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极紫外掩模的同步辐射在波长高分辨成像仿真研究
1
作者 苏子净 刘海岗 +5 位作者 孟祥雨 张祥志 赵波 郭智 王勇 邰仁忠 《核技术》 北大核心 2025年第3期43-53,共11页
极紫外(Extreme Ultraviolet,EUV)光刻要求近乎无缺陷的EUV掩模,需要对EUV掩模缺陷进行高分辨率的在波长成像分析,分析结果用于后续的修复工艺。同步辐射可以提供优质、洁净的EUV光,结合傅里叶合成照明技术,可有效合成较大的数值孔径(Nu... 极紫外(Extreme Ultraviolet,EUV)光刻要求近乎无缺陷的EUV掩模,需要对EUV掩模缺陷进行高分辨率的在波长成像分析,分析结果用于后续的修复工艺。同步辐射可以提供优质、洁净的EUV光,结合傅里叶合成照明技术,可有效合成较大的数值孔径(Numerical Aperture,NA),实现对EUV掩模缺陷的高分辨分析,该技术已在多个国际同步辐射装置上得到广泛应用。受限于传统圆形波带片数值孔径特性,国际上EUV掩模检测的最高分辨率仅达到22 nm。为了进一步提升成像分辨率,提出了采用椭圆形波带片替代常规的圆形波带片设想,并进行了系统性仿真研究。计算结果表明,椭圆形波带片数值孔径可达4×NA=1.15,显著高于圆形波带片的4×NA=0.625。采用极端双极照明模式可以实现12 nm极限分辨率,远高于目前的国际最高分辨率。该研究结果对基于同步辐射光源的EUV掩模缺陷的在波长成像分辨率提高具有重要意义。 展开更多
关键词 EUV掩模缺陷分析 同步辐射 傅里叶合成照明 椭圆离轴波带片
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同步辐射扫描透射X射线显微成像系统振动的闭环控制方法研究
2
作者 姚镇 焦禹晨 +9 位作者 赵波 孙天啸 张宇飞 郭智 王勇 许子健 李海涛 刘海岗 张祥志 邰仁忠 《核技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第9期1-11,共11页
上海同步辐射光源(Shanghai Synchrotron Radiation Facility,SSRF)扫描透射X射线显微成像(Scanning Transmission X-ray Microscopy,STXM)实验站是国内首个自主研制的STXM实验系统,目前该系统波带片聚焦直接成像分辨率达到15 nm,扫描... 上海同步辐射光源(Shanghai Synchrotron Radiation Facility,SSRF)扫描透射X射线显微成像(Scanning Transmission X-ray Microscopy,STXM)实验站是国内首个自主研制的STXM实验系统,目前该系统波带片聚焦直接成像分辨率达到15 nm,扫描相干衍射成像方法成像的分辨率达到7.32 nm。系统振动是影响其成像质量的主要因素。本文针对波带片和样品之间系统振动进行详情分析,并提出相应的抑制策略,旨在提升STXM系统的成像质量。采用激光干涉仪和现场可编程门阵列(Field Programmable GateArray,FPGA)技术,从软件层面开发了一种针对STXM中波带片和样品位置稳定性的闭环控制系统。该控制系统在最佳条件下可将STXM系统振动的均方根值(Root Mean Square,RMS)有效控制到4.833 nm,减少至原振动水平的约1/3,为STXM系统的成像质量进一步提升奠定了技术基础。 展开更多
关键词 STXM 振动抑制 激光干涉仪 压电电机 FPGA 闭环控制
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江苏省2013—2016年臭氧时空分布特征 被引量：27
3
作者 张祥志 陈文泰 +4 位作者 黄樱 秦艳红 秦玮 杨雪 陆维青 《中国环境监测》 CAS CSCD 北大核心 2017年第4期50-59,共10页
利用2013—2016年江苏省国控空气自动站获得的臭氧(O_3)观测数据,探讨江苏省O_3时空变化特征。结果表明,自2013年以来江苏省大气氧化剂OX(O_3和NO2)和O_3浓度呈逐年升高趋势,升高速率分别为0.98×10-9a-1和3.70μg/(m3·a),O_3... 利用2013—2016年江苏省国控空气自动站获得的臭氧(O_3)观测数据,探讨江苏省O_3时空变化特征。结果表明,自2013年以来江苏省大气氧化剂OX(O_3和NO2)和O_3浓度呈逐年升高趋势,升高速率分别为0.98×10-9a-1和3.70μg/(m3·a),O_3增幅在我国处于较高水平。在O_3空间分布上,东部沿海O_3浓度相对高于西部内陆,O_3浓度高值由沿海地区逐渐向内陆辐散,呈现出区域性O_3污染。结合经验正交分解进行聚类统计检验,结果显示江苏省O_3分区主要分为苏南、苏中和苏北3类,与江苏省经济发展水平表现出一定的同步性。 展开更多
关键词 江苏省 臭氧 时空分布 经验正交分解 聚类统计检验
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涉外法治人才培养视域下“国际私法”课程教学改革
4
作者 宋婷 张祥志 《教育教学论坛》 2024年第35期57-60,共4页
传统的“国际私法”课程存在内容多、学时不足,教材案例陈旧、不接地气,思政元素不够,教学方式和考核方式机械单一等问题,导致教学效果欠佳,学生能力提升不明显。从以下几方面着手进行课堂改革:一是引入教学案例,让晦涩的理论深入浅出;... 传统的“国际私法”课程存在内容多、学时不足,教材案例陈旧、不接地气,思政元素不够,教学方式和考核方式机械单一等问题,导致教学效果欠佳,学生能力提升不明显。从以下几方面着手进行课堂改革:一是引入教学案例,让晦涩的理论深入浅出;二是结合法律职业资格考试展开教学;三是进行模拟法庭,激发学生积极参与,提高学生法律实务能力;四是加强课程思政,有条件的情况下开展双语教学;五是改变课程考核方式,让学生真正做到掌握知识。 展开更多
关键词 “国际私法”课程 涉外法治人才 案例教学 模拟法庭
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南京青奥会空气质量保障管控措施效果评估 被引量：15
5
作者 张祥志 丁爱军 +4 位作者 陈文泰 汤莉莉 王晨波 秦玮 滕建礼 《中国环境监测》 CAS CSCD 北大核心 2016年第5期40-44,共5页
2014年青奥会期间,长三角地区低温高湿静稳的不利气象条件增加了空气质量保障难度。在环境保护部统一协调和江苏省委省政府的有力指挥下,南京市及周边城市通过控电、控煤、控车、控尘及部分重点企业限产停产等措施,实现了赛事期间南京... 2014年青奥会期间,长三角地区低温高湿静稳的不利气象条件增加了空气质量保障难度。在环境保护部统一协调和江苏省委省政府的有力指挥下,南京市及周边城市通过控电、控煤、控车、控尘及部分重点企业限产停产等措施,实现了赛事期间南京市空气质量100%达标。联合观测结果显示,南京市空气中SO_2、NO_2,硫酸盐、钙离子、EC等浓度明显下降,说明管控措施得力有效。评估分析表明,燃煤和工业排放是PM2.5的主要来源,控制扬尘是降低PM_(2.5)最直接有效的方式,机动车污染不容忽视,强力管控措施可以有效改善空气质量。 展开更多
关键词 青奥会 南京 空气质量 PM2.5 管控
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南京及周边区域亚青期间大气监控预警走航观测研究 被引量：13
6
作者 张祥志 王自发 +5 位作者 谢品华 王晨波 刘建军 杜嵩山 何源 汤莉莉 《中国环境监测》 CAS CSCD 北大核心 2014年第3期154-158,共5页
2013年8月,为了解亚青会期间南京及周边地区大气污染物的来源、时空分布和输送规律,江苏省环境监测中心联合中科院大气物理所等15家单位,开展了为期一个月的夏季联合观测,监测区域覆盖江苏沿江8市以及安徽部分地区。该次联合观测,江苏... 2013年8月,为了解亚青会期间南京及周边地区大气污染物的来源、时空分布和输送规律,江苏省环境监测中心联合中科院大气物理所等15家单位,开展了为期一个月的夏季联合观测,监测区域覆盖江苏沿江8市以及安徽部分地区。该次联合观测,江苏首次利用空气质量数值预报模式指导开展走航观测,实现了动静、水平与垂直相结合的立体式巡航观测,并初步揭示了现阶段江苏省大气污染主要特征,观测结果直接服务于亚青空气质量会商,为保障南京市空气质量提供技术支撑,同时为2014青奥会空气质量保障积累经验。 展开更多
关键词 环境空气 走航观测 亚青会 预警
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江苏省典型生态示范区土壤中多环芳烃的含量与风险评价 被引量：10
7
作者 张祥志 赵永刚 +3 位作者 胡冠九 章勇 范迪富 廖启林 《土壤》 CAS CSCD 北大核心 2006年第6期790-793,共4页
采集了江苏省某典型生态示范区内58个监测单元的土壤样品,并对样品中的多环芳烃(PAHs)进行了定量分析。结果表明,生态示范区土壤中的PAHs平均含量较低,但不同土壤样品之间PAHs的变异系数较大,以二苯[a,h]并蒽、苯并[a]蒽、苯并[b]荧蒽... 采集了江苏省某典型生态示范区内58个监测单元的土壤样品,并对样品中的多环芳烃(PAHs)进行了定量分析。结果表明,生态示范区土壤中的PAHs平均含量较低,但不同土壤样品之间PAHs的变异系数较大,以二苯[a,h]并蒽、苯并[a]蒽、苯并[b]荧蒽、苯并[k]荧蒽为主要组成成分。从8个生态类型区分析,工矿企业搬迁区PAHs含量最高,达49.196μg/kg,其次是化工区周边,农业科技园土壤中的PAHs含量最低。工业区的PAHs多来源于石油输入,而以农业为主的生产基地、科技园等,PAHs主要来源于化石燃料的不完全燃烧。生态风险评价结果显示生态示范区内的PAHs处于较低毒性水平,尚未对生物造成不利的影响。 展开更多
关键词 生态示范区 土壤 多环芳烃 生态风险评价
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软X射线谱学显微图像漂移的精确校正 被引量：4
8
作者 张祥志 许子健 +4 位作者 甄香君 王勇 郭智 严睿 邰仁忠 《核技术》 CAS CSCD 北大核心 2010年第9期657-662,共6页
上海光源软X射线谱学显微实验站(BL08U)新建成并投入使用,已实现30nm空间分辨的元素成像功能。由于机械精度和重复精度误差,不同能量扫描出的两幅或多幅图像位置会有一定量的漂移。在高分辨情况下图像漂移不仅给数据处理带来严重误差,... 上海光源软X射线谱学显微实验站(BL08U)新建成并投入使用,已实现30nm空间分辨的元素成像功能。由于机械精度和重复精度误差,不同能量扫描出的两幅或多幅图像位置会有一定量的漂移。在高分辨情况下图像漂移不仅给数据处理带来严重误差,导致分辨率下降,甚至产生错误,所以需对不同能量下的图像配准。硬件上用激光干涉仪对样品定位,并通过slope函数确定样品台移动的漂移规律,从而在移动样品过程中对位置动态校正。软件上发展一种新的基于图像分窗口相关性的数字图像自动配准方法,对采集到的两幅或多幅STXM图像配准,对每一子区的自动相关匹配来对整幅图像精确配准,在x和y方向配准精度可达小于1像素尺度(STXM目前的要求)。 展开更多
关键词 图像配准 分窗口 相关函数 激光干涉仪 扫描透射软X射线显微
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江苏省不同典型生态示范区土壤中多环芳烃污染调查 被引量：8
9
作者 张祥志 赵永刚 +2 位作者 章勇 范迪富 廖启林 《环境监测管理与技术》 北大核心 2008年第1期18-21,共4页
对江苏省南京和苏州2个典型生态示范区土壤中多环芳烃污染现状进行了调查。结果表明,生态示范区土壤中多环芳烃污染程度随土地利用类型不同而污染程度有所不同,以工业用地为主的土壤中多环芳烃含量明显高于以农业用地为主的土壤,其总量... 对江苏省南京和苏州2个典型生态示范区土壤中多环芳烃污染现状进行了调查。结果表明,生态示范区土壤中多环芳烃污染程度随土地利用类型不同而污染程度有所不同,以工业用地为主的土壤中多环芳烃含量明显高于以农业用地为主的土壤,其总量呈现出由工业区用地到蔬菜瓜果用地逐渐降低的趋势。2个示范区4环及其以上PAH含量明显高于2环—3环PAH,主要为石化燃料高温燃烧造成;而以农业为主的蔬菜生产基地等,多环芳烃主要来源于石油类污染。 展开更多
关键词 生态示范区 土壤污染 多环芳烃 南京 苏州
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不同土地利用类型作物中多环芳烃含量调查 被引量：3
10
作者 张祥志 赵永刚 +3 位作者 胡冠九 章勇 范迪富 廖启林 《中国环境监测》 CAS CSCD 北大核心 2009年第1期74-77,共4页
文章调查了江苏苏州某典型生态示范区内,多环芳烃在不同土地利用类型和各种作物的富集、迁移、转化情况并进行比对、分析,确定不同土地利用类型中作物多环芳烃污染水平不同;不同作物对多环芳烃的富集效率不同;同一作物的不同组织(器官)... 文章调查了江苏苏州某典型生态示范区内,多环芳烃在不同土地利用类型和各种作物的富集、迁移、转化情况并进行比对、分析,确定不同土地利用类型中作物多环芳烃污染水平不同;不同作物对多环芳烃的富集效率不同;同一作物的不同组织(器官)多环芳烃含量也不同,初步分析了多环芳烃在水-土-气各介质之间的迁移富集规律,为推进江苏"生态省"建设与可持续发展提供一定的技术参考依据。 展开更多
关键词 生态示范区 土壤 多环芳烃 污染
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基于供给侧改革的文化产业创造力激励研究 被引量：8
11
作者 张祥志 尹靓 《中国出版》 CSSCI 北大核心 2016年第13期15-19,共5页
供给侧改革要求下的文化产业发展应注重提升文化产业供给质量、创造新型文化产业供给。文化产业的供给直接指向文化产品的创造性,即文化内容生产中的创造力。文化产业创造力的产生和激励受到四大要素的影响:激励的属性、激励的中介变量... 供给侧改革要求下的文化产业发展应注重提升文化产业供给质量、创造新型文化产业供给。文化产业的供给直接指向文化产品的创造性,即文化内容生产中的创造力。文化产业创造力的产生和激励受到四大要素的影响:激励的属性、激励的中介变量、激励的调节变量和创造力的属性。理清文化产业创造力激励的机理、路径和理论模型,有助于我国文化产业政策的科学化和合理化。 展开更多
关键词 文化产业 创造力 激励 供给侧优化
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江苏省水质自动监测系统建设与运行管理 被引量：20
12
作者 张祥志 《环境监测管理与技术》 北大核心 2006年第2期6-7,共2页
关键词 水质自动监测系统 江苏省 系统建设 ABB公司 20世纪80年代 水质自动监测站 NH3-N 管理 运行 南水北调东线
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知识产权制度体系保障文化产业发展的理论证成 被引量：2
13
作者 张祥志 宋婷 《出版发行研究》 CSSCI 北大核心 2017年第6期18-20,共3页
文化产业的发展以知识产权制度体系为基础,这一基础性作用体现知识产权制度的保障功能:知识产权创造促进文化产业创意培育,知识产权保护确保文化产业内容确权,知识产权运用推动文化产业市场运营,知识产权文化建设支撑文化产业环境营造。
关键词 知识产权 文化产业 创意培育 内容确权 产业市场
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“互联网+”形态下版权创造、传播与交易转型研究 被引量：7
14
作者 张祥志 安雪芬 《中国出版》 CSSCI 北大核心 2017年第23期56-59,共4页
"创新改变生活"之世界知识产权日主题提示我们:作为当今世界最重要创新主题之一的"互联网+"深刻改变着包括版权在内的社会经济的方方面面。"互联网+"对于版权的改造以"互联网+"对经济关系的生... "创新改变生活"之世界知识产权日主题提示我们:作为当今世界最重要创新主题之一的"互联网+"深刻改变着包括版权在内的社会经济的方方面面。"互联网+"对于版权的改造以"互联网+"对经济关系的生产、流通和消费环节的变革为理论基础。在版权创造维度,"互联网+"带来的"去职业化"使得版权创造模式、版权创造主体、版权创造形式及版权创造内容发生转变;在版权传播角度,"互联网+"引发的"去中心化"使得版权传播介质、版权传播效率、版权传播模式和版权传播枢纽产生变革;在版权交易层面,"互联网+"导致的"去单一化"使得作品利用形态、版权许可方式、市场主体角色和版权商业模式出现变更。 展开更多
关键词 “互联网+” 版权创造 版权传播 版权交易
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县级环境监测站标准化建设达标验收预审中应注意的问题 被引量：3
15
作者 张祥志 钱江 《环境监测管理与技术》 2000年第5期1-2,共2页
针对江苏省环境监测站标准化建设达标前期验收工作中发现的问题 ,指出严格验收标准 ,严把验收质量关 ,不仅是环境监测工作向深度和广度发展的需要 ,更是环境管理的需要。提出硬件必须到位 ,有足够的人员经费 ,一定的环境监测能力 ,人员... 针对江苏省环境监测站标准化建设达标前期验收工作中发现的问题 ,指出严格验收标准 ,严把验收质量关 ,不仅是环境监测工作向深度和广度发展的需要 ,更是环境管理的需要。提出硬件必须到位 ,有足够的人员经费 ,一定的环境监测能力 ,人员素质和专业技术人员的结构比例 ,是环境监测标准化建设的核心 ,各省辖市环境保护局在对所辖县 (市 )环境监测站标准化建设达标验收预审时尤应注意。 展开更多
关键词 环境监测站 标准化建设 达标验收 县级 江苏省
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太湖入湖河流流量简易测量法——中泓一点法 被引量：3
16
作者 张祥志 王经顺 《环境监测管理与技术》 2004年第4期28-29,共2页
通过利用经典测试法与多普勒测流仪对太湖入湖河流流量进行的比对分析,找出了太湖入湖河流流量的简易测试方法———中泓一点法。在河流中泓0 6倍水深处测流,可得到入湖河流流量70%的精度;若要保证得到入湖河流流量为80%精度,则需在中泓... 通过利用经典测试法与多普勒测流仪对太湖入湖河流流量进行的比对分析,找出了太湖入湖河流流量的简易测试方法———中泓一点法。在河流中泓0 6倍水深处测流,可得到入湖河流流量70%的精度;若要保证得到入湖河流流量为80%精度,则需在中泓0 8倍水深处施测。 展开更多
关键词 河流 流量 测量 太湖
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江苏省“八五”环境质量声像报告书的研究 被引量：3
17
作者 张祥志 范元中 《环境监测管理与技术》 1999年第6期18-20,共3页
“江苏省‘八五’环境质量声像报告书”是以江苏省“八五”期间近５００ 万个监测数据为基础，运用地理信息系统和多媒体技术制作的集声、像、图和文字为一体的环境质量计算机演示系统。该系统生动、直观地表征了江苏省“八五”环境质... “江苏省‘八五’环境质量声像报告书”是以江苏省“八五”期间近５００ 万个监测数据为基础，运用地理信息系统和多媒体技术制作的集声、像、图和文字为一体的环境质量计算机演示系统。该系统生动、直观地表征了江苏省“八五”环境质量状况及变化趋势。它的研制成功是环境质量表征技术的重要突破。文章对系统目标、系统研究的技术路线、技术方法和系统的组成及内容等方面作了阐述。 展开更多
关键词 环境质量 声像报告 江苏 监测数据
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2011年江苏省空气质量重污染天气及特征分析 被引量：3
18
作者 张祥志 汤莉莉 《科技资讯》 2013年第16期128-129,共2页
本文从相关环境质量监测数据及气象条件入手,分析了2011年江苏省发生的6次较大规模的灰霾污染天气及特征,总结了灰霾形成与气象因素的密切关系,供有关技术人员参考。
关键词 大气 灰霾 污染
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2011年南京市春季大气颗粒物污染特征分析 被引量：8
19
作者 张祥志 秦玮 严国梁 《环境监控与预警》 2013年第5期36-40,53,共6页
2011年江苏省环境监测中心对南京市鼓楼、建邺、栖霞3区8个采样点采集了TSP和PM10样品,进行颗粒物质量浓度、水溶性离子、无机元素以及碳成分分析。结果表明该市春季大气颗粒物污染以PM10为主,不同区域颗粒物污染特点不一;水溶性离子以C... 2011年江苏省环境监测中心对南京市鼓楼、建邺、栖霞3区8个采样点采集了TSP和PM10样品,进行颗粒物质量浓度、水溶性离子、无机元素以及碳成分分析。结果表明该市春季大气颗粒物污染以PM10为主,不同区域颗粒物污染特点不一;水溶性离子以Ca2+、NO3-及SO2-4居多;无机元素以Ca、Fe、Al为主,Pb与Zn浓度较Ni与V高;市内EC浓度较高,可能与裸露堆煤场有关。有关研究结果提交南京市政府部门,供决策时参考。 展开更多
关键词 大气颗粒物 污染特征 水溶性离子 富集因子 无机成分 碳成分
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知识产权支撑新闻出版业供给侧改革的向度、法理与路径 被引量：4
20
作者 张祥志 安雪芬 《出版发行研究》 CSSCI 北大核心 2017年第11期27-30,共4页
新闻出版业近年出现的"IP热"和"内容为王"态势充分说明了知识产权与产业发展的关联。新闻出版业供给侧改革基本向度下,"内容"的创造激励乃首要目标,知识产权的支撑作用愈发凸显。作为法律权利,知识产权... 新闻出版业近年出现的"IP热"和"内容为王"态势充分说明了知识产权与产业发展的关联。新闻出版业供给侧改革基本向度下,"内容"的创造激励乃首要目标,知识产权的支撑作用愈发凸显。作为法律权利,知识产权的理论来源、构成要件、客体属性和价值目标形成了支撑产业创造激励的法理基础;作为政策工具,知识产权创造、保护、运用和文化建设构成的循环模型成为支撑产业创造激励的基本路径。 展开更多
关键词 知识产权 新闻出版产业 供给侧改革
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