD)法制备了一系列微晶硅(μc-Si:H)薄膜,并对薄膜的微观结构进行了研究.重点研究了在较低的功率密度下,功率密度的改变对薄膜沉积速率和结晶状况的影响.结果表明,随着功率密度的提高,沉... 在不同功率密度下用甚高频化学气相沉积(VHF-PECVD)法制备了一系列微晶硅(μc-Si:H)薄膜,并对薄膜的微观结构进行了研究.重点研究了在较低的功率密度下,功率密度的改变对薄膜沉积速率和结晶状况的影响.结果表明,随着功率密度的提高,沉积速率逐渐加大,进一步提高功率密度时,沉积速率趋于饱和;与此同时,薄膜的孵化层厚度和形核密度随功率密度而变化. 展开更多
关键词 μc-Si:H VHF-PECVD 功率密度 孵化层 成核密度
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梳状聚合物PAALi-g-PEO的合成与表征 被引量:2
2
作者 陈磊山 胡利强 +1 位作者 郭晓伟 文书堂 《化学试剂》 CAS CSCD 北大核心 2013年第3期285-288,共4页
采用大分子单体法设计并合成出非晶态的标题化合物,利用红外光谱和核磁共振氢谱对产物进行结构表征,利用差示扫描量热法(DSC)测定产物的玻璃化转变温度(Tg)和结晶度,并研究了原料和配比对产物的影响。结果表明,所合成的梳状共聚物PAALi-... 采用大分子单体法设计并合成出非晶态的标题化合物,利用红外光谱和核磁共振氢谱对产物进行结构表征,利用差示扫描量热法(DSC)测定产物的玻璃化转变温度(Tg)和结晶度,并研究了原料和配比对产物的影响。结果表明,所合成的梳状共聚物PAALi-g-PEO为非晶态,其Tg在-54℃左右;当以MPEG-600为原料,EO/AALi=4时,产物适宜作为聚合物电解质基体。 展开更多
关键词 大分子单体法 梳状聚合物 PAALi—g—PEO 聚合物电解质
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高气压下微晶硅薄膜的生长及微结构研究(英文) 被引量:1
3
作者 杨根 张丽伟 +5 位作者 卢景霄 谷锦华 陈永生 文书堂 汪昌州 王子健 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第3期646-649,686,共5页
通过射频等离子体增强化学气相沉积,在高气压条件下制备了微晶硅薄膜,并用拉曼光谱仪(Ram an)、扫描电镜(SEM)研究了微晶硅薄膜的微观结构。发现沉积速率在5Torr左右出现极大值,薄膜的晶化率随着沉积气压的升高而降低,薄膜表面的晶粒或... 通过射频等离子体增强化学气相沉积,在高气压条件下制备了微晶硅薄膜,并用拉曼光谱仪(Ram an)、扫描电镜(SEM)研究了微晶硅薄膜的微观结构。发现沉积速率在5Torr左右出现极大值,薄膜的晶化率随着沉积气压的升高而降低,薄膜表面的晶粒或团簇随着沉积气压的下降而增大,薄膜的粗糙度随着沉积气压的升高而降低。 展开更多
关键词 等离子体增强化学气相沉积 微晶硅薄膜 高气压 高速沉积 微观结构
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薄膜生长计算机模拟概论 被引量:1
4
作者 文黎巍 郭巧能 +2 位作者 丁俊 文书堂 杨仕娥 《材料导报(纳米与新材料专辑)》 EI CAS 2008年第2期217-219,223,共4页
阐述了计算机模拟薄膜生长的重要意义,介绍了计算机模拟薄膜生长的主要步骤和方法,重点阐述了蒙特卡罗和分子动力学方法的基本原理、关键问题及研究与应用进展,展望了薄膜生长计算机模拟的发展趋势。
关键词 薄膜 计算机模拟 蒙特卡罗 分子动力学
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甚高频对微晶硅薄膜微观结构的影响(英文)
5
作者 卢景霄 文书堂 +2 位作者 郭学军 李瑞 张磊 《郑州大学学报(理学版)》 CAS 2008年第2期78-82,共5页
系统研究了射频和甚高频下沉积微晶硅薄膜时沉积参数对薄膜质量的影响,并优化了沉积参数.在相同的沉积条件下,甚高频沉积速度明显大于射频沉积速度,并且制备出的太阳能电池效率同样高于射频沉积.一般情况下,当沉积速率提高时,沉积薄膜... 系统研究了射频和甚高频下沉积微晶硅薄膜时沉积参数对薄膜质量的影响,并优化了沉积参数.在相同的沉积条件下,甚高频沉积速度明显大于射频沉积速度,并且制备出的太阳能电池效率同样高于射频沉积.一般情况下,当沉积速率提高时,沉积薄膜中存在大量悬挂键和Si-2H键等缺陷,会大大降低材料的光电性能,同样也会降低太阳能电池的效率.在保证材料的光电性能的前提下提高沉积速度,沉积参数需要优化.在系列优化沉积参数后,微晶硅沉积速率达到0.75nm/s,在该沉积速率下,制备出的单结n-i-p结构的太阳能电池效率达到5.41%. 展开更多
关键词 甚高频化学汽相沉积 高速生长 微晶硅薄膜 太阳能电池
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低温制备硅薄膜的晶粒尺寸研究
6
作者 张丽伟 张松青 +5 位作者 卢景霄 杨仕娥 文书堂 杨根 郭学军 李瑞 《可再生能源》 CAS 2006年第6期10-12,共3页
利用等离子体增强(PECVD)法和快速热处理(RTP)法分别在玻璃衬底上制备了硅薄膜。用光谱测试仪器,对2种方法制备的硅薄膜进行了研究。结果显示,各种制备参数对增大薄膜晶粒尺寸存在一个最佳点;总的来说,RTP法制备的晶粒尺寸大于PECVD中... 利用等离子体增强(PECVD)法和快速热处理(RTP)法分别在玻璃衬底上制备了硅薄膜。用光谱测试仪器,对2种方法制备的硅薄膜进行了研究。结果显示,各种制备参数对增大薄膜晶粒尺寸存在一个最佳点;总的来说,RTP法制备的晶粒尺寸大于PECVD中制备的晶粒尺寸。 展开更多
关键词 硅薄膜 晶粒尺寸 再结晶
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棘轮势作用下布朗马达的反馈控制模型
7
作者 张红卫 文书堂 +1 位作者 张海涛 李玉晓 《郑州大学学报(理学版)》 CAS 北大核心 2012年第4期73-77,共5页
研究了棘轮势作用下的布朗马达的一种反馈控制模型.温度开关根据布朗粒子的受力情况来确定环境温度的变化,从而控制马达的运动.通过数值模拟得到了马达定向运动的流.当温度比值参数β<1时,流总是负的;β>1时流的大小和方向都与棘... 研究了棘轮势作用下的布朗马达的一种反馈控制模型.温度开关根据布朗粒子的受力情况来确定环境温度的变化,从而控制马达的运动.通过数值模拟得到了马达定向运动的流.当温度比值参数β<1时,流总是负的;β>1时流的大小和方向都与棘轮势的不对称参数有关.研究结果表明,流的正负是马达热运动的能量与势垒能量竞争的结果. 展开更多
关键词 反馈控制 布朗马达 棘轮势
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掺硼a-Si:H薄膜脉冲快速光热退火(PRPTA)的研究
8
作者 汪昌州 杨仕娥 +2 位作者 赵尚丽 文书堂 卢景霄 《真空》 CAS 北大核心 2007年第3期28-31,共4页
采用射频等离子体增强化学气相沉积(RF-PECVD)法制备掺硼非晶硅(a-Si:H)薄膜,然后用脉冲快速光热退火(PRPTA)法对其进行固相晶化。研究结果表明:掺硼a-Si:H薄膜在550℃恒温条件下退火3h后,其结晶状况无明显变化;而通过加高温热脉冲可以... 采用射频等离子体增强化学气相沉积(RF-PECVD)法制备掺硼非晶硅(a-Si:H)薄膜,然后用脉冲快速光热退火(PRPTA)法对其进行固相晶化。研究结果表明:掺硼a-Si:H薄膜在550℃恒温条件下退火3h后,其结晶状况无明显变化;而通过加高温热脉冲可以在玻璃衬底上获得晶化较好的P型多晶硅薄膜。另外,非晶硅薄膜的掺硼浓度及脉冲条件对脉冲快速光热退火的效果有一定影响。 展开更多
关键词 掺硼非晶硅薄膜 脉冲快速光热退火 固相晶化
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生物技术制药课程教学改革的实践与探索
9
作者 应浩 文书堂 《广东化工》 CAS 2012年第11期215-215,224,共2页
生物技术制药是一门应用性较强的学科。为促进生物技术制药课程改革、提高课程教学质量,结合生物技术制药课程的教学实践,探讨了改进教学内容、优化教学方法以及加强实践教学等方面的改革措施。
关键词 生物技术制药 教学改革 教学内容 教学方法
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分子马达定向运动的物质结构基础
10
作者 张红卫 文书堂 《吉林师范大学学报(自然科学版)》 2004年第2期50-52,共3页
在分析了两种分子马达结构及动力学特征的基础上,介绍了分子马达定向运动的结构学模型.该模型不仅说明了各种分子马达可能存在着相似的运动机制,而且为构建分子马达的物理学模型提供了理论依据.
关键词 分子马达定向运动 物质结构 动力学 肌球蛋白 驱动蛋白
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Two-dimensional model of elastically coupled molecular motors
11
作者 张红卫 文书堂 +3 位作者 陈改荣 李玉晓 曹中兴 李伟 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2012年第3期509-512,共4页
A flashing ratchet model of a two-headed molecular motor in a two-dimensional potential is proposed to simulate the hand-over-hand motion of kinesins. Extensive Langevin simulations of the model are performed. We disc... A flashing ratchet model of a two-headed molecular motor in a two-dimensional potential is proposed to simulate the hand-over-hand motion of kinesins. Extensive Langevin simulations of the model are performed. We discuss the dependences of motion and efficiency on the model parameters, including the external force and the temperature. A good qualitative agreement with the expected behavior is observed. 展开更多
关键词 Brownian motors RATCHET CURRENT EFFICIENCY
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A feedback-controlled Brownian ratchet operated by a temperature switch
12
作者 张红卫 文书堂 +2 位作者 张海涛 李玉晓 陈改荣 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2012年第7期599-603,共5页
In this paper, we present a model of the Brownian motor in a feedback controlled ratchet, in which the application of the flashing potential depends on the state of the particle to be controlled. We derive an analytic... In this paper, we present a model of the Brownian motor in a feedback controlled ratchet, in which the application of the flashing potential depends on the state of the particle to be controlled. We derive an analytical expression for the velocity induced by the feedback ratchet, which is a function of several parameters, including the ratio of the two switching temperatures and the asymmetry parameter of the potential field. The motor shows a current inversion when either parameter is varied. 展开更多
关键词 FEEDBACK temperature switch asymmetry parameter
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SiH_4/H_2等离子体气相生长硅薄膜的动力学模型 被引量:1
13
作者 文书堂 张红卫 +2 位作者 张丽伟 陈改荣 卢景霄 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2010年第7期4901-4910,共10页
在化学气相沉积微晶硅薄膜过程中,为了降低成本,必须提高生长速率,但薄膜的微观结构和光电性能则随之降低,原因是成膜先驱物在薄膜表面上的扩散长度降低了.本文利用量子化学的反应动力学理论建立有关成膜先驱物SiH3和H的反应平衡方程,... 在化学气相沉积微晶硅薄膜过程中,为了降低成本,必须提高生长速率,但薄膜的微观结构和光电性能则随之降低,原因是成膜先驱物在薄膜表面上的扩散长度降低了.本文利用量子化学的反应动力学理论建立有关成膜先驱物SiH3和H的反应平衡方程,求解薄膜生长速率和成膜先驱物的扩散长度,并找出影响生长速率与扩散长度的微观参数,发现生长速率不仅与流向衬底的SiH3的通量密度有关,而且与H的通量密度有关;SiH3的扩散长度与衬底温度和薄膜表面的硅氢键的形态有关,当薄面表面被Si—H覆盖时,SiH3扩散长度较大,当薄面表面被Si—3H覆盖时,扩散长度较小,当薄面表面被悬键覆盖时,扩散长度趋于零. 展开更多
关键词 等离子体化学气相沉积 薄膜生长机理 扩散长度
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电子与硅烷分子碰撞的散射截面对微晶硅生长影响
14
作者 文书堂 姚鹏 +8 位作者 卢景霄 李云居 李维强 魏长春 谷锦华 杨仕俄 郭学军 高哲 赵尚丽 《四川大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2009年第4期1101-1106,共6页
较为系统的研究了甚高频化学气相沉积在高压高功率下生长的微晶硅薄膜.给出了功率密度-气体流量和压强-功率密度的二维相图.用朗缪尔探针测出薄膜沉积时等离子体内部电子温度,并用麦克斯韦-玻尔兹曼分布进行拟合给出电子能量分布函数.... 较为系统的研究了甚高频化学气相沉积在高压高功率下生长的微晶硅薄膜.给出了功率密度-气体流量和压强-功率密度的二维相图.用朗缪尔探针测出薄膜沉积时等离子体内部电子温度,并用麦克斯韦-玻尔兹曼分布进行拟合给出电子能量分布函数.由电子能量分布函数出发通过单电子碰撞模型给出等离子体内部各种基浓度的计算公式.并通过数值模拟给出等离子体中 SiH_2,SiH_3等基的浓度.利用 SiH_2与 SiH_3比值,结合表面扩散模型,解释气压-功率密度相图中随电子温度的增加(功率的增加),晶化率增大的现象. 展开更多
关键词 甚高频化学气相沉积 微晶硅薄膜 散射截面 高速生长
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甚高频高速沉积微晶硅薄膜的研究 被引量:13
15
作者 郭学军 卢景霄 +5 位作者 陈永生 张庆丰 文书堂 郑文 申陈海 陈庆东 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2008年第9期6002-6006,共5页
采用甚高频化学气相沉积(VHF-PECVD)技术制备了系列微晶硅(μc-Si:H)薄膜样品,重点研究了硅烷浓度、功率密度、沉积气压和气体总流量对薄膜沉积速率和结晶状态的影响,绘制了沉积气压和功率密度双因素相图.以0.75nm/s的高速沉积了器件质... 采用甚高频化学气相沉积(VHF-PECVD)技术制备了系列微晶硅(μc-Si:H)薄膜样品,重点研究了硅烷浓度、功率密度、沉积气压和气体总流量对薄膜沉积速率和结晶状态的影响,绘制了沉积气压和功率密度双因素相图.以0.75nm/s的高速沉积了器件质量级的微晶硅薄膜,并以该沉积速率制备出了效率为5.5%的单结微晶硅薄膜电池. 展开更多
关键词 微晶硅薄膜 高速沉积 甚高频化学气相沉积
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