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PECVD上下料控制系统的设计
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作者 吕新春 钟广超 +3 位作者 余雪昆 熊镇西 毛浩杰 吴光宇 《集成电路应用》 2024年第6期63-65,共3页
阐述自动上下料装置作为PECVD设备的组成部分,是实现生产自动化作业的重要一环。介绍PECVD设备上下料原理及主要构成,设计基于PLC、EtherCat总线及各类传感器构成的自动上下料控制系统。生产实践表明,系统可满足PECVD设备上下料过程的... 阐述自动上下料装置作为PECVD设备的组成部分,是实现生产自动化作业的重要一环。介绍PECVD设备上下料原理及主要构成,设计基于PLC、EtherCat总线及各类传感器构成的自动上下料控制系统。生产实践表明,系统可满足PECVD设备上下料过程的准确性、稳定性和可靠性。 展开更多
关键词 PECVD 自动上下料 PLC ETHERCAT
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