硅元素对Zn-75Al合金组织及性能的影响 被引量：4

1

作者 李永刚 赵向南 +1 位作者 范桂霞 孔亚萍 《郑州大学学报（工学版）》 CAS 北大核心 2014年第2期100-103,共4页

锌铝合金以其优异的铸造性能、机械性能以及耐磨减磨性能成为近年的研究热点之一.笔者通过金相显微镜、TH700型维氏硬度计、电子万能试验机及MMU-10G磨损试验机研究了Si元素对Zn-75Al合金微观组织、力学性能及干摩擦性能的影响.结果表明... 锌铝合金以其优异的铸造性能、机械性能以及耐磨减磨性能成为近年的研究热点之一.笔者通过金相显微镜、TH700型维氏硬度计、电子万能试验机及MMU-10G磨损试验机研究了Si元素对Zn-75Al合金微观组织、力学性能及干摩擦性能的影响.结果表明:Zn-75Al合金添加Si元素后,试验合金微观组织中析出共晶硅相,当Si含量小于3%时,共晶硅均匀分布,而硅含量大于3%时,共晶硅尺寸变大,出现微观偏析,并析出少量形状不规则的初晶硅相;试验合金的维氏硬度增加,伸长率逐渐降低,而抗拉强度先增加后降低,当硅含量为3%时,抗拉强度最大;摩擦系数及磨损量先降低后增加,当硅含量为3%时,合金的耐磨性能最好. 展开更多

关键词 锌铝合金 微观组织 力学性能 干滑动摩擦

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RE和Ti对Al-Mg-Si导体材料组织和性能的影响 被引量：2

2

作者 赵红亮 孔亚萍 刘志鹏 《郑州大学学报（工学版）》 CAS 北大核心 2015年第4期54-56,66,共4页

在Al-Mg-Si合金中添加稀土和钛,采用OM,SEM和EDS对合金显微组织进行分析,并通过性能测试,研究稀土和钛对Al-Mg-Si导体材料组织和性能的影响.研究表明:RE和Ti对Al-Mg-Si导体材料均有细化作用.当合金中RE和Ti质量分数分别超过0.3%和0.15%... 在Al-Mg-Si合金中添加稀土和钛,采用OM,SEM和EDS对合金显微组织进行分析,并通过性能测试,研究稀土和钛对Al-Mg-Si导体材料组织和性能的影响.研究表明:RE和Ti对Al-Mg-Si导体材料均有细化作用.当合金中RE和Ti质量分数分别超过0.3%和0.15%时,稀土元素Ce和Ti发生反应,生成Al20Ti2Ce相,消耗熔体中大量的Ti和Ce,对合金的力学性能和导电性能有不利影响. 展开更多

关键词 AL-MG-SI 合金元素 力学性能 导电性能

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Al-5Ti-0.25C-8Sr对AM60B镁合金铸态显微组织及性能的影响 被引量：1

3

作者 赵红亮 段晓辉 +2 位作者 于洋 翁康荣 孔亚萍 《郑州大学学报（工学版）》 CAS 北大核心 2011年第5期49-51,共3页

研究了Al-5Ti-0.25C-8Sr对AM60B镁合金显微组织及性能的影响.结果表明:Al-5Ti-0.25C-8Sr对AM60B具有良好的细化和变质效果.添加质量分数为0.1%的Al-5Ti-0.25C-8Sr时,α-Mg显著细化,β相由连续或半连续状转变为颗粒状,平均晶粒尺寸由265... 研究了Al-5Ti-0.25C-8Sr对AM60B镁合金显微组织及性能的影响.结果表明:Al-5Ti-0.25C-8Sr对AM60B具有良好的细化和变质效果.添加质量分数为0.1%的Al-5Ti-0.25C-8Sr时,α-Mg显著细化,β相由连续或半连续状转变为颗粒状,平均晶粒尺寸由265μm降低到约78μm;但当Al-5Ti-0.25C-8Sr加入量大于0.1%时,镁合金晶粒有粗化趋势;AM60B的抗拉强度和显微硬度随着Al-5Ti-0.25C-8Sr添加量的增加先升高后下降,当加入量为0.1%时具有最大值. 展开更多

关键词 AM60B镁合金 Al-5Ti-0.25C-8Sr 晶粒细化 变质

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基于条带的小波变换遥感图像压缩编码算法的改进 被引量：1

4

作者 孔亚萍 张晓林 刘荣科 《遥测遥控》 2003年第6期39-42,50,共5页

星载遥感图像压缩传输技术是星载系统的关键之一。文中介绍空间数据咨询委员会 CCSDS提出的基于条带的遥感压缩建议算法原理 (CNES) ,分析该算法的特点和压缩性能 ,对该算法中量化和熵编码部分的缺陷进行了简单的改进。实验表明 ,改进... 星载遥感图像压缩传输技术是星载系统的关键之一。文中介绍空间数据咨询委员会 CCSDS提出的基于条带的遥感压缩建议算法原理 (CNES) ,分析该算法的特点和压缩性能 ,对该算法中量化和熵编码部分的缺陷进行了简单的改进。实验表明 ,改进后的算法性能优于原有算法。 展开更多

关键词 CNES算法 遥感图像 小波变换 比特分配

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电磁搅拌对Al-3Ti-0.2C-5Sr显微组织及细化性能的影响 被引量：1

5

作者 赵红亮 孔亚萍 孙启宴 《铸造》 CAS CSCD 北大核心 2015年第3期206-209,共4页

研究了电磁搅拌对Al-3Ti-0.2C-5Sr细化剂显微组织的影响,并将电磁搅拌后的Al-3Ti-0.2C-5Sr添加到Al-7Si合金中进行细化试验。结果表明:随着搅拌时间的延长,Ti Al3相逐渐消失,大块状或板条状Al-Ti-Sr相转化为小块状,块状Al4Sr相转化为细... 研究了电磁搅拌对Al-3Ti-0.2C-5Sr细化剂显微组织的影响,并将电磁搅拌后的Al-3Ti-0.2C-5Sr添加到Al-7Si合金中进行细化试验。结果表明:随着搅拌时间的延长,Ti Al3相逐渐消失,大块状或板条状Al-Ti-Sr相转化为小块状,块状Al4Sr相转化为细针状,Ti C颗粒分布更加均匀;随着搅拌频率的提高,块状Al-Ti-Sr相尺寸减小;电磁搅拌后的Al-3Ti-0.2C-5Sr可将Al-7Si合金晶粒尺寸由1 195μm细化至210μm,保温60 min后未出现细化衰退现象。 展开更多

关键词 Al-3Ti-0.2C-5Sr 搅拌时间 搅拌频率 晶粒尺寸 细化衰退

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稀土对Al-3Ti-0.2C细化剂显微组织及细化性能的影响 被引量：4

6

作者 李苗 孔亚萍 +2 位作者 管仁国 翁康荣 赵红亮 《铸造》 CAS CSCD 北大核心 2011年第5期473-476,共4页

采用海绵钛、石墨粉、混合稀土及工业纯铝制备了Al-3Ti-0.2C-1RE及Al-3Ti-0.2C两种细化剂,并对工业纯铝进行了细化试验。利用X射线衍射仪(XRD)、带有能谱分析(EDS)的扫描电子显微镜(SEM)及光学显微镜(OM),对细化剂的相组成和显微组织及... 采用海绵钛、石墨粉、混合稀土及工业纯铝制备了Al-3Ti-0.2C-1RE及Al-3Ti-0.2C两种细化剂,并对工业纯铝进行了细化试验。利用X射线衍射仪(XRD)、带有能谱分析(EDS)的扫描电子显微镜(SEM)及光学显微镜(OM),对细化剂的相组成和显微组织及细化后的组织进行了研究。结果表明,与Al-3Ti-0.2C相比,Al-3Ti-0.2C-1RE中TiC粒子的数量增多,TiAl3相的尺寸减小,并生成了Ti2Al20Ce相。在细化剂的制备过程中,稀土元素富集在石墨颗粒周围,清除石墨颗粒与熔体界面上的氧化膜,促进了TiC粒子的合成。同时部分Ti2Al20Ce相与石墨反应也生成TiC粒子。在工业纯铝中分别添加0.4%的两种细化剂后,Al-3Ti-0.2C使晶粒尺寸细化到151μm,而Al-3Ti-0.2C-1RE可将其细化到107μm。 展开更多

关键词 AL-TI-C 晶粒细化剂 稀土 细化性能

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维吾尔族习用药神香草特征图谱与含量测定

7

作者 苏建 朱靖 +3 位作者 孔亚萍 尹璇 赵振霞 刘永利 《药学研究》 CAS 2024年第9期862-866,共5页

目的建立神香草高效液相色谱(HPLC)特征图谱,地奥司明、蒙花苷的含量测定方法。方法分析采用C18色谱柱(4.6 mm×250 mm,5μm);乙腈-0.1%磷酸为流动相,梯度洗脱;流速1.0 mL·min^(-1);特征图谱检测波长328 nm,含量测定检测波长33... 目的建立神香草高效液相色谱(HPLC)特征图谱,地奥司明、蒙花苷的含量测定方法。方法分析采用C18色谱柱(4.6 mm×250 mm,5μm);乙腈-0.1%磷酸为流动相,梯度洗脱;流速1.0 mL·min^(-1);特征图谱检测波长328 nm,含量测定检测波长333 nm。结果神香草HPLC特征图谱中有18个主要色谱峰。地奥司明在10.773~430.92 ng、蒙花苷在0.3247~324.73 ng范围内线性关系良好,平均回收率(n=9)分别为97.1%(RSD=2.2%)、100.2%(RSD=0.7%)。结论该方法准确可靠,可用于神香草的质量控制。 展开更多

关键词 高效液相色谱 维药 神香草 地奥司明 蒙花苷 特征图谱 相对保留时间

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初中生自杀风险的普遍性及针对性干预的效果 被引量：3

8

作者 王舟 卞茜 +7 位作者 王瑞文 舒京平 孔亚萍 杨禄禄 周洁 陈珊 冯榴君 梁秋月 《中国心理卫生杂志》 CSSCI CSCD 北大核心 2020年第2期117-122,共6页

目的:对初中生自杀风险开展以学校为基础的普遍性干预及针对性干预,考察干预效果。方法:选取初一、初二学生606人,以班级为单位随机分为干预组(n=328)和对照组(n=278)。干预组先后开展以学校为基础(在学校内)的普遍性干预(对该组所有学... 目的:对初中生自杀风险开展以学校为基础的普遍性干预及针对性干预,考察干预效果。方法:选取初一、初二学生606人,以班级为单位随机分为干预组(n=328)和对照组(n=278)。干预组先后开展以学校为基础(在学校内)的普遍性干预(对该组所有学生及其老师和家长干预)和针对性干预(对该组有自杀风险的学生干预)共8个月,频率1次/周;对照组进行一般性的心理宣教(该组学生老师和家长不干预)。干预前1周及干预后1月评估两组学生自尊量表(SES)、简易应对方式问卷(SCSQ)、贝克抑郁问卷(BDI)及自杀风险筛查。结果:干预后,干预组BDI得分[24.0(20.0,54.0)分vs.23.0(0.0,67.0)分,P<0.01]、自杀风险筛查阳性[47例(14.3%)vs.25例(7.6%),P<0.01]降低;对照组上述两指标在干预前后差异无统计学意义(P>0.05)。结论:以学校为基础的普遍性干预和针对性干预对降低初中生抑郁水平、自杀风险水平有一定效果。 展开更多

关键词 初中生 自杀风险 普遍性干预 针对性干预 学校

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常州市执业律师工作压力与心理健康的关系研究 被引量：1

9

作者 舒京平 孔亚萍 +1 位作者 陆柏松 吴昊 《中国继续医学教育》 2021年第17期89-92,共4页

目的调查常州市执业律师的工作压力和心理健康现状并研究其相互关系。方法选取SCL-90症状自评量表、JSS工作压力量表对常州市787名执业律师进行测评。结果执业律师的性别、文化程度、婚姻状况在SCL-90及工作压力量表总分上差异无统计学... 目的调查常州市执业律师的工作压力和心理健康现状并研究其相互关系。方法选取SCL-90症状自评量表、JSS工作压力量表对常州市787名执业律师进行测评。结果执业律师的性别、文化程度、婚姻状况在SCL-90及工作压力量表总分上差异无统计学意义(P>0.05)。不同工作强度及收入满意度的执业律师在SCL-90及JSS工作压力量表总分差异有统计学意义(P<0.05)。律师SCl-90各因子得分与JSS工作压力各因子得分呈显著正相关,且工作压力中的工作背景氛围压力、角色认知压力与人际关系压力对心理健康有显著的预测作用。结论随着工作时间的增加,律师的工作压力明显增加,其心理健康水平也相应降低,但其收入是保护性因素。 展开更多

关键词 执业律师 工作压力 心理 健康 相关分析 预测

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《中国药典》鹿衔草质量标准修订的研究 被引量：1

10

作者 孔亚萍 段吉平 +1 位作者 赵振霞 刘永利 《中国现代中药》 CAS 2023年第6期1259-1265,共7页

目的:针对《中华人民共和国药典》(以下简称《中国药典》)2020年版中鹿衔草药材标准存在的问题和局限性,对其质量标准进行改进和完善,为《中国药典》 2020年版鹿衔草药材质量标准的修订提供参考。方法:采用显微鉴别法与薄层色谱法对鹿... 目的:针对《中华人民共和国药典》(以下简称《中国药典》)2020年版中鹿衔草药材标准存在的问题和局限性,对其质量标准进行改进和完善,为《中国药典》 2020年版鹿衔草药材质量标准的修订提供参考。方法:采用显微鉴别法与薄层色谱法对鹿衔草的鉴别项进行研究,增加了粉末显微鉴别,修订了薄层鉴别中的薄层板和展开剂;增加了鹿衔草质量标准中有关杂质的检查项;采用高效液相色谱法对鹿衔草中的水晶兰苷含量测定方法进行了改进,修订了供试品溶液制备方法。通过直观分析和主成分分析(PCA)对14批鹿衔草样品部分检验项目的测定结果进行分析与评价。结果:粉末显微鉴别法使标准控制更为完善;与原标准的薄层鉴别项比较,新建方法通用性好,斑点清晰;建立的含量测定方法准确、简便、快速、重复性好,对不同仪器和不同色谱柱的适应性好;直观分析和PCA的结果均显示杂质是影响鹿衔草质量的重要因素。结论:增加和修订的检测项目简便可行、重复性好,可用于鹿衔草药材的质量控制。 展开更多

关键词 鹿衔草 质量标准 显微鉴别 薄层色谱法 高效液相色谱法 杂质 水晶兰苷

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体操训练中心理障碍产生的原因与对策研究 被引量：4

11

作者 孔亚萍 《教育教学论坛》 2013年第20期165-167,共3页

在体操训练中学生容易产生一些心理障碍,这不利于学生掌握动作,也影响了训练工作的开展,针对这个问题本文结合心理学、生理学观点,分析了体操训练中常出现的几种心理障碍,并从教师和学生两方面提出了一些消除方法和预防措施。

关键词 体操训练 心理障碍 恐惧记忆

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气相色谱单柱法测定竹节参中20种有机氯农药残留量 被引量：2

12

作者 马永青 李小盼 +2 位作者 孔亚萍 杨会龙 李亚丽 《河北大学学报（自然科学版）》 CAS 北大核心 2016年第5期487-493,共7页

为测定竹节参中20种有机氯农药残留，采用超声提取、Florisil硅土柱净化后，采用气相色谱一电子捕获检测器对目标物进行分析测定，内标法定量．结果表明：样品基质3水平添加条件下，20种有机氯农药回收率为68．21％～124．5％，相对标... 为测定竹节参中20种有机氯农药残留，采用超声提取、Florisil硅土柱净化后，采用气相色谱一电子捕获检测器对目标物进行分析测定，内标法定量．结果表明：样品基质3水平添加条件下，20种有机氯农药回收率为68．21％～124．5％，相对标准偏差小于5．64％，检出限为0．0099～0．0493ug／kg．该方法快速，准确，灵敏度高，可用于20种有机氯农药残留量测定． 展开更多

关键词 气相色谱法 有机氯农药 竹节参

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中小学档案信息资源开发利用研究 被引量：1

13

作者 孔亚萍 《档案时空》 2018年第6期36-37,共2页

中小学档案是在学校各项工作和活动中形成的历史记录，如实地反映了学校的历史沿革。目前，中小学在档案管理方面取得了一定的进展，但依然存在对档案信息资源开发利用认识不足、成果较少等问题。从中小学档案信息资源开发利用的必要条... 中小学档案是在学校各项工作和活动中形成的历史记录，如实地反映了学校的历史沿革。目前，中小学在档案管理方面取得了一定的进展，但依然存在对档案信息资源开发利用认识不足、成果较少等问题。从中小学档案信息资源开发利用的必要条件和可行性条件出发，找出适合当前发展需要的中小学档案资源开发利用的路径，有利于进一步提高中小学档案信息资源的开发利用水平，促进中小学教育的可持续发展。 展开更多

关键词 信息资源开发利用 中小学教育 档案管理 档案资源开发利用 档案信息资源 历史记录 可持续发展 可行性

原文传递

协作互补 规范共进——某区教育系统档案工作协作组建设实践研究

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作者 孔亚萍 《北京档案》 北大核心 2018年第5期38-40,共3页

建立档案协作组是新时期学校档案管理工作发展的需要。某区教育系统通过建立10个半官方性质的档案协作组,全面推进了学校档案工作管理制度的规范化,有效提升了学校档案管理员的业务水平,并且在推动区域档案信息化方面积累了不少有益的... 建立档案协作组是新时期学校档案管理工作发展的需要。某区教育系统通过建立10个半官方性质的档案协作组,全面推进了学校档案工作管理制度的规范化,有效提升了学校档案管理员的业务水平,并且在推动区域档案信息化方面积累了不少有益的经验。 展开更多

关键词 学校档案 档案协作组 档案管理

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连翘苷含量测定方法优化研究 被引量：4

15

作者 耿莲 段吉平 +3 位作者 孔亚萍 刘永利 宋宗华 冯丽 《中国药品标准》 CAS 2018年第3期204-206,共3页

目的:改进《中国药典》2015年版连翘项下连翘苷含量测定方法。方法:优化连翘苷含量测定方法,简化供试品溶液制备方法。结果:优化后的连翘苷含量测定方法操作简便快捷,连翘苷在0.179 1~17.905 3μg范围内与峰面积呈良好的线性关系(R^2=0.... 目的:改进《中国药典》2015年版连翘项下连翘苷含量测定方法。方法:优化连翘苷含量测定方法,简化供试品溶液制备方法。结果:优化后的连翘苷含量测定方法操作简便快捷,连翘苷在0.179 1~17.905 3μg范围内与峰面积呈良好的线性关系(R^2=0.999 9),回收率平均值为99.9%(RSD为1.4%),与原方法测定结果一致。结论:改进后方法操作简便,重复性好。 展开更多

关键词 连翘 含量测定 方法优化 连翘苷

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舒肝丸质量标准中薄层和液相方法完善研究 被引量：5

16

作者 徐乐 孔亚萍 +1 位作者 孙慧珠 刘永利 《中国药事》 CAS 2018年第4期516-521,共6页

目的:对舒肝丸质量标准进行完善提高。方法:对现标准中延胡索、陈皮、厚朴的薄层色谱鉴别方法进行完善提高;采用高效液相色谱法同时测定芍药苷的含量,色谱柱为C_(18)柱,以乙腈-0.05%磷酸为流动相,梯度洗脱,流速1.0 ml·min^(-1);检... 目的:对舒肝丸质量标准进行完善提高。方法:对现标准中延胡索、陈皮、厚朴的薄层色谱鉴别方法进行完善提高;采用高效液相色谱法同时测定芍药苷的含量,色谱柱为C_(18)柱,以乙腈-0.05%磷酸为流动相,梯度洗脱,流速1.0 ml·min^(-1);检测波长为230 nm。结果:薄层色谱斑点清晰,分离度好,专属性强,重复性良好。芍药苷在0.03898~0.9746μg范围内线性关系良好;平均回收率为100.5%,RSD为1.5%。结论:本文建立的鉴别和含量测定方法为舒肝丸的质量标准的修订完善提供可靠依据。 展开更多

关键词 舒肝丸 薄层色谱法 高效液相色谱法 质量标准完善 芍药苷

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制川乌《中华人民共和国药典》含量测定方法的改进 被引量：2

17

作者 赵振霞 段琼 +2 位作者 孔亚萍 朱靖 刘永利 《中国现代中药》 CAS 2023年第1期165-170,共6页

目的:改进《中华人民共和国药典》(以下简称《中国药典》)2020年版中制川乌含量测定方法,进一步优化固相萃取技术,建立同时测定制川乌中苯甲酰新乌头原碱、苯甲酰乌头原碱、苯甲酰次乌头原碱、新乌头碱、次乌头碱、乌头碱的高效液相色... 目的:改进《中华人民共和国药典》(以下简称《中国药典》)2020年版中制川乌含量测定方法,进一步优化固相萃取技术,建立同时测定制川乌中苯甲酰新乌头原碱、苯甲酰乌头原碱、苯甲酰次乌头原碱、新乌头碱、次乌头碱、乌头碱的高效液相色谱方法。方法:采用强阳离子吸附树脂MCX固相萃取小柱对制川乌进行纯化,制备供试品溶液;使用COSMOSIL C_(18)色谱柱(250 mm×4.6 mm,5μm),以甲醇、乙腈和0.1%磷酸水溶液为流动相梯度洗脱,流速为1.0 mL·min^(-1),柱温为25℃,检测波长为232 nm。结果:6个成分分别在各自范围内线性关系良好(r=0.9999),平均加样回收率分别为101.8%、100.2%、100.8%、99.0%、99.7%、98.2%,RSD分别为0.9%、1.2%、0.9%、1.3%、1.5%、1.0%。结论:改进了《中国药典》2020年版中制川乌含量测定的方法,解决了样品前处理复杂、使用有毒有害试剂较多的问题。建立了同时测定制川乌6个生物碱成分含量的方法,该方法准确、简便、快速、重复性好,对不同仪器和不同色谱柱的适应性好,可用于制川乌的质量控制。 展开更多

关键词 制川乌 乌头碱 次乌头碱 新乌头碱 苯甲酰乌头原碱 苯甲酰次乌头原碱 苯甲酰新乌头原碱 含量测定

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基于UPLC含量测定的不同厂家穿心莲胶囊质量评价 被引量：2

18

作者 赵振霞 苏建 +1 位作者 孔亚萍 刘永利 《中国现代中药》 CAS 2020年第9期1545-1548,1575,共5页

目的:建立同时测定穿心莲胶囊中穿心莲内酯与脱水穿心莲内酯含量的方法,并对不同厂家产品的质量进行评价。方法:采用双波长超高效液相色谱法测定穿心莲胶囊中穿心莲内酯与脱水穿心莲内酯的含量。色谱条件为ACQUITY UPLC BEH C18(100 mm&... 目的:建立同时测定穿心莲胶囊中穿心莲内酯与脱水穿心莲内酯含量的方法,并对不同厂家产品的质量进行评价。方法:采用双波长超高效液相色谱法测定穿心莲胶囊中穿心莲内酯与脱水穿心莲内酯的含量。色谱条件为ACQUITY UPLC BEH C18(100 mm×2.1 mm,1.7μm)色谱柱,以乙腈-水为流动相梯度洗脱,流速为0.3 mL·min-1,柱温为30℃,检测波长为225 nm(穿心莲内酯)、254 nm(脱水穿心莲内酯)。结果:在建立的检测条件下,穿心莲内酯和脱水穿心莲内酯均能达到基线分离,两者的进样量线性范围分别为0.0826~2.0648(r=0.9999)、0.0408~1.0197μg(r=0.9999);平均加样回收率分别为98.7%、100.7%(RSD分别为1.0%、1.8%,n=9)。27批穿心莲胶囊样品中,穿心莲内酯与脱水穿心莲内酯的含量分别为0.94~7.50、5.62~10.12 mg/粒。结论:建立的方法操作简便、快速,可用于穿心莲胶囊的质量控制及评价。 展开更多

关键词 穿心莲胶囊 超高效液相色谱法 含量测定 穿心莲内酯 脱水穿心莲内酯

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ZrO_(2)/InP和ZrO_(2)/InAs堆栈的元素扩散研究

19

作者 刘澳 冯泽 +11 位作者 井美艺 郑旭 单一洋 刘晖 王维华 卢峰 程雅慧 罗锋 孔亚萍 李治云 黄荣 董红 《真空电子技术》 2023年第6期50-56,共7页

Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体有望在5 nm以下节点替代Si作为场效应管的沟道材料,其与高k栅介质界面质量对器件性能极为关键。本文分别在InAs和InP衬底上通过H_(2)^(18)O蒸汽预处理表面,再利用原子层沉积技术原位制备了ZrO_(2)薄膜,通过角分辨X... Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体有望在5 nm以下节点替代Si作为场效应管的沟道材料,其与高k栅介质界面质量对器件性能极为关键。本文分别在InAs和InP衬底上通过H_(2)^(18)O蒸汽预处理表面,再利用原子层沉积技术原位制备了ZrO_(2)薄膜,通过角分辨X射线光电子能谱和飞行时间二次离子质谱技术系统性地研究了退火前后界面处衬底元素原子和氧原子扩散行为,并讨论了物理机制。本工作将加深Ⅲ-Ⅴ/高k栅介质界面在材料学上的理解。 展开更多

关键词 18 O同位素示踪法 INP ZrO 2 角分辨X射线光电子能谱 飞行时间二次离子质谱 退火

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利用^(18)O追踪研究退火对InAs/Al_(2)O_(3)堆栈中界面元素扩散行为的影响

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作者 井美艺 冯泽 +10 位作者 刘澳 郑旭 刘晖 王维华 卢峰 程雅慧 罗锋 孔亚萍 李治云 黄荣 董红 《真空电子技术》 2023年第6期57-63,共7页

研究了Al_(2)O_(3)/InAs堆栈在退火前后表面界面的物理和化学,通过X射线光电子能谱仪发现了扩散的In原子总是以氧化态的形式存在,通过湿法去除InAs衬底的氧化物后,利用18 O的水蒸汽预先氧化,再利用飞行时间二次离子质谱分析追踪18 O原子... 研究了Al_(2)O_(3)/InAs堆栈在退火前后表面界面的物理和化学,通过X射线光电子能谱仪发现了扩散的In原子总是以氧化态的形式存在,通过湿法去除InAs衬底的氧化物后,利用18 O的水蒸汽预先氧化,再利用飞行时间二次离子质谱分析追踪18 O原子,发现In原子与界面氧原子各自独立扩散。阐明界面O原子的扩散物理,为Ⅲ-Ⅴ族半导体基器件的应用奠定基础。 展开更多

关键词 高K栅介质 Ⅲ-Ⅴ族半导体 原子层沉积 元素扩散 沉积后退火

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