基于光谱分析的工业过程成分在线自动化监测系统设计与实现

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作者 夏晓峰 卢水淼 +1 位作者 韩乃旭 陈文斌 《中文科技期刊数据库（全文版）工程技术》 2024年第1期0021-0024,共4页

本文主要探讨了基于光谱分析技术实现的工业过程成分在线自动化监测系统的设计与实现。首先,阐述了光谱分析的基本原理及其在工业过程中的应用;接着,分析了在线自动化监测的核心需求和在具体工业环境中所面临的挑战;然后,对谱育科技所... 本文主要探讨了基于光谱分析技术实现的工业过程成分在线自动化监测系统的设计与实现。首先,阐述了光谱分析的基本原理及其在工业过程中的应用;接着,分析了在线自动化监测的核心需求和在具体工业环境中所面临的挑战;然后,对谱育科技所研发的工业过程成分智能在线分析系统进行了详细的概述,包括系统构成、工作原理、技术特点和应用案例;最后,详细描述了系统的设计与实现过程。本文旨在为工业生产领域提供一个高效、准确、稳定的在线自动化监测方案。 展开更多

关键词 光谱分析 工业过程 在线自动化监测 系统设计

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海水痕量金属元素分析中前处理技术的研究进展 被引量：2

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作者 胡建坤 韩双来 +2 位作者 卢水淼 游明华 曹衍龙 《理化检验（化学分册）》 CAS CSCD 北大核心 2022年第10期1232-1240,共9页

痕量金属元素在海洋生态系统中发挥着不可或缺的作用,准确测定海洋中的痕量金属元素对海洋生态系统的结构和功能有重要意义。为降低海水基体效应,提高测定准确度,综述了海水痕量金属元素分析中的前处理技术,包括螯合-溶剂萃取法、共沉... 痕量金属元素在海洋生态系统中发挥着不可或缺的作用,准确测定海洋中的痕量金属元素对海洋生态系统的结构和功能有重要意义。为降低海水基体效应,提高测定准确度,综述了海水痕量金属元素分析中的前处理技术,包括螯合-溶剂萃取法、共沉淀法、稀释-直接进样法、氩气在线稀释法和基于螯合树脂的固相萃取法,比较了各方法的优劣和适用性,并对该领域的发展趋势进行了展望(引用文献75篇)。 展开更多

关键词 海水 痕量金属元素 前处理 电感耦合等离子体质谱法

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电感耦合等离子体质谱法测定地表水中汞及其记忆效应的消除 被引量：14

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作者 卢水淼 李鹰 +1 位作者 李剑 俞晓峰 《理化检验（化学分册）》 CAS CSCD 北大核心 2019年第10期1222-1224,共3页

汞作为一种高毒性的重金属元素,其危害性已广为人知。工业及农业活动中都有可能造成水环境中汞污染,汞排入水中后,受污染水体的鱼体内甲基汞含量比水中高上万倍,汞在水体、土壤、大气和生物圈中迁移和转化并对人类的健康产生威胁。在GB ... 汞作为一种高毒性的重金属元素,其危害性已广为人知。工业及农业活动中都有可能造成水环境中汞污染,汞排入水中后,受污染水体的鱼体内甲基汞含量比水中高上万倍,汞在水体、土壤、大气和生物圈中迁移和转化并对人类的健康产生威胁。在GB 3838-2002《地表水环境质量标准》中明确规定汞的限值标准为0.05μg·L^-1。 展开更多

关键词 电感耦合等离子体质谱法 记忆效应 限值标准 甲基汞 汞污染 重金属元素 迁移和转化 地表水

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六极杆碰撞反应池–ICP–MS法测定海水中痕量金属元素 被引量：8

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作者 卢水淼 邱明 +3 位作者 李剑 梁炎 李鹰 马放均 《化学分析计量》 CAS 2016年第6期13-16,共4页

建立了直接稀释法测定海水中痕量金属元素Cr,Cu,Zn,Cd,Pb的方法。样品经稀释10倍后,使用基体匹配及内标校正,采用六极杆碰撞反应池–电感耦合等离子体质谱仪直接测定稀释后海水样品中的5种元素Cr,Cu,Zn,Cd,Pb。各元素在0.0~100μg/L范... 建立了直接稀释法测定海水中痕量金属元素Cr,Cu,Zn,Cd,Pb的方法。样品经稀释10倍后,使用基体匹配及内标校正,采用六极杆碰撞反应池–电感耦合等离子体质谱仪直接测定稀释后海水样品中的5种元素Cr,Cu,Zn,Cd,Pb。各元素在0.0~100μg/L范围内均呈现良好的线性关系,线性相关系数(r^2)均大于0.999 0,方法检出限为0.004~0.209μg/L。测定结果的相对标准偏差为2.4%~4.4%(n=6),加标回收率为92%~113%。该方法简单快捷,适用于近岸海水中痕量元素Cr,Cu,Zn,Cd,Pb的分析。 展开更多

关键词 电感耦合等离子体质谱法 痕量元素 基体匹配 海水 六极杆碰撞反应池

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高效液相色谱-电感耦合等离子体质谱法测定水中砷形态 被引量：1

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作者 卢水淼 俞晓峰 +1 位作者 李鹰 李剑 《理化检验（化学分册）》 CAS CSCD 北大核心 2021年第7期633-636,共4页

基于自研高效液相色谱-电感耦合等离子体质谱(HPLC-ICP-MS)仪,建立了测定地表水与废水中4种砷形态,包括三价砷[As(Ⅲ)]、二甲基砷(DMA)、一甲基砷(MMA)和五价砷[As(Ⅴ)]含量的方法。水样经0.45μm滤膜过滤后,用Agilent G3154-65001色谱... 基于自研高效液相色谱-电感耦合等离子体质谱(HPLC-ICP-MS)仪,建立了测定地表水与废水中4种砷形态,包括三价砷[As(Ⅲ)]、二甲基砷(DMA)、一甲基砷(MMA)和五价砷[As(Ⅴ)]含量的方法。水样经0.45μm滤膜过滤后,用Agilent G3154-65001色谱柱为固定相进行吸附,以NaH_(2)PO_(3)-Na2EDTA溶液(pH 6)为流动相进行等度洗脱,分离后的目标物用ICP-MS测定,用碰撞反应模式来消除75ArCl+对75As的干扰。结果表明:三价砷、二甲基砷、一甲基砷和五价砷等4种砷形态可在7 min内完成出峰,其质量浓度均在0.1-10.0μg·L^(-1)内与其对应的信号值呈线性关系,检出限(3.143s)分别为0.34,0.18,0.11,0.17μg·L^(-1)。对实际样品进行加标回收试验,回收率为91.8%-110%,测定值的相对标准偏差(n=6)小于6.0%。在2种水样中检出了五价砷,其均低于GB 3838-2002规定的限值(50μg·L^(-1))。将本方法同相关文献方法进行比对,方法验证结果基本处于同一水平。 展开更多

关键词 高效液相色谱-电感耦合等离子体质谱法 自研仪器 砷形态 地表水 废水

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氩气在线稀释-电感耦合等离子体质谱法直接测定饱和食盐水中总砷 被引量：5

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作者 李鹰 俞晓峰 +2 位作者 李剑 梁炎 卢水淼 《理化检验（化学分册）》 CAS CSCD 北大核心 2018年第9期1088-1091,共4页

应用氩气在线稀释克服了电感耦合等离子体质谱法直接测定饱和食盐水中总砷时高盐的基体效应。运用碰撞池技术,有效消除40 Ar35Cl+对砷的干扰;通过在线加入甲醇溶液,提高砷的灵敏度。试验结果表明:砷的线性范围在10.0μg·L^(-1)以内... 应用氩气在线稀释克服了电感耦合等离子体质谱法直接测定饱和食盐水中总砷时高盐的基体效应。运用碰撞池技术,有效消除40 Ar35Cl+对砷的干扰;通过在线加入甲醇溶液,提高砷的灵敏度。试验结果表明:砷的线性范围在10.0μg·L^(-1)以内,检出限(3s)为0.092μg·L^(-1),加标回收率在90.2%~111%之间,测定值的相对标准偏差(n=6)在1.7%~4.2%之间。 展开更多

关键词 电感耦合等离子体质谱法 氩气在线稀释 碰撞池 总砷 饱和食盐水

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工业在线-电感耦合等离子体发射光谱法分析湿法冶炼硫酸锌溶液中铜镉钴铁 被引量：5

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作者 严煜 韩乃旭 +3 位作者 卢水淼 夏晓峰 林黎 张秀丽 《岩矿测试》 CSCD 北大核心 2022年第1期153-159,共7页

测定湿法冶炼硫酸锌溶液中的杂质元素,有助于优化电解液组成、减少能耗,精准投料,提高冶炼金属的纯度。对于杂质元素的测定,通常采用人工取样分析的方法,因杂质元素的含量较低,主元素锌和硫酸的含量较高,需要对样品进行稀释才能上机分析... 测定湿法冶炼硫酸锌溶液中的杂质元素,有助于优化电解液组成、减少能耗,精准投料,提高冶炼金属的纯度。对于杂质元素的测定,通常采用人工取样分析的方法,因杂质元素的含量较低,主元素锌和硫酸的含量较高,需要对样品进行稀释才能上机分析,难以实现自动化。为满足目前湿法冶炼的产业需求,本文建立了一种自动化工业在线过滤/稀释-电感耦合等离子体发射光谱法(ICP-OES)测定锌冶炼溶液中杂质元素铜镉钴铁的分析方法。结果表明:各元素的线性关系良好,相关系数均大于0.9998,相对标准偏差为0.72%~1.39%(n=6),加标回收率为95%~110%。该工业在线自动化分析系统可以代替传统人工取样分析的过程,在线分析结果与人工取样分析结果具有良好的一致性,实现了自动化分析,操作简单,结果准确可靠。 展开更多

关键词 工业在线自动化分析系统 电感耦合等离子体发射光谱法 锌冶炼 远程传输

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超级微波消解-全自动重金属分析联用系统测定土壤中18种元素的含量 被引量：3

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作者 张维权 卢水淼 +3 位作者 夏晓峰 倪大钊 李鹰 李剑 《理化检验（化学分册）》 CAS CSCD 北大核心 2022年第5期523-527,共5页

以超级微波消解-全自动重金属分析联用系统测定土壤中18种元素(锂、铍、钒、铬、锰、钴、镍、铜、锌、砷、钼、银、镉、锑、铊、铅、铋、铀)的含量。取0.1 g土壤于消解管中,将消解管加载至上述联用系统,按照以下步骤自动完成加酸、消解... 以超级微波消解-全自动重金属分析联用系统测定土壤中18种元素(锂、铍、钒、铬、锰、钴、镍、铜、锌、砷、钼、银、镉、锑、铊、铅、铋、铀)的含量。取0.1 g土壤于消解管中,将消解管加载至上述联用系统,按照以下步骤自动完成加酸、消解、稀释、测定:加入1 mL水润湿样品,再加入1.5 mL硝酸、0.5 mL盐酸和0.5 mL氢氟酸,并程序升温至260℃,保温30 min;冷却、泄压、用水稀释后,用电感耦合等离子体质谱法测定。结果表明:18种目标元素的质量浓度均在一定范围内与其对应的信号强度与内标元素铑信号强度的比值呈线性关系,检出限(3s)为0.001~0.300μg·L^(-1);方法用于土壤成分分析标准物质GSS-2、GSS-13和GSS-27的分析,测定值均在认定值的不确定度范围内,其相对标准偏差(n=6)为1.3%~5.3%。方法消解用酸量仅为HJ 803-2016的50%,且自动化程度高、分析快速,适用于大批量土壤样品的分析。 展开更多

关键词 超级微波消解 全自动重金属分析 联用系统 元素 土壤

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半导体工业原材料分析检测技术现状与进展 被引量：1

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作者 许志贤 姚继军 +4 位作者 胡建坤 夏晓峰 卢水淼 梅华灯 李伟东 《微纳电子与智能制造》 2022年第1期75-81,共7页

半导体是一种固体材料,其电导率随着温度在绝缘体和导体之间变化,包含基于硅或锗的经典半导体、砷化镓或磷化铟(Ⅲ-Ⅴ半导体)第二代半导体及碳化硅、氮化镓化合物的新型半导体。半导体元件的特性可通过半导体材料的选择和有针对性的改性... 半导体是一种固体材料,其电导率随着温度在绝缘体和导体之间变化,包含基于硅或锗的经典半导体、砷化镓或磷化铟(Ⅲ-Ⅴ半导体)第二代半导体及碳化硅、氮化镓化合物的新型半导体。半导体元件的特性可通过半导体材料的选择和有针对性的改性(掺杂、注入)进行优化,结合复杂的工艺方法(光刻、绝缘层沉积、蚀刻工艺),几乎可制造出大部分电子设备中使用的电子元件(二极管、晶体管)。半导体元件的性能和使用寿命主要取决于生产所用原材料的纯度以及制造中工艺流程的精细度。因此,生产原材料的纯度与组成成分分析检测是半导体工业的关键环节。本文结合近年来国内外半导体工业原材料中的化学元素分析检测的发展情况进行论述,旨在对半导体制造行业提供技术参考,同时,为国产分析检测仪器行业的发展规划思路提供借鉴。 展开更多

关键词 半导体工业 原材料 分析检测技术 化学元素分析

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自动加标仪的研制及其在ICP-MS/MS分析电子级湿化学品痕量杂质元素中的应用 被引量：1

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作者 舒旭伟 卢水淼 +3 位作者 夏晓峰 姚继军 梅华灯 李伟东 《微纳电子与智能制造》 2022年第2期78-81,共4页

随着半导体产业的高速发展,尤其近年来集成电路朝着纳米级方向不断进步,使得对衬底硅片表面洁净度要求日益严格。现阶段多采用湿法化学清洗处理硅片表面,过程涉及多步清洗并使用多种高纯试剂,如H_(2)SO_(4)、HNO_(3)、HF、H_(2)O_(2)、N... 随着半导体产业的高速发展,尤其近年来集成电路朝着纳米级方向不断进步,使得对衬底硅片表面洁净度要求日益严格。现阶段多采用湿法化学清洗处理硅片表面,过程涉及多步清洗并使用多种高纯试剂,如H_(2)SO_(4)、HNO_(3)、HF、H_(2)O_(2)、NH_(3)·H_(2)O、HCl等。本文通过自研的加标仪配合三重四极杆电感耦合等离子体质谱仪,标准加入法检测复杂基体中痕量元素杂质。样品通过自吸模式稳定引入,经加标仪检测流速,根据预先设定加标程序,系统自动匹配添加量并持续稳定引入标准物质。加标仪的使用一方面消除基体干扰,另一方面避免加标过程因人工操作引入的结果偏差,检测结果满足ng/L级痕量元素杂质检测。 展开更多

关键词 标准加入法 电感耦合等离子体质谱(ICP-MS) 痕量元素杂质

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液相色谱-电感耦合等离子体质谱法测定水中砷形态

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作者 史水合 卢水淼 《区域治理》 2018年第38期180-180,共1页

建立了液相色谱(LC)与电感耦合等离子体质谱仪(ICP-MS)联用测定地表水与污水中砷(As)形态的分析方法.以柠檬酸与己烷磺酸钠混合溶液作为流动相,通过C18色谱柱对不同形态的砷进行分离,使用碰撞反应池来消除75ARCl+对75As的干扰.结果表明:... 建立了液相色谱(LC)与电感耦合等离子体质谱仪(ICP-MS)联用测定地表水与污水中砷(As)形态的分析方法.以柠檬酸与己烷磺酸钠混合溶液作为流动相,通过C18色谱柱对不同形态的砷进行分离,使用碰撞反应池来消除75ARCl+对75As的干扰.结果表明:4min内可将砷酸根(As(Ⅴ))、一甲基砷(MMA)、亚砷酸根(As(Ⅲ))及二甲基砷(DMA)进行分离,检出限分别为0.34、0.18、0.11、0.17μg/L,加标回收率介于94.3%-108%之间,精密度小于5.5%,该方法能够满足水体中砷的形态分析. 展开更多

关键词 砷形态 液相色谱-电感耦合等离子体质谱法 地表水 污水

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